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一种高精度晶圆背刻对中系统的校正装置，包括晶圆、激光、激光保护板和底光、对中台、校正玻璃板、十字薄膜、相机保护板、工业相机、电脑显示屏、ROBOT搬运手，工业相机安装在对中台上方，激光安装在对中台下方，激光保护板安装在激光和对中台之间，相机...
该专利属于上海功源自动化技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海功源自动化技术有限公司授权不得商用。

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