一种二次离子质谱的样品装载盒制造技术

本实用新型专利技术公开了一种二次离子质谱的样品装载盒，包括盒体，所述盒体的内壁滑动连接有多个连接架，所述盒体的内壁滑动连接有多组压板，每组所述压板的数量为两个，每组所述压板的顶部分别与对应的连接架的顶部固定连接，所述压板的顶部与盒体的内壁之间固定连接有弹簧，相邻的两个所述连接架的外壁之间对称固定连接有横板。将手放于握把上并用手指勾住提拉件上提，提拉件被提起时，通过横板和连接架带动压板上移，弹簧收缩，之后将需要进行测试的样品本体放到样品放置座的内部，然后将样品放置座连同样品本体推入到盒体的内部，松开提拉件，压板会在弹簧反向弹力的作用下对样品本体进行固定，从而达到了方便对样品本体进行固定的效果。定的效果。定的效果。

【技术实现步骤摘要】
一种二次离子质谱的样品装载盒


[0001]本技术属于晶圆的测试分析
，具体涉及一种二次离子质谱的样品装载盒。

技术介绍

[0002]二次离子质谱是通过一束聚焦的一次离子溅射到样品表面，收集、分析所产生的二次离子，以得到固体材料表面化学成分的一项技术，常应用于半导体材料的深度剖析。在二次离子质谱的测试过程中，通常将晶圆(wafer)进行裂片处理，再将实验片放置于样品装载盒中固定后传送至分析腔室中。
[0003]在将样品放于装载盒内部时，现有的装载盒需要分别对每个样品进行固定，从而保证测试的准确性，但是这样对每个样品进行固定，固定起来比较麻烦，而且测试完成后，还要对每个样品进行拆卸，影响工作效率。

技术实现思路

[0004]针对现有技术存在的不足，本技术目的是提供一种二次离子质谱的样品装载盒，具备便于对样品固定的优点。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种二次离子质谱的样品装载盒，包括盒体，所述盒体的内壁滑动连接有多个连接架，所述盒体的内壁滑动连接有多组压板，每组所述压板的数量为两个，每组所述压板的顶部分别与对应的连接架的顶部固定连接，所述压板的顶部与盒体的内壁之间固定连接有弹簧，相邻的两个所述连接架的外壁之间对称固定连接有横板，中间的所述横板的顶部固定连接有提拉件，所述盒体的顶部固定连接有握把。
[0006]通过上述技术方案，起到方便对样品本体固定和拆卸的效果，将手放于握把上并用手指勾住提拉件上提，提拉件被提起时，通过横板和连接架带动压板上移，弹簧收缩，之后将需要进行测试的样品本体放到样品放置座的内部，然后将样品放置座连同样品本体推入到盒体的内部，松开提拉件，压板会在弹簧反向弹力的作用下对样品本体进行固定，从而达到了方便对样品本体进行固定的效果，测试结束后，通过向上拉动提拉件再次使压板升起，从而解除压板对样品本体的固定，然后将样品放置座从盒体内拉出，就可以将样品本体取下，从而达到了便于对样品本体拆卸的效果。
[0007]优选的，所述盒体的外壁开设有多个放置槽，放置槽的内壁滑动连接有样品放置座。
[0008]通过上述技术方案，起到放置样品本体的效果，样品放置座的内侧有放置槽，用于放置样品本体，样品放置座可以在盒体内侧滑动，便于样品本体的放入和取出。
[0009]优选的，所述样品放置座的外壁固定连接有拉动片，所述样品放置座的底部开设有通孔。
[0010]通过上述技术方案，起到便于取出样品放置座的效果，当样品放置座进入到盒体
内部时，通过向外拉动拉动片便于将样品放置座从盒体内拉出，通孔的设置是为测试提供空间。
[0011]优选的，所述盒体的底部开设有多个检测孔，每个所述检测孔与对应的通孔对齐。
[0012]通过上述技术方案，起到为测试提供条件的效果，检测孔和通孔对齐，从而将样品本体的待检测区域裸露出来，进而实现对样品本体测试的效果。
[0013]优选的，所述样品放置座的内壁设置有样品本体。
[0014]通过上述技术方案，起到测试的效果，将样品本体放于样品放置座的内部，然后将样品放置座移动至盒体的内部对样品本体进行固定，之后将盒体放入二次离子质谱仪中进行分析测试。
[0015]优选的，所述样品本体的顶部与压板的底部保持贴合。
[0016]通过上述技术方案，起到固定的效果，压板与样品本体保持贴合，从而对样品本体进行固定。
[0017]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0018]1、将手放于握把上并用手指勾住提拉件上提，提拉件被提起时，通过横板和连接架带动压板上移，弹簧收缩，之后将需要进行测试的样品本体放到样品放置座的内部，然后将样品放置座连同样品本体推入到盒体的内部，松开提拉件，压板会在弹簧反向弹力的作用下对样品本体进行固定，从而达到了方便对样品本体进行固定的效果。
[0019]2、测试结束后，通过向上拉动提拉件再次使压板升起，从而解除压板对样品本体的固定，然后将样品放置座从盒体内拉出，就可以将样品本体取下，从而达到了便于对样品本体拆卸的效果。
附图说明
[0020]图1为本技术的结构示意图；
[0021]图2为本技术的底部结构示意图；
[0022]图3为本技术的盒体结构剖视图；
[0023]图4为本技术的压板处结构示意图；
[0024]图5为本技术的样品放置座处结构示意图。
[0025]图中：1、盒体；2、连接架；3、压板；4、弹簧；5、横板；6、提拉件；7、握把；8、样品放置座；9、拉动片；10、检测孔；11、通孔；12、样品本体。
具体实施方式
[0026]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0027]请参阅图1
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5，本技术提供一种技术方案：一种二次离子质谱的样品装载盒，包括盒体1，盒体1的内壁滑动连接有多个连接架2，盒体1的内壁滑动连接有多组压板3，每组压板3的数量为两个，每组压板3的顶部分别与对应的连接架2的顶部固定连接，压板3的顶部与盒体1的内壁之间固定连接有弹簧4，相邻的两个连接架2的外壁之间对称固定连接
有横板5，中间的横板5的顶部固定连接有提拉件6，盒体1的顶部固定连接有握把7。
[0028]本实施方案中，将手放于握把7上并用手指勾住提拉件6上提，提拉件6被提起时，通过横板5和连接架2带动压板3上移，弹簧4收缩，之后将需要进行测试的样品本体12放到样品放置座8的内部，然后将样品放置座8连同样品本体12推入到盒体1的内部，松开提拉件6，压板3会在弹簧4反向弹力的作用下对样品本体12进行固定，从而达到了方便对样品本体12进行固定的效果，测试结束后，通过向上拉动提拉件6再次使压板3升起，从而解除压板3对样品本体12的固定，然后将样品放置座8从盒体1内拉出，就可以将样品本体12取下，从而达到了便于对样品本体12拆卸的效果。
[0029]具体的，盒体1的外壁开设有多个放置槽，放置槽的内壁滑动连接有样品放置座8。
[0030]本实施例中，样品放置座8的内侧有放置槽，用于放置样品本体12，样品放置座8可以在盒体1内侧滑动，便于样品本体12的放入和取出。
[0031]具体的，样品放置座8的外壁固定连接有拉动片9，样品放置座8的底部开设有通孔11。
[0032]本实施例中，当样品放置座8进入到盒体1内部时，通过向外拉动拉动片9便于将样品放置座8从盒体1内拉出，通孔11的设置是为测试提供空间。
[0033]具体的，盒体1的底部开设有多个检测孔10，每个检测孔10与对应的通孔11对齐。
[0034]本实施例中，检测孔10和通孔11对齐，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种二次离子质谱的样品装载盒，包括盒体(1)，其特征在于：所述盒体(1)的内壁滑动连接有多个连接架(2)，所述盒体(1)的内壁滑动连接有多组压板(3)，每组所述压板(3)的数量为两个，每组所述压板(3)的顶部分别与对应的连接架(2)的顶部固定连接，所述压板(3)的顶部与盒体(1)的内壁之间固定连接有弹簧(4)，相邻的两个所述连接架(2)的外壁之间对称固定连接有横板(5)，中间的所述横板(5)的顶部固定连接有提拉件(6)，所述盒体(1)的顶部固定连接有握把(7)。2.根据权利要求1所述的一种二次离子质谱的样品装载盒，其特征在于：所述盒体(1)的外壁开设有多个放置槽，放置槽的内壁滑动连...

【专利技术属性】
技术研发人员：付德春，田灿鑫，吐沙姑，
申请(专利权)人：宜昌后皇真空科技有限公司，
类型：新型
国别省市：