显示装置及其制造方法制造方法及图纸

一种显示装置及其制造方法。显示装置包括：分别在衬底的第一和第二区域上形成的栅电极和栅垫；在栅电极和栅垫上形成的、设有暴露栅垫的至少一部分的第一孔的绝缘膜；分别在第一和第二区域中的绝缘膜上形成的数据垫和源和漏电极；在源和漏电极上形成的待与漏电极电连接的像素电极、在数据垫上形成的待与数据垫电连接且覆盖数据垫的第一保护电极；在整个衬底表面上形成的、设有暴露栅垫的至少一部分的第二孔和暴露第一保护电极的至少一部分的第三孔的钝化膜；在钝化膜上形成的、通过由第一和第二孔的组合构成的第一接触孔与栅垫连接且通过由第三孔构成的第二接触孔与第一保护电极连接的连接电极。第一保护电极由与像素电极的材料相同的材料形成。

【技术实现步骤摘要】
显示装置及其制造方法对相关申请的交叉引用本申请要求了提交于2013年9月30日的韩国专利申请第10-2013-0115872号的优先权，出于所有的目的而将该专利申请通过引用合并于此，就像在此完全阐述该专利申请一样。
本专利技术涉及显示装置，更具体而言涉及显示装置的跳线(jumping)结构。
技术介绍
已开发了诸如液晶显示装置、等离子体显示板和有机发光显示装置的各种显示装置。在显示装置中，使用跳线结构来将在彼此不同的相应层上形成的多个线彼此电连接，从而相同的数据可被施加于这些线。在下文中，将参考图1描述一般性跳线结构。图1是示出了一般性跳线结构、尤其示出了在显示装置的垫(pad)区域中形成的跳线结构的横截面视图。如图1中所示，在具有一般性跳线结构的显示装置中，在衬底10上图案化第一线12，并且在包括第一线12的衬底10的整个表面上形成绝缘膜14。此时，绝缘膜14设置有用于部分地暴露第一线12的第一接触孔CH1。在绝缘膜14上图案化第二线16，并且在包括第二线16的绝缘膜14的整个表面上形成钝化膜18。此时，钝化膜18设置有用于部分地暴露第二线16的第二接触孔CH2。用于将第一线12与第二线16相连接的连接电极20通过第一接触孔CH1与第一线12相连接，并且在钝化膜18上形成，以便通过第二接触孔CH2与第二线16相连接。在彼此不同的相应层上形成的第一线12和第二线16通过连接电极20彼此电连接。然而，在如图1中所示的跳线结构的情形中，在通过部分地蚀刻钝化膜18来形成第二接触孔CH2以暴露第二线16的过程中，第二线16也被蚀刻，从而第二线16的形态劣化。另外，在先前已被执行以形成漏极接触孔(未示出)的蚀刻过程中，第二线16的形态可能已经劣化。亦即，第二线16的形态可能受到两个蚀刻过程即用于形成漏极接触孔的蚀刻过程和用于形成第二接触孔CH2的蚀刻过程的影响。出现如下问题：由于第二线16的形态的劣化，如图2中所示那样出现底切(undercut)。而且，还出现如下问题：由于如图3中所示的底切，在第二线16上出现连接电极20断开的区域。
技术实现思路
因而，本专利技术涉及一种显示装置及其制造方法，其基本上消除了归因于相关技术的局限和缺点的一个或多个问题。本专利技术的一个优点是提供一种显示装置及其制造方法，其中，当形成用于在彼此不同的相应层上形成的多个线的电连接的跳线结构时，可防止出现底切。本专利技术的额外优点和特征将部分地在后面的描述中阐述，部分地将对于查阅了后面的内容的本领域技术人员而言显而易见，或者可以从对本专利技术的实践中获悉。本专利技术的目标和其它优点可通过在书面描述及其权利要求以及附图中具体指出的结构来实现和获得。根据本专利技术的各个实施例的显示装置包括：在衬底上形成的栅电极和第一金属，栅电极在衬底的第一区域上形成，并且第一金属在衬底的第二区域上形成；在栅电极和第一金属上形成的绝缘膜，绝缘膜设置有用于暴露第一金属的至少一部分的第一孔；在第一区域中的绝缘膜上形成的源电极和漏电极、以及在第二区域中的绝缘膜上形成的第二金属；在源电极和漏电极上形成的、待与漏电极电连接的像素电极、以及在第二金属上形成的、待与第二金属电连接并且至少部分地覆盖第二金属的第一保护电极；在包括像素电极和第一保护电极的衬底的整个表面上形成的钝化膜，钝化膜设置有用于暴露第一金属的至少一部分的第二孔以及用于暴露第一保护电极的至少一部分的第三孔；以及在钝化膜上形成的连接电极，连接电极通过由第一孔和第二孔的组合构成的第一接触孔与第一金属相连接、并且通过由第三孔构成的第二接触孔与第一保护电极相连接，其中，第一保护电极由与像素电极的材料相同的材料形成。在一个或多个实施例中，第一保护电极延伸至绝缘膜上的未形成有第二金属的区域，并且第三孔在钝化膜中形成以暴露第一保护电极的不与第二金属重叠的延伸区域。在一个或多个实施例中，该显示装置还包括：平坦化膜，平坦化膜在第一区域中的源电极和漏电极上形成、并且在第二区域中的第二金属上形成以部分地暴露第二金属，其中，像素电极在第一区域中的平坦化膜上形成，以与漏电极电连接，其中，第一保护电极在第二区域中的平坦化膜和未设置有平坦化膜的第二金属上形成以至少部分地覆盖第二金属，并且其中，第一金属由与栅电极的材料相同的材料形成，并且第二金属由与源电极和漏电极的材料相同的材料形成。在一个或多个实施例中，平坦化膜由包括光敏化合物(PAC)的丙烯酸树脂形成。在一个或多个实施例中，第一金属被配置为栅垫，并且第二金属被配置为数据垫。在一个或多个实施例中，该显示装置还包括在第一保护电极与钝化膜之间形成的第二保护电极，其中，连接电极通过第二保护电极与第一保护电极相连接。在一个或多个实施例中，该显示装置还包括用于接收用户的触摸信号的公共电极以及与公共电极相连接的感测线，其中，第二保护电极使用与感测线的材料相同的材料形成，并且连接电极由与公共电极的材料相同的材料形成。在一个或多个实施例中，该显示装置还包括用于接收用户的触摸信号的公共电极以及与公共电极相连接的感测线，其中，连接电极使用与公共电极的材料相同的材料形成。根据各个实施例的一种用于制造显示装置的方法包括以下步骤：在栅电极和第一金属上形成栅绝缘膜，其中栅电极在衬底的第一区域上形成，第一金属在衬底的第二区域上形成，栅绝缘膜具有用于暴露第一金属的至少一部分的第一孔；在第一区域的栅绝缘膜上形成源电极和漏电极，并且在第二区域的栅绝缘膜上形成第二金属；在包括源电极、漏电极和第二金属的衬底的整个表面上形成用于形成像素电极的第一材料层；通过图案化第一材料层而在第一区域上形成与漏电极电连接的像素电极，并且在第二区域中的第二金属上形成与第二金属电连接并且覆盖第二金属的第一保护电极；在包括像素电极和第一保护电极的衬底的整个表面上形成钝化膜，钝化膜设置有用于暴露第一金属的至少一部分的第二孔以及用于暴露第一保护电极的至少一部分的第三孔；以及在第一区域中的钝化膜上形成公共电极，并且在第二区域中的钝化膜上形成连接电极，连接电极通过由第一孔和第二孔的组合构成的第一接触孔与第一金属相连接、并且通过由第三孔构成的第二接触孔与第一保护电极相连接。在一个或多个实施例中，第一保护电极延伸至绝缘膜上的未形成有第二金属的区域，并且第三孔在钝化膜中形成以暴露第一保护电极的不与第二金属重叠的延伸区域。在一个或多个实施例中，在形成第二金属的步骤与形成第一材料层的步骤之间，该方法还包括如下步骤：在第一区域中的包括源电极和漏电极的衬底的整个表面上、并且在第二区域中的第二金属上形成平坦化膜以部分地暴露第二金属，其中，第一保护电极在第二区域中的平坦化膜和未形成有平坦化膜的第二金属上形成以覆盖第二金属。在一个或多个实施例中，平坦化膜由包括光敏化合物(PAC)的丙烯酸树脂形成。在一个或多个实施例中，在形成像素电极的步骤与形成钝化膜的步骤之间，该方法还包括如下步骤：在包括第一保护电极和像素电极的衬底的整个表面上形成第二材料层，并且在第一区域中的像素电极上形成与用于接收用户的触摸信号的公共电极相连接的感测线，并且通过图案化第二材料层而在第二区域中的第一保护电极上形成第二保护电极，其中，连接电极通过第二保护电极与第一保护电极相连接。在一个或多个实施例中，连接电极和公共电极使用彼本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种显示装置，包括：在衬底上形成的栅电极和第一金属，所述栅电极在所述衬底的第一区域上形成，并且所述第一金属在所述衬底的第二区域上形成；在所述栅电极和所述第一金属上形成的绝缘膜，所述绝缘膜设置有用于暴露所述第一金属的至少一部分的第一孔；在所述第一区域中的所述绝缘膜上形成的源电极和漏电极、以及在所述第二区域中的所述绝缘膜上形成的第二金属；在所述源电极和所述漏电极上形成的、待与所述漏电极电连接的像素电极、以及在所述第二金属上形成的、待与所述第二金属电连接并且至少部分地覆盖所述第二金属的第一保护电极；在包括所述像素电极和所述第一保护电极的所述衬底的整个表面上形成的钝化膜，所述钝化膜设置有用于暴露所述第一金属的至少一部分的第二孔以及用于暴露所述第一保护电极的至少一部分的第三孔；以及在所述钝化膜上形成的连接电极，所述连接电极通过由所述第一孔和所述第二孔的组合构成的第一接触孔与所述第一金属相连接、并且通过由所述第三孔构成的第二接触孔与所述第一保护电极相连接，其中，所述第一保护电极由与所述像素电极的材料相同的材料形成。

【技术特征摘要】
2013.09.30 KR 10-2013-01158721.一种显示装置，包括：在衬底上形成的栅电极和第一金属，所述栅电极在所述衬底的第一区域上形成，并且所述第一金属在所述衬底的第二区域上形成；在所述栅电极和所述第一金属上形成的绝缘膜，所述绝缘膜设置有用于暴露所述第一金属的至少一部分的第一孔；在所述第一区域中的所述绝缘膜上形成的源电极和漏电极、以及在所述第二区域中的所述绝缘膜上形成的第二金属；在所述源电极和所述漏电极上形成的、待与所述漏电极电连接的像素电极、以及在所述第二金属上形成的、待与所述第二金属电连接并且至少部分地覆盖所述第二金属的第一保护电极；在包括所述像素电极和所述第一保护电极的所述衬底的整个表面上形成的钝化膜，所述钝化膜设置有用于暴露所述第一金属的至少一部分的第二孔以及用于暴露所述第一保护电极的至少一部分的第三孔；以及在所述钝化膜上形成的连接电极，所述连接电极通过由所述第一孔和所述第二孔的组合构成的第一接触孔与所述第一金属相连接、并且通过由所述第三孔构成的第二接触孔与所述第一保护电极相连接，其中，所述第一保护电极由与所述像素电极的材料相同的材料形成，并且其中，所述第一保护电极延伸至所述绝缘膜上的未形成有所述第二金属的区域，并且所述第三孔在所述钝化膜中形成以暴露所述第一保护电极的不与所述第二金属重叠的延伸区域。2.根据权利要求1所述的显示装置，还包括：平坦化膜，所述平坦化膜在所述第一区域中的所述源电极和所述漏电极上形成、并且在所述第二区域中的所述第二金属上形成以部分地暴露所述第二金属，其中，所述像素电极在所述第一区域中的所述平坦化膜上形成，以与所述漏电极电连接，其中，所述第一保护电极在所述第二区域中的所述平坦化膜和未设置有所述平坦化膜的所述第二金属上形成以至少部分地覆盖所述第二金属，并且其中，所述第一金属由与所述栅电极的材料相同的材料形成，并且所述第二金属由与所述源电极和所述漏电极的材料相同的材料形成。3.根据权利要求2所述的显示装置，其中，所述平坦化膜由包括光敏化合物的丙烯酸树脂形成。4.根据权利要求1所述的显示装置，其中，所述第一金属被配置为栅垫，并且所述第二金属被配置为数据垫。5.根据权利要求1所述的显示装置，还包括在所述第一保护电极与所述钝化膜之间形成的第二保护电极，其中，所述连接电极通过所述第二保护电极与所述第一保护电极相连接。6.根据权利要求5所述的显示装置，还包括用于接收用户的触摸信号的公共电极以及与所述公共电极相连接的感测线，其中，所述第二保护电极使用与所述感测线的材料相同的材料形成，并且所述连接电极由与所述公共电极的材料相同的材料形成。7.根据权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：洪玄硕，安贞恩，姜寅，
申请(专利权)人：乐金显示有限公司，
类型：发明
国别省市：韩国;KR