歧管单元及使用歧管单元的定流量型漏泄测试器制造技术

本发明专利技术提供一种歧管单元及使用歧管单元的定流量型漏泄测试器，在歧管块内形成工件侧配管、标准件侧配管、导入孔和开放孔，在歧管块表面的第一圆区域形成分别与工件侧配管和标准件侧配管导通的两个配管开口、与导入孔导通的共通开口，将临界喷嘴分别插入第一圆区域的两个配管开口中，在第二圆区域形成分别与工件侧配管和标准件侧配管导通的两个配管开口、与开放孔导通的共通开口，配置有覆盖第一及第二圆区域的第一及第二固定板，第一及第二固定板分别具有形成有与配管开口对向并连通的贯通孔的圆柱突出部、与共通开口对向并连通的贯通孔，安装于固定板上的控制阀在阀动作室中利用密封橡胶同时打开、关闭两个圆柱突出部的贯通孔。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】歧管单元及使用歧管单元的定流量型漏泄测试器
本专利技术涉及在注入定流量空气而进行被试验工件的泄漏检查的定流量型漏泄测试器使用的歧管单元及使用歧管单元的定流量型漏泄测试器。
技术介绍
定流量型漏泄测试器在工件舱和标准件舱中分别收纳作为工件的检查对象容器和作为标准件的无泄漏的基准容器，在测试压下向工件侧空气系统和标准件侧空气系统中注入相同的定流量的空气，关闭系统后，观测工件侧空气系统和标准件侧空气系统之间的差压的变化，在规定时间后的差压比预定值大的情况下，将工件判定为次品。作为检查对象的工件，密封容器、密封壳体、护罩零件等各种各样的工件可成为对象。作为这种漏泄测试器，例如图1中表示专利文献1公开的漏泄测试器的例子。图1的定流量型漏泄测试器构成为能够进行如下两种情况的双向试验，即，将工件8W配置在工件舱6W内，向工件舱6W内注入加压空气并检测向工件8W内的泄漏量的情况、和对工件舱6W内进行减压并检测从工件8W内向工件8W外泄漏的气体的泄漏量的情况。负压源15利用配管11与三通控制阀12的接口A连接，接口B侧的配管分支成工件侧配管3W和标准件侧配管3M，分别经由通常打开(总是打开)的双通控制阀4W、4M与工件舱6W、标准件舱6M连接。正压源16利用配管14与容器40连接。容器40利用配管2W依次经由通常关闭(总是关闭)的双通控制阀5W和临界喷嘴(均称为音速喷嘴或声速喷嘴等)7W与双通控制阀4W和工件舱6W之间的工件侧配管3W连接。另外，容器40利用配管2M依次经由通常关闭的双通控制阀5M和临界喷嘴7M与双通控制阀4M和标准件舱6M之间的标准件侧配管3M连接。工件舱6W和标准件舱6M为具有相同内容积的容器，收纳于标准件舱6M内的标准件8M是成为与检查对象的工件8W相等的容积的无泄漏的基准的工件。检查对象的工件6W不明确是否有泄漏。在双通控制阀4W和工件舱6W之间的工件侧配管3W与双通控制阀4M和标准件舱6M之间的标准件侧配管3M之间连接差压检测器13，基于由差压检测器13检测的差压，利用判定装置10判定工件是否良好。临界喷嘴7W、7M为在长度方向中间部具有内径缩径的贯通孔的喷嘴，在从其一端注入加压气体且从另一端放出时，若注入侧压力P1和放出侧压力P0(例如大气压)的比P0/P1约为0.528以下(称为临界条件)，则具有在缩径位置的气体的流速成为音速的流量特性，如果注入侧压力P1一定，即使二次侧压力(测试压)发生变化，节流的气体的流速也不会超过音速，利用保持一定的性质，可作为定流量喷嘴使用。在漏泄测试中，首先在双通控制阀4W、4M打开的状态且控制阀5W、5M关闭的状态下，在使三通控制阀12的接口BC间导通(即，将接口B与大气导通)的状态下，在标准件舱6M中收纳具有与工件8W相同的容积且无泄漏的标准件容器8M，在工件舱6W内收纳泄漏不明的工件8W。在对工件8W赋予负压来检测泄漏的情况下，在将控制阀5W、5M关闭的状态且将双通控制阀4W、4M打开的状态下，使三通控制阀12的接口A和B之间导通，利用负压源15对工件舱6W和标准件舱6M赋予规定的负压。在经过规定时间并稳定后，关闭双通控制阀4W、4M，如果进一步经过规定时间后的差压检测器13的检测差压为0(或规定基准值以下)，则判定工件8W为良品(无泄漏或基准值以下)，如果比0(或基准值)大，则判定为次品(有泄漏)。在从正压源16供给加压空气而检测空气向工件8W内的泄漏的情况下，在关闭双通控制阀4W、4M且关闭控制阀5W、5M的状态下，利用正压源16向容器40中充满相对于大气压P0满足临界条件的预定的一定压力的空气。容器40为了能够稳定地供给规定压的空气而使用，但如果供给侧的供给流量较大，则也可以不使用，而从配管14分支并直接供给配管2W、2M。使控制阀5W、5M导通后，在经过规定时间后即向工件侧及标准件侧供给规定流量的空气，然后关闭双通控制阀5W、5M，基于由差压检测器13检测的差压判定工件8W中是否有较大泄漏。在没有较大泄漏的情况下，在关闭双通控制阀5W、5M的状态下观测差压变化，若在规定时间内产生差压，则判定为有较少泄漏，如果未产生差压，则判定为无泄漏。以下，对该漏泄测试器的泄漏测试灵敏度进行简单地说明。当只观察标准件侧时，如果标准件8M中无泄漏，则由双通控制阀4M和双通控制阀5M关闭的标准件侧空气系统的总内容积是，用标准件舱6M的内容积减去标准件8M的体积的容积、从标准件侧配管3M的标准件舱6M到双通控制阀4M的内容积、从配管2M的控制阀5M到标准件侧配管3M的内容积和从差压检测器13到标准件侧配管3M的内容积的总和，且将该总和设为V。当观察工件侧时，只有在工件舱6W内插入有与标准件8M相同体积的工件8W的方面不同。当将工件8W的内容积设为ΔV时，如果在工件8W中具有较大的孔，则工件侧的总内容积成为V+ΔV。在将大气压设为P0且初始状态为真空状态下，当从临界喷嘴5W、5M向工件侧和标准件侧注入大气压换算流量Q，其结果，标准件侧的压力成为P时，标准件侧的状态为P0Q＝PV(1)工件侧的状态为P0Q＝(P－ΔP)(V+ΔV)(2)。其中，ΔP为将工件8W的内容积ΔV相加而导致的减少压力(差压)。当将式(1)和(2)相加时，得到2P0Q＝PV+(P－ΔP)(V+ΔV)(3)，由式(1)、(3)得到ΔP＝P0QΔV/V(V+ΔV)≈P0QΔV/V2(4)。式(4)通过在初始状态下将工件侧及标准件侧设为真空而求得，但在初始状态相互相同且为任意压力的情况下也可得到相同的式(4)。即，可知检测差压ΔP与标准件侧的总内容积V的二次方成反比例。因此，在被检查工件的内容积ΔV较小的情况下，为了提高检测灵敏度，优选尽可能减小总内容积。在工件8W为例如用于便携电子设备的密闭在容器中的晶体振子那样小的零件的情况下，在差压检测灵敏度方面对如何缩小工件侧及标准件侧空气系的各总内容积是非常重要的，但在专利文献1中未提出这样的研究。另一方面，在漏泄测试器中，在专利文献2中公开有如下的漏泄测试器，即，通过使用向在金属或树脂的块内形成有工件侧配管及标准件侧配管的歧管块安装控制阀及差压检测器而构成的歧管单元，从而使漏泄测试器的构造紧凑且容易组装。图2表示该漏泄测试器的功能结构，对与图1对应的部分标注相同的参照标记。另外，专利文献2中公开的图中设有除去尘埃的过滤器或使工件侧和标准件侧之间的差压不超过规定值的安全阀等，但在此，为了简单而省略这些部件。正压源16经由三通控制阀12与工件侧配管3W和标准件侧配管3M连接。工件侧配管3W经由双通控制阀4W和19W与工件舱6W连接。标准件侧配管3M经由双通控制阀4M和19M与标准件舱6M连接。正压源16还经由三通控制阀18与微小流量产生喷嘴17W和17M连接，这些微小流量产生喷嘴的出口侧在双通控制阀4W和19W之间经由双通控制阀5W、5M与工件侧配管3W连接，在双通控制阀4M和19M之间经由双通控制阀5W、5M与标准件侧配管3M连接。将两个控制阀5W、5M、具有微细管的两个微小流量产生喷嘴17W、17M、两个双通控制阀4W、4M、两个双通控制阀5W、5M和差压检测器13等安装于歧管块，利用在歧管块内形成有这些的配管连接而构成该歧本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种歧管单元，用于定流量型漏泄测试器，该定流量型漏泄测试器通过向工件侧空气系统和标准件侧空气系统中注入定流量的气体来检测差压，从而检查工件的泄漏，其特征在于，具有：歧管块，在所述歧管块内分别形成有一端向所述歧管块的第一侧面开放的工件侧配管、标准件侧配管、开放孔，进而形成有一端向第二侧面开放的导入孔，在所述歧管块的表面形成有在预先决定的第一圆区域内与所述工件侧配管导通的工件侧第一配管开口、与所述标准件侧配管导通的标准件侧第一配管开口、使与所述导入孔导通的第一共通开口从所述表面垂直地延伸形成且与所述第一圆区域隔开间隔而在预先决定的第二圆区域内与所述工件侧配管导通的工件侧第二配管开口、与所述标准件侧配管导通的标准件侧第二配管开口、使与所述开放孔导通的第二共通开口从所述表面垂直地延伸形成且在所述第一圆区域和所述第二圆区域之间与所述工件侧配管连通的工件侧第三配管开口及与所述标准件侧配管连通的标准件侧第三配管开口；差压检测器，其在所述第一圆区域和所述第二圆区域之间配置于所述歧管块的表面，通过所述工件侧第三配管开口和所述标准件侧第三配管开口而检测所述工件侧空气系统和所述标准件侧空气系统的差压；第一控制阀和第二控制阀，其以分别覆盖所述第一圆区域及所述第二圆区域的方式安装于所述歧管块上，所述第一控制阀具有包围所述第一圆区域的第一阀动作室，以根据阀的打开、关闭请求而在所述第一阀动作室内同时打开、关闭所述工件侧第一配管开口和所述标准件侧第一配管开口的方式构成，所述第二控制阀具有包围所述第二圆区域的第二阀动作室，以根据阀的打开、关闭请求而在所述第二阀动作室内同时打开、关闭所述工件侧第二配管开口和所述标准件侧第二配管开口的方式构成，在所述第一圆区域内的所述工件侧第一配管开口和所述标准件侧第一配管开口中分别插入有第一及第二临界喷嘴。...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种歧管单元，用于定流量型漏泄测试器，该定流量型漏泄测试器通过向工件侧空气系统和标准件侧空气系统中注入定流量的气体来检测差压，从而检查工件的泄漏，其特征在于，具有：歧管块，在所述歧管块内分别形成有一端向所述歧管块的第一侧面开放的工件侧配管、标准件侧配管、开放孔，进而形成有一端向第二侧面开放的导入孔，在所述歧管块的表面形成有在预先决定的第一圆区域内与所述工件侧配管导通的工件侧第一配管开口、与所述标准件侧配管导通的标准件侧第一配管开口、使与所述导入孔导通的第一共通开口从所述表面垂直地延伸形成且与所述第一圆区域隔开间隔而在预先决定的第二圆区域内与所述工件侧配管导通的工件侧第二配管开口、与所述标准件侧配管导通的标准件侧第二配管开口、使与所述开放孔导通的第二共通开口从所述表面垂直地延伸形成且在所述第一圆区域和所述第二圆区域之间与所述工件侧配管连通的工件侧第三配管开口及与所述标准件侧配管连通的标准件侧第三配管开口；差压检测器，其在所述第一圆区域和所述第二圆区域之间配置于所述歧管块的表面，通过所述工件侧第三配管开口和所述标准件侧第三配管开口而检测所述工件侧空气系统和所述标准件侧空气系统的差压；第一控制阀和第二控制阀，其以分别覆盖所述第一圆区域及所述第二圆区域的方式安装于所述歧管块上，所述第一控制阀具有包围所述第一圆区域的第一阀动作室，以根据所述第一控制阀的打开、关闭请求而在所述第一阀动作室内同时打开、关闭所述工件侧第一配管开口和所述标准件侧第一配管开口的方式构成，所述第二控制阀具有包围所述第二圆区域的第二阀动作室，以根据所述第二控制阀的打开、关闭请求而在所述第二阀动作室内同时打开、关闭所述工件侧第二配管开口和所述标准件侧第二配管开口的方式构成，在所述第一圆区域内的所述工件侧第一配管开口和所述标准件侧第一配管开口中分别插入有第一及第二临界喷嘴。2.如权利要求1所述的歧管单元，其特征在于，所述第一控制阀及所述第二控制阀分别具有第一固定板及第二固定板，该第一固定板及第二固定板以覆盖所述第一圆区域及所述第二圆区域且堵塞所述第一阀动作室及所述第二阀动作室的方式安装，所述第一固定板具有两个第一圆柱突出部、第一贯通孔，所述两个第一圆柱突出部分别在中心形成与所述工件侧第一配管开口和所述标准件侧第一配管开口对向并连通的贯通孔，从所述歧管块的相反侧的面突出，所述第一贯通孔与所述第一共通开口对向并连通，所述第二固定板具有两个第二圆柱突出部、第二贯通孔，所述两个第二圆柱突出部分别在中心形成与所述工件侧第二配管...

【专利技术属性】
技术研发人员：古瀬昭男，铃木良尚，
申请(专利权)人：株式会社科思莫计器，
类型：发明
国别省市：日本;JP