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一种离子束镀膜装置制造方法及图纸
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下载一种离子束镀膜装置的技术资料
文档序号:37093432
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本实用新型涉及离子束镀膜设备技术领域,且公开了一种离子束镀膜装置,包括镀膜室、镀膜室的底部固接有电机和与镀膜室内壁固接的离子源,所述镀膜室内部的底部转动连接有转台,所述转台的底部与电机的输出轴固接,所述转台顶部的外侧转动连接有四个动齿轮。该...
该专利属于宜昌后皇真空科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过宜昌后皇真空科技有限公司授权不得商用。
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