【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种高压PMOS器件,包括:P型衬底;位于P型衬底上的N型埋层;位于N型埋层上的外延层;位于外延层上的场氧;位于外延层内的低压P阱;位于外延层内的N阱;位于低压P阱和场氧上的厚栅氧;位于N阱、低压P阱和外延层上的薄栅氧;位于薄栅氧和厚栅氧上的多晶硅栅;位于N阱内的N型重掺杂区,用作体接触区;位于低压P阱内的第一P型重掺杂区,所述第一P型重掺杂区与场氧毗邻;以及位于N阱内的第二P型重掺杂区,所述第二P型重掺杂区与多晶硅栅毗邻,并且与N型重掺杂区电连接;其中,所述N阱和所述低压P阱的间矩为0.5μm~1μm。
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员:吉扬永,连延杰,
申请(专利权)人:成都芯源系统有限公司,
类型:发明
国别省市:四川;51
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