一种离子束镀膜装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及离子束镀膜设备技术领域，且公开了一种离子束镀膜装置，包括镀膜室、镀膜室的底部固接有电机和与镀膜室内壁固接的离子源，所述镀膜室内部的底部转动连接有转台，所述转台的底部与电机的输出轴固接，所述转台顶部的外侧转动连接有四个动齿轮。该种离子束镀膜装置，将安装组件卡接在动齿轮上，随后将管材类工件套在安装组件外部，随后将镀膜室密封即可启动该镀膜装置，在镀膜时，电机转动带动转台转动，转台上的动齿轮也会随转台一起运动，由于动齿轮中间位置有与之啮合的定齿轮，且定齿轮与镀膜室固接，故动齿轮会在随转台一起运动的同时自动也发生转动，既能保证管材镀膜均匀，又能减少电机的使用量，降低发生故障的概率。故障的概率。故障的概率。

【技术实现步骤摘要】
一种离子束镀膜装置


[0001]本技术涉及离子束镀膜设备
，具体为一种离子束镀膜装置。

技术介绍

[0002]离子束辅助沉积镀膜作为一种金属材料表面改性的手段，可以实现向金属材料表面注入任何种类的元素而不受元素间固溶度的限制，故对与有特殊需求的管材来说，一般都会使用离子束镀膜机对其进行离子束镀膜处理。
[0003]经检索，中国专利申请号为CN202120018453.2的专利，公开了一种离子束镀膜装置，包括真空镀膜室，所述真空镀膜室中设置有主离子源、靶材、辅助离子源和水平的转台；第一电机能够驱动转台自转；所述转台的顶面对称设置有两个夹持机构，每个所述夹持机构均包括与所述转台连接的支架、与所述支架的顶部转动连接的竖直的转盘和转动设置在所述转盘上的夹爪，两个所述转盘上的所述夹爪一一对应，通过对应的两个所述夹爪夹持工件，所述支架上设置有能够驱动所述转盘自转的第二电机，一个所述转盘内设置有能够驱动所述夹爪自转的第三电机。本技术的离子束镀膜装置能够实现一次装夹即对工件全身镀膜，提高了镀膜效率且镀膜的均匀性好。上述专利中的离子束镀膜装置装置存在以下不足：
[0004]在带动工件进行转动时，需要使用三个电机才能完成对工件的转动，由于需要三个电机相互配合才能完成对工件的转动工作，故一旦转动时有一个电机发生故障就会导致整个设备停转，因此故障发生的可能性更高。
[0005]上述情况会造成离子束镀膜装置耗能较高，故障发生率较高。

技术实现思路

[0006]针对现有技术的不足，本技术提供了一种离子束镀膜装置，以解决
技术介绍
提出的问题，使得离子束镀膜装置耗能更少，故障发生概率更低。
[0007]为实现上述的目的，本技术提供如下技术方案：一种离子束镀膜装置，包括镀膜室、镀膜室的底部固接有电机和与镀膜室内壁固接的离子源，所述镀膜室内部的底部转动连接有转台，所述转台的底部与电机的输出轴固接，所述转台顶部的外侧转动连接有四个动齿轮，所述动齿轮的中间位置啮合有定齿轮，所述定齿轮的顶部固接有固定柱，所述固定柱的顶部与镀膜室固接，所述动齿轮的顶部卡接有安装组件。
[0008]优选的，所述安装组件包括安装板和立柱，所述安装板的两侧开设有卡槽，所述安装板的顶部固接有立柱，所述立柱的外部套设有管材，所述动齿轮上表面的两侧固接有弹性卡块，所述弹性卡块与卡槽相匹配。
[0009]优选的，所述弹性卡块的顶部开设有倒角。
[0010]优选的，所述立柱的顶部为弧形设置。
[0011]优选的，所述安装板的直径不大于动齿轮的直径。
[0012]与现有技术对比，本技术具备以下有益效果：
[0013]该种离子束镀膜装置，将安装组件卡接在动齿轮上，随后将管材类工件套在安装组件外部，随后将镀膜室密封即可启动该镀膜装置，在镀膜时，电机转动带动转台转动，转台上的动齿轮也会随转台一起运动，由于动齿轮中间位置有与之啮合的定齿轮，且定齿轮与镀膜室的顶部固接，故动齿轮会在随转台一起运动的同时自动也发生转动，既能保证管材镀膜均匀，又能减少电机的使用量，降低能耗和发生故障的概率。
附图说明
[0014]图1为本技术整体的结构示意图；
[0015]图2为本技术整体的剖视结构示意图；
[0016]图3为本技术转台的结构示意图；
[0017]图4为本技术动齿轮的结构示意图；
[0018]图5为本技术安装板的结构示意图。
[0019]图中：1、镀膜室；2、转台；3、动齿轮；4、安装板；5、立柱；6、弹性卡块；7、定齿轮；8、固定柱；401、卡槽。
具体实施方式
[0020]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0021]实施例
[0022]请参阅图1
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5，一种离子束镀膜装置，包括镀膜室1、镀膜室1的底部固接有电机和与镀膜室1内壁固接的离子源，镀膜室1内部的底部转动连接有转台2，转台2的底部与电机的输出轴固接，转台2顶部的外侧转动连接有四个动齿轮3，动齿轮3的中间位置啮合有定齿轮7，定齿轮7的顶部固接有固定柱8，固定柱8的顶部与镀膜室1固接，动齿轮3的顶部卡接有安装组件。
[0023]本技术中的离子束镀膜装置，将安装组件卡接在动齿轮3上，随后将管材类工件套在安装组件外部，随后将镀膜室1的密封门关闭，即可启动该镀膜装置，在镀膜时，启动电机，电机转动带动转台2转动，转台2上的动齿轮3也会随转台2一起绕电机的输出轴转动，由于动齿轮3的中间位置设有与之啮合的定齿轮7，且定齿轮7的上表面通过固定柱8与镀膜室1的顶部固接，故动齿轮3在随转台2一起运动时会与定齿轮7啮合，从而使得动齿轮3自身也发生转动，这样既能保证管材镀膜均匀，又能减少电机的使用量，降低能耗和发生故障的概率，此外本申请文件中的镀膜室1、电机和离子源与对比文件专利申请号为CN202120018453.2中的结构相同，且属于成熟的技术产品，故在此不做过多的阐述。
[0024]进一步地，如图2至图5所示，安装组件包括安装板4和立柱5，安装板4的两侧开设有卡槽401，安装板4的顶部固接有立柱5，立柱5的外部套设有管材，动齿轮3上表面的两侧固接有弹性卡块6，弹性卡块6与卡槽401相匹配。将安装组件卡接在动齿轮3上时，可直接将安装板4上的卡槽401与弹性卡块6对齐，然后向下按压安装板4，使弹性卡块6从卡槽401中伸出，即可使安装组件卡接在动齿轮3上，在拆卸时只需要将弹性卡块6向立柱5的方向按
压，再将安装板4向上提起，即可将安装组件拆卸下来，由于安装组件可拆卸的设计，在对不同管材进行镀膜时，可选用不同的安装组件，提高了该装置的适用范围。
[0025]进一步地，如图2、图3和图4所示，弹性卡块6的顶部开设有倒角。在安装板4向下推动时，卡槽401与倒角接触，会自行将弹性卡块6推向立柱5的方向，使得安装板4卡接的更为顺利，降低安装难度。
[0026]进一步地，如图2、图3和图5所示，立柱5的顶部为弧形设置。弧形设置的立柱5，使得管材在插入立柱5上时更加省力，不必耗费较长的时间对孔，提高工作效率。
[0027]进一步地，如图2和图3所示，安装板4的直径不大于动齿轮3的直径。若安装板4的直径大于动齿轮3的直径，工作人员就无法直接查看动齿轮3的齿槽中是否有杂质，想要查看是否有杂质就需要将安装板4拆卸下来，这会增大工作人员的工作量，提高劳动强度，不利于提高工作效率。
[0028]最后应说明的是：在本技术的描述中，需要说明的是，术语“竖直”、“上”、“下”、“水平”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种离子束镀膜装置，包括镀膜室(1)、镀膜室(1)的底部固接有电机和与镀膜室(1)内壁固接的离子源，其特征在于，所述镀膜室(1)内部的底部转动连接有转台(2)，所述转台(2)的底部与电机的输出轴固接，所述转台(2)顶部的外侧转动连接有四个动齿轮(3)，所述动齿轮(3)的中间位置啮合有定齿轮(7)，所述定齿轮(7)的顶部固接有固定柱(8)，所述固定柱(8)的顶部与镀膜室(1)固接，所述动齿轮(3)的顶部卡接有安装组件。2.根据权利要求1所述的一种离子束镀膜装置，其特征在于，所述安装组件包括安装板(4)和立柱...

【专利技术属性】
技术研发人员：付德春，左飞龙，余益飞，
申请(专利权)人：宜昌后皇真空科技有限公司，
类型：新型
国别省市：