气体泄漏检测装置、检测的设定方法、检测方法、以及程序制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种气体泄漏检测装置、气体泄漏检测的设定方法、气体泄漏检测方法、以及程序。本发明专利技术的气体泄漏检测装置具有：恒流量控制阀、加压控制阀、供给侧气体回路、基准件侧气体回路、工件侧气体回路、等压阀、排气阀、测试压传感器、以及压差传感器。恒流量控制阀控制恒流量气体的供给。加压控制阀控制测试压气体的供给。供给侧气体回路与恒流量控制阀和加压控制阀连接。在基准件侧气体回路连接有基准件。在工件侧气体回路连接有工件。等压阀进行供给侧气体回路与基准件侧气体回路之间的开闭、以及供给侧气体回路与工件侧气体回路之间的开闭。排气阀进行工件侧气体回路与外部之间的开闭。测试压传感器对供给侧气体回路内的压力进行检测。压差传感器对基准件侧气体回路与工件侧气体回路的压差进行检测。工件侧气体回路的压差进行检测。工件侧气体回路的压差进行检测。

【技术实现步骤摘要】
气体泄漏检测装置、检测的设定方法、检测方法、以及程序


[0001]本专利技术涉及使气体泄漏检测的可靠性提高的气体泄漏检测装置、气体泄漏检测的设定方法、气体泄漏检测方法、以及程序。

技术介绍

[0002]作为通过向被检工件供给加压气体来检测来自被检工件的气体有无泄漏的设备，已知各种气体泄漏检测装置(参照专利文献1：国际公开第2014/184895号小册子、非专利文献1：Cosmo Keiki Co.,Ltd.总目录[检索(日本)令和2年8月28日]、互联网〈https://www.cosmo
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k.co.jp/document
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download/〉)。参照图1，说明气体泄漏检测装置900的概况。虽然使用的气体的类型没有限制，但在该例子中气体为空气。因此，适合称为空气泄漏检测装置。但是，为了不丧失通用性，使用气体泄漏检测装置这样的称呼。
[0003]气体泄漏检测装置900包括：减压阀210、压力传感器213、第一控制阀221、第二控制阀223、第三控制阀225、第一气体回路21、第二气体回路22、第三气本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种气体泄漏检测装置，其特征在于，具有：恒流量控制阀，其控制恒流量气体的供给；加压控制阀，其控制测试压气体的供给；供给侧气体回路，其与所述恒流量控制阀和所述加压控制阀连接；基准件侧气体回路，其与基准件连接；工件侧气体回路，其与工件连接；等压阀，其进行所述供给侧气体回路与所述基准件侧气体回路之间的开闭、以及所述供给侧气体回路与所述工件侧气体回路之间的开闭；排气阀，其只进行所述工件侧气体回路与外部之间的开闭；测试压传感器，其对所述供给侧气体回路内的压力进行检测；压差传感器，其对所述基准件侧气体回路与所述工件侧气体回路的压差进行检测。2.一种气体泄漏检测装置，其特征在于，具有：恒流量控制阀，其控制恒流量气体的供给；加压控制阀，其控制测试压气体的供给；供给侧气体回路，其与所述恒流量控制阀和所述加压控制阀连接；基准件侧气体回路，其与基准件连接；工件侧气体回路，其与工件连接；等压阀，其进行所述供给侧气体回路与所述基准件侧气体回路之间的开闭、以及所述供给侧气体回路与所述工件侧气体回路之间的开闭；排气阀，其能够在保持所述基准件侧气体回路与外部之间为关闭的状态下进行所述工件侧气体回路与外部之间的开闭；测试压传感器，其对所述供给侧气体回路内的压力进行检测；压差传感器，其对所述基准件侧气体回路与所述工件侧气体回路的压差进行检测。3.如权利要求1所述的气体泄漏检测装置，其特征在于，使用音速喷嘴供给所述恒流量气体。4.如权利要求1所述的气体泄漏检测装置，其特征在于，所述排气阀为常开式气动阀。5.如权利要求4所述的气体泄漏检测装置，其特征在于，所述等压阀为常闭式气动阀。6.如权利要求2所述的气体泄漏检测装置，其特征在于，使用音速喷嘴供给所述恒流量气体。7.如权利要求2所述的气体泄漏检测装置，其特征在于，所述排气阀为常开式气动阀。8.如权利要求7所述的气体泄漏检测装置，其特征在于，所述等压阀为常闭式气动阀。9.一种气体泄漏检测的设定方法，使用权利要求1或2所述的气体泄漏检测装置，该气体泄漏检测的设定方法的特征在于，作为将合格工件与所述工件侧气体回路连接，使所述等压阀为打开，并使所述排气阀为关闭的状态，
根据在第一规定时间内打开所述恒流量控制阀供给气体时由所述测试压传感器检测的压力，求出等效内容积，作为大泄漏用基准容积，基于所述等效内容积求出连接有所述合格工件的所述工件侧气体回路的等效内容积，作为工件侧基准容积。10.一种气体泄漏检测方法，使用权利要求1所述的气体泄漏检测装置，该气体泄漏检测方法的特征在于，将合格工件与所述工件侧气体回路连接，在使所述等压阀打开，并使所述排气阀关闭的状态下，将通过在第一规定时间内打开所述恒流量控制阀供给气体来求出的等效内容积作为大泄漏用基准容积，将被检工件与所述工件侧气体回路连接，执行如下的步骤：第一泄漏检测步骤，在所述第一泄漏检测步骤中，在使所述等压阀打开，并使所述排气阀关闭的状态下，在第一规定时间内打开所述恒流量控制阀供给气体，之后关闭，由所述测...

【专利技术属性】
技术研发人员：古瀬昭男，佐佐木理，
申请(专利权)人：株式会社科思莫计器，
类型：发明
国别省市：