气体泄漏检测装置、检测的设定方法、检测方法、以及程序制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种气体泄漏检测装置、气体泄漏检测的设定方法、气体泄漏检测方法、以及程序。本发明专利技术的气体泄漏检测装置具有：恒流量控制阀、加压控制阀、供给侧气体回路、基准件侧气体回路、工件侧气体回路、等压阀、排气阀、测试压传感器、以及压差传感器。恒流量控制阀控制恒流量气体的供给。加压控制阀控制测试压气体的供给。供给侧气体回路与恒流量控制阀和加压控制阀连接。在基准件侧气体回路连接有基准件。在工件侧气体回路连接有工件。等压阀进行供给侧气体回路与基准件侧气体回路之间的开闭、以及供给侧气体回路与工件侧气体回路之间的开闭。排气阀进行工件侧气体回路与外部之间的开闭。测试压传感器对供给侧气体回路内的压力进行检测。压差传感器对基准件侧气体回路与工件侧气体回路的压差进行检测。工件侧气体回路的压差进行检测。工件侧气体回路的压差进行检测。

【技术实现步骤摘要】
气体泄漏检测装置、检测的设定方法、检测方法、以及程序


[0001]本专利技术涉及使气体泄漏检测的可靠性提高的气体泄漏检测装置、气体泄漏检测的设定方法、气体泄漏检测方法、以及程序。

技术介绍

[0002]作为通过向被检工件供给加压气体来检测来自被检工件的气体有无泄漏的设备，已知各种气体泄漏检测装置(参照专利文献1：国际公开第2014/184895号小册子、非专利文献1：Cosmo Keiki Co.,Ltd.总目录[检索(日本)令和2年8月28日]、互联网〈https://www.cosmo
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k.co.jp/document
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[0003]气体泄漏检测装置900包括：减压阀210、压力传感器213、第一控制阀221、第二控制阀223、第三控制阀225、第一气体回路21、第二气体回路22、第三气体回路23、第四气体回路24、第五气体回路25、第六气体回路26、压差传感器250、压力传感器253、处理装置910、以及消音器40。第一控制阀221在该例子中是具有一个进气口与两个排气口的常闭阀。第二控制阀223在该例子中是具有两个进气口与一个排气口的常开阀。第三控制阀225在该例子中是具有一个进气口与一个排气口的常开阀。因为已知阀的控制，所以省略其说明。在该例中，处理装置910控制各控制阀。
[0004]气体供给源200将加压气体向第一气体回路21的一端供给。第一气体回路21的另一端与用于维持气体泄漏检测装置900的一次压力的稳定的减压阀210的一端连接。第一气体回路21例如为金属管。
[0005]减压阀210的另一端与第二气体回路22的一端连接，第二气体回路22的另一端与第一控制阀221的进气口连接。第二气体回路22例如为金属管。需要说明的是，用于测量气体泄漏检测装置900的一次压力的压力传感器213与第二气体回路22连接。压力传感器213的测量值被输入处理装置910中。
[0006]第三气体回路23的一端与第一控制阀221的一方的排气口连接。第三气体回路23的另一端连接有被检工件32。第三气体回路23除了连通第一控制阀221与被检工件32的管路以外还具有两个管路。上述两个管路从连通第一控制阀221与被检工件32的管路分支出来。一方的管路的端部与压差传感器250的一端连接。另一方的管路的端部与第二控制阀223的一方的进气口连接。这样，第三气体回路23将第一控制阀221、第二控制阀223、压差传感器250、以及被检工件32连通。第三气体回路23例如为金属管。
[0007]第四气体回路24的一端与第一控制阀221的另一方的排气口连接。第四气体回路24的另一端连接有作为无泄漏参照物的基准件33。第四气体回路24除了连通第一控制阀221与基准件33的管路以外还具有两个管路。上述两个管路从连通第一控制阀221与基准件33的管路分支出来。一方的管路的端部与压差传感器250的另一端连接。另一方的管路的端部与第二控制阀223的另一方的进气口连接。这样，第四气体回路24将第一控制阀221、第二
控制阀223、压差传感器250、以及基准件33连通。第四气体回路24例如为金属管。压差传感器250的测量值被输入处理装置910中。
[0008]第五气体回路25的一端与第二控制阀223的排气口连接，第五气体回路25的另一端与第三控制阀225的进气口连接。需要说明的是，压力传感器253与第五气体回路25连接。第五气体回路25例如为金属管。压力传感器253的测量值被输入处理装置910中。
[0009]第六气体回路26的一端与第三控制阀225的排气口连接，在第六气体回路26的另一端安装有减小来自气体泄漏检测装置900的排气噪声的消音器40。
[0010]根据上述结构，在第一控制阀221为打开的状态时，气体供给源200、第一气体回路21、第二气体回路22、第三气体回路23、以及第四气体回路24相互连通。在第一控制阀221为关闭的状态时，第二气体回路22与第三气体回路23之间的连通被切断，并且第二气体回路22与第四气体回路24之间的连通被切断。也就是说，在第一控制阀221为关闭的状态时，来自气体供给源200的气体未向第三气体回路23与第四气体回路24供给。
[0011]在第二控制阀223为打开的状态时，第三气体回路23、第四气体回路24、以及第五气体回路25相互连通。在第二控制阀223为关闭的状态时，第三气体回路23与第五气体回路25之间的连通被切断，并且第四气体回路24与第五气体回路25之间的连通被切断。
[0012]第三控制阀225为打开的状态时，第五气体回路25与第六气体回路26相互连通。在第三控制阀225为关闭的状态时，第五气体回路25与第六气体回路26之间的连通被切断。
[0013]处理装置910依照程序，对第一、第二及第三控制阀221、223、225的动作进行控制，观测由压力传感器213检测出的供给压、以及由压力传感器253检测出的测试压，并且基于在规定的时刻由压差传感器250得到的检测压差，判定来自被检工件32的气体有无泄漏。
[0014]气体泄漏检测装置900的动作流程如下所述。处理装置910未进行任何控制的状态(初始状态)为第一控制阀221关闭、第二控制阀223与第三控制阀225打开的状态。此时，第三气体回路23、第四气体回路24、第五气体回路25、第六气体回路26的压力为大气压。另外，第二气体回路22的压力由减压阀210设定为规定的压力。在该状态下，基准件33与第四气体回路24，被检工件32与第三气体回路23连接。
[0015]处理装置910在维持第二控制阀223为打开的状态下使第三控制阀225为关闭的状态后，使第一控制阀221为只打开预先确定的时间的状态。其结果是，气体供给源200的加压空气通过第一气体回路21、第二气体回路22、第三气体回路23、以及第四气体回路24，向基准件33与被检工件32供给。
[0016]接着，处理装置910不改变第二控制阀223与第三控制阀225的状态，使第一控制阀221为关闭的状态，只在预先确定的时间内等待压力变化的减少。在该期间压力传感器253检测到压力下降的情况下，处理装置910判定“被检工件32存在泄漏”。
[0017]在该工序之后，处理装置910维持第一控制阀221与第三控制阀225为关闭的状态，使第二控制阀223为关闭的状态。处理装置910观测压差传感器250检测的压差。若被检工件32有孔洞时，空气会从被检工件32泄漏，在第三气体回路23的压力与第四气体回路24的压力之间产生压力差。也就是说，第三气体回路23的压力比第四气体回路24的压力低。因此，在关闭第二控制阀223之后经过预先确定的时间后，在压差传感器250检测出比预先确定的第一基准值大的压差的情况下，处理本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种气体泄漏检测装置，其特征在于，具有：恒流量控制阀，其控制恒流量气体的供给；加压控制阀，其控制测试压气体的供给；供给侧气体回路，其与所述恒流量控制阀和所述加压控制阀连接；基准件侧气体回路，其与基准件连接；工件侧气体回路，其与工件连接；等压阀，其进行所述供给侧气体回路与所述基准件侧气体回路之间的开闭、以及所述供给侧气体回路与所述工件侧气体回路之间的开闭；排气阀，其只进行所述工件侧气体回路与外部之间的开闭；测试压传感器，其对所述供给侧气体回路内的压力进行检测；压差传感器，其对所述基准件侧气体回路与所述工件侧气体回路的压差进行检测。2.一种气体泄漏检测装置，其特征在于，具有：恒流量控制阀，其控制恒流量气体的供给；加压控制阀，其控制测试压气体的供给；供给侧气体回路，其与所述恒流量控制阀和所述加压控制阀连接；基准件侧气体回路，其与基准件连接；工件侧气体回路，其与工件连接；等压阀，其进行所述供给侧气体回路与所述基准件侧气体回路之间的开闭、以及所述供给侧气体回路与所述工件侧气体回路之间的开闭；排气阀，其能够在保持所述基准件侧气体回路与外部之间为关闭的状态下进行所述工件侧气体回路与外部之间的开闭；测试压传感器，其对所述供给侧气体回路内的压力进行检测；压差传感器，其对所述基准件侧气体回路与所述工件侧气体回路的压差进行检测。3.如权利要求1所述的气体泄漏检测装置，其特征在于，使用音速喷嘴供给所述恒流量气体。4.如权利要求1所述的气体泄漏检测装置，其特征在于，所述排气阀为常开式气动阀。5.如权利要求4所述的气体泄漏检测装置，其特征在于，所述等压阀为常闭式气动阀。6.如权利要求2所述的气体泄漏检测装置，其特征在于，使用音速喷嘴供给所述恒流量气体。7.如权利要求2所述的气体泄漏检测装置，其特征在于，所述排气阀为常开式气动阀。8.如权利要求7所述的气体泄漏检测装置，其特征在于，所述等压阀为常闭式气动阀。9.一种气体泄漏检测的设定方法，使用权利要求1或2所述的气体泄漏检测装置，该气体泄漏检测的设定方法的特征在于，作为将合格工件与所述工件侧气体回路连接，使所述等压阀为打开，并使所述排气阀为关闭的状态，
根据在第一规定时间内打开所述恒流量控制阀供给气体时由所述测试压传感器检测的压力，求出等效内容积，作为大泄漏用基准容积，基于所述等效内容积求出连接有所述合格工件的所述工件侧气体回路的等效内容积，作为工件侧基准容积。10.一种气体泄漏检测方法，使用权利要求1所述的气体泄漏检测装置，该气体泄漏检测方法的特征在于，将合格工件与所述工件侧气体回路连接，在使所述等压阀打开，并使所述排气阀关闭的状态下，将通过在第一规定时间内打开所述恒流量控制阀供给气体来求出的等效内容积作为大泄漏用基准容积，将被检工件与所述工件侧气体回路连接，执行如下的步骤：第一泄漏检测步骤，在所述第一泄漏检测步骤中，在使所述等压阀打开，并使所述排气阀关闭的状态下，在第一规定时间内打开所述恒流量控制阀供给气体，之后关闭，由所述测...

【专利技术属性】
技术研发人员：古瀬昭男，佐佐木理，
申请(专利权)人：株式会社科思莫计器，
类型：发明
国别省市：