一种阴极电弧离子镀磁场调节装置制造方法及图纸

一种阴极电弧离子镀磁场调节装置，PVD镀膜机壳体内设有阴极靶座，阴极靶座上表面设有凹槽，靶材设在凹槽内，阴极靶座内设有水道，调节装置包括设在阴极靶座下表面的螺杆，磁铁装置设在螺杆上、并能沿螺杆移动；磁铁装置包括横截面为U型的不锈钢圆环，在不锈钢圆环的U型槽内设有永磁体，在不锈钢圆环中心孔壁上设有聚四氟层，聚四氟层表面有螺纹与螺杆面表相啮合。本实用新型专利技术在阴极电弧离子镀膜过程中，可根据靶材消耗及更换过程中将永磁体后退或前进，方便调节靶材表面磁场。同时永磁体和螺杆之间通过四氟绝缘，可以在靶材工作过程中，时时安全调节磁铁位置，保持弧电流，沉积速率及膜层性能的稳定性，保证镀膜工艺的稳定性和可重复性。本实用新型专利技术结构简单，调节方便、灵活、快捷、安全，且镀膜效果好。（*该技术在2024年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
—种阴极电弧离子镀磁场调节装置
[0001 ] 本技术属于真空镀膜
，涉及一种阴极电弧离子镀磁场调节装置。
技术介绍
电弧离子镀技术是当前最为成功的PVD镀膜技术，广泛应用于刀具、模具表面涂层，它是把金属阴极材料作为阴极，通过与阳极壳体之间的弧光放电，使靶材蒸发并离化，形成空间等离子体，把镀膜材料涂覆在工件表面，使工件性能大大提高。阴极材料即是镀膜材料，在KTKT1Pa真空条件下，引弧电极与阴极瞬间接触，在引弧电极离开的瞬间，将电弧引燃，低压大电流的电源维持弧光放电的持续进行，弧斑高速在阴极靶材表面运动，不断的形成又消失，从而使阴极材料不断的沉积在工件表面。 阴极弧斑在工作时，除产生金属原子和离子外还产生金属的大颗粒，大颗粒问题是阻碍电弧离子镀技术更深入广泛应用的瓶颈问题。由于电弧离子体具有良好的导电性，电中性，与磁场可作用性，为磁场控制电弧的位置、形状以及运动提供了可能。合理设计并利用磁场可以很好的控制电弧运动，大幅度地减少液滴量、减小液滴尺寸、提高膜层寿命。当前最成熟的做法就是在阴极电弧靶座的背面固定以永久磁铁或电磁铁来控制弧斑运动。但是随着靶本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种阴极电弧离子镀磁场调节装置，PVD镀膜机壳体内设有阴极靶座（1），阴极靶座（1）上表面设有凹槽（2），靶材（3）设在凹槽（2）内，阴极靶座（1）内设有水道（4），其特征是：所述调节装置包括设在阴极靶座（1）下表面的螺杆（5），磁铁装置设在螺杆（5）上、并能沿螺杆（5）移动；所述磁铁装置（10）包括横截面为U型的不锈钢圆环（6），在不锈钢圆环（6）的U型槽内设有永磁体（7），在不锈钢圆环（6）中心孔壁上设有聚四氟层（8），聚四氟层（8）表面有螺纹与螺杆（5）面表相啮合。

【技术特征摘要】
1.一种阴极电弧离子镀磁场调节装置，PVD镀膜机壳体内设有阴极靶座(1)，阴极靶座(I)上表面设有凹槽(2)，靶材(3)设在凹槽(2)内，阴极靶座(I)内设有水道(4)，其特征是:所述调节装置包括设在阴极靶座(I)下表面的螺杆(5)，磁铁装置设在螺杆(5)上、并能沿螺杆(5)移动； 所述磁铁装置(10)包括横截面为U型的不锈钢圆环(6)，在不锈钢圆环(6)的U型槽内设有永磁体(7)，在不锈钢圆环(6)中心孔壁上设有聚四氟层(...

【专利技术属性】
技术研发人员：田灿鑫，韩滨，左飞龙，付德君，
申请(专利权)人：宜昌后皇真空科技有限公司，
类型：新型
国别省市：湖北;42