【技术实现步骤摘要】
一种半导体芯片的安装定位方法及定位制具
本专利技术涉及一种半导体芯片在安装时固定芯片位置的方法及定位制具,属于集成电路制造
技术介绍
目前,半导体芯片粘片工艺就是在外壳芯腔芯片粘接区上分配好贴片胶,将芯片放置在胶体上,保证胶体固化后芯片装配定位准确,芯片背面的胶体分布均匀,满足自动键合的对位精度和平面度的需要。半导体芯片贴片用的贴片胶其粘度、应力、流动性不同,根据产品需求选择相适应的胶材料。对于MEMS、光学传感器件及超大面积的芯片等产品,需要选择低应力的贴片胶,而通常低应力的贴片胶其粘度低,流动性强。芯片放置在流动性强的胶体上,固化过程中胶体受热扩散流动,将带动芯片偏离了原规定的安装位置,导致不能满足引线键合对位的质量要求,降低了封装产品的成品率。目前集成电路芯片贴片技术已成熟,但对流动性较强的贴片胶引起的芯片安装位置移位还无工艺方法可实现定位。
技术实现思路
本专利技术的目的在于克服固化过程胶体流动引起的芯片移位,从而提供一种利用定位制具完成半导体芯片精准定位粘接的方法,能够快速、准确地将芯片放置于外壳载体的安装位置后进行固化。本专利技术的主要解决方案是这样实现的,所述的半导体芯片的安装定位方法包括以下工艺步骤:(1)先在外壳芯片粘接区上分配好贴片胶;(2)将定位制具放入外壳芯腔键合指台阶上;定位制具外框卡在外壳芯腔中,与贴片胶不接触;(3)将芯片放入定位制具内框中进行定位,使芯片不会因贴片胶固化时受热流动偏移出要求的位置;(4)芯片安放好后将半成品器件放入固化炉内固化贴片胶;固化温度150~200℃;固化时间:1.5~2小时;(5)固化结束后, ...
【技术保护点】
一种半导体芯片的安装定位方法,其特征是,包括以下工艺步骤:A.先在外壳芯片粘接区(1)上分配好贴片胶(2);B.将定位制具(3)放入外壳芯腔键合指台阶(4)上;定位制具(3)外框卡在外壳芯腔(6)中,定位制具(3)与贴片胶(2)不接触;C.将芯片(7)放入定位制具(3)内框中进行定位,使芯片(7)不会因贴片胶(2)固化时受热流动偏移出要求的位置;D.芯片(7)安放好后将整个器件放入固化炉内固化贴片胶(2);固化温度150~200℃;固化时间:1.5~2小时;E.固化结束后,从外壳芯腔(6)内取出定位制具(3),完成固化的器件。
【技术特征摘要】
1.一种半导体芯片的安装定位方法,其特征是,包括以下工艺步骤:A.先在外壳芯片粘接区(1)上分配好贴片胶(2);B.将定位制具(3)放入外壳芯腔键合指台阶(4)上;定位制具(3)外框卡在外壳芯腔(6)中,定位制具(3)与贴片胶(2)不接触;C.将芯片(7)放入定位制具(3)内框中进行定位,使芯片(7)不会因贴片胶(2)固化时受热流动偏移出要求的位置;D.芯片(7)安放好后将整个器件放入固化炉内固化贴片胶(2);固化温度150~200℃;固化时间:1.5~2小时;E.固化结束...
【专利技术属性】
技术研发人员:葛秋玲,张国华,堵军,李宗亚,
申请(专利权)人:无锡中微高科电子有限公司,
类型:发明
国别省市:江苏;32
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