一种离子束镀膜装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及离子束镀膜设备技术领域，且公开了一种离子束镀膜装置，包括镀膜室、镀膜室的底部固接有电机和与镀膜室内壁固接的离子源，所述镀膜室内部的底部转动连接有转台，所述转台的底部与电机的输出轴固接，所述转台顶部的外侧转动连接有四个动齿轮。该种离子束镀膜装置，将安装组件卡接在动齿轮上，随后将管材类工件套在安装组件外部，随后将镀膜室密封即可启动该镀膜装置，在镀膜时，电机转动带动转台转动，转台上的动齿轮也会随转台一起运动，由于动齿轮中间位置有与之啮合的定齿轮，且定齿轮与镀膜室固接，故动齿轮会在随转台一起运动的同时自动也发生转动，既能保证管材镀膜均匀，又能减少电机的使用量，降低发生故障的概率。故障的概率。故障的概率。

【技术实现步骤摘要】
一种离子束镀膜装置


[0001]本技术涉及离子束镀膜设备
，具体为一种离子束镀膜装置。

技术介绍

[0002]离子束辅助沉积镀膜作为一种金属材料表面改性的手段，可以实现向金属材料表面注入任何种类的元素而不受元素间固溶度的限制，故对与有特殊需求的管材来说，一般都会使用离子束镀膜机对其进行离子束镀膜处理。
[0003]经检索，中国专利申请号为CN202120018453.2的专利，公开了一种离子束镀膜装置，包括真空镀膜室，所述真空镀膜室中设置有主离子源、靶材、辅助离子源和水平的转台；第一电机能够驱动转台自转；所述转台的顶面对称设置有两个夹持机构，每个所述夹持机构均包括与所述转台连接的支架、与所述支架的顶部转动连接的竖直的转盘和转动设置在所述转盘上的夹爪，两个所述转盘上的所述夹爪一一对应，通过对应的两个所述夹爪夹持工件，所述支架上设置有能够驱动所述转盘自转的第二电机，一个所述转盘内设置有能够驱动所述夹爪自转的第三电机。本技术的离子束镀膜装置能够实现一次装夹即对工件全身镀膜，提高了镀膜效率且镀膜的均匀性好。上述专利中的离子束镀膜装置装置存本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种离子束镀膜装置，包括镀膜室(1)、镀膜室(1)的底部固接有电机和与镀膜室(1)内壁固接的离子源，其特征在于，所述镀膜室(1)内部的底部转动连接有转台(2)，所述转台(2)的底部与电机的输出轴固接，所述转台(2)顶部的外侧转动连接有四个动齿轮(3)，所述动齿轮(3)的中间位置啮合有定齿轮(7)，所述定齿轮(7)的顶部固接有固定柱(8)，所述固定柱(8)的顶部与镀膜室(1)固接，所述动齿轮(3)的顶部卡接有安装组件。2.根据权利要求1所述的一种离子束镀膜装置，其特征在于，所述安装组件包括安装板(4)和立柱...

【专利技术属性】
技术研发人员：付德春，左飞龙，余益飞，
申请(专利权)人：宜昌后皇真空科技有限公司，
类型：新型
国别省市：