下载一种阴极电弧离子镀磁场调节装置的技术资料

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一种阴极电弧离子镀磁场调节装置,PVD镀膜机壳体内设有阴极靶座,阴极靶座上表面设有凹槽,靶材设在凹槽内,阴极靶座内设有水道,调节装置包括设在阴极靶座下表面的螺杆,磁铁装置设在螺杆上、并能沿螺杆移动;磁铁装置包括横截面为U型的不锈钢圆环,在不...
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