一种高精度晶圆背刻对中系统的校正装置制造方法及图纸

一种高精度晶圆背刻对中系统的校正装置，包括晶圆、激光、激光保护板和底光、对中台、校正玻璃板、十字薄膜、相机保护板、工业相机、电脑显示屏、ROBOT搬运手，工业相机安装在对中台上方，激光安装在对中台下方，激光保护板安装在激光和对中台之间，相机保护板安装在工业相机和对中台之间，ROBOT搬运手安装在对中台前方，电脑显示屏放置在对中台外侧，十字薄膜粘贴在电脑显示屏上，晶圆和校正玻璃板分别放置在对中台上。激光在校正玻璃板的涂黑上刻划十字，工业相机捕捉十字的图像，计算工业相机与激光之间的偏差，送激光，校正激光与相机之间的系统偏差。目测电脑屏幕上十字薄膜和校正玻璃板图像这两个十字，直观地观测补偿效果。（*该技术在2024年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】一种高精度晶圆背刻对中系统的校正装置，包括晶圆、激光、激光保护板和底光、对中台、校正玻璃板、十字薄膜、相机保护板、工业相机、电脑显示屏、ROBOT搬运手，工业相机安装在对中台上方，激光安装在对中台下方，激光保护板安装在激光和对中台之间，相机保护板安装在工业相机和对中台之间，ROBOT搬运手安装在对中台前方，电脑显示屏放置在对中台外侧，十字薄膜粘贴在电脑显示屏上，晶圆和校正玻璃板分别放置在对中台上。激光在校正玻璃板的涂黑上刻划十字，工业相机捕捉十字的图像，计算工业相机与激光之间的偏差，送激光，校正激光与相机之间的系统偏差。目测电脑屏幕上十字薄膜和校正玻璃板图像这两个十字，直观地观测补偿效果。【专利说明】一种高精度晶圆背刻对中系统的校正装置
本技术涉及晶圆背刻技术的校正装置，尤其是涉及一种基于CCD影像定位检测的高精度晶圆背刻对中系统的校正装置。
技术介绍
激光作为一种新工业加工技术，在计算机控制下可以在各种材料表面刻划图案和文字。激光刻划标志可以控制在线宽十几个微米之内，其重复性达到几个微米，并可在电脑控制下，接受外部软件指令，调整标刻图案的位置和角本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种高精度晶圆背刻对中系统的校正装置，该装置包括晶圆、激光、激光保护板和底光、对中台、校正玻璃板、十字薄膜、相机保护板、工业相机、电脑显示屏、ROBOT搬运手，其中校正玻璃板正面贴黑色即时贴，中间开窗标示涂黑位置，手工在底面45度涂满单层黑色，十字薄膜为打印有十字对中线的薄膜，其特征是：工业相机安装在对中台上方，激光安装在对中台下方，激光保护板和底光安装在激光和对中台之间，相机保护板安装在工业相机和对中台之间，ROBOT搬运手安装在对中台前方，电脑显示屏放置在对中台外侧，十字薄膜粘贴在电脑显示屏上，晶圆和校正玻璃板分别放置在对中台上。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：卢冬青，
申请(专利权)人：上海功源自动化技术有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31