控制装置、流量灵敏度修正方法、存储介质制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种能够根据情况省略校正的控制装置。该控制装置包括：将罐内的压力控制为罐压P

Control device, flow sensitivity correction method, storage medium

【技术实现步骤摘要】
控制装置、流量灵敏度修正方法、存储介质
本专利技术涉及修正对质量流量(massflow)传感器的流量灵敏度进行修正的控制装置、流量灵敏度修正方法、存储介质。
技术介绍
作为流量式泄漏测试系统的现有例子，例如存在非专利文献1。参照图1来说明现有的储罐方式的泄漏流量测量系统的结构。如同图所示，现有的储罐方式的泄漏流量测量系统9包含：空压源905、与将空压源905和罐920连接的第一管路连接的电空转换器910、将第一管路可开闭地连接并比电空转换器910更位于罐920侧的第一截止阀915、罐920、与将罐920和工件935连接的第二管路连接的质量流量传感器925、将第二管路可开闭地连接并比质量流量传感器925更位于工件935侧的第二截止阀930、工件935、将把罐920和流量控制器960连接的第三管路可开闭地连接的第三截止阀940、与罐920连接的压力传感器945、用于排出罐920内的气体的第四截止阀950、将比第二截止阀930更位于工件935侧的第二管路和比第三截止阀940跟位于流量控制器960侧的第三管路连接的第四管路、将比第四管路更位于流量控制器侧的第三管路可开闭地连接的第五截止阀955、流量控制器960、控制系统整体的控制装置965。同图的虚线是传送控制装置965的控制信号的控制线。参照图2来说明现有的泄漏流量测量系统9的控制压设定动作。首先，控制装置965打开第一截止阀915，控制电空转换器910以使罐920内的压力成为罐压P1，并测量罐920内的压力(S9651)。接下来控制装置965关闭第一截止阀915，打开第三截止阀940，测量工件935内的压力即工件压P2(S9652)。在此，将大气压(工件935内的压力的初始值)设为P0、罐920的内容积(已知)设为V1，工件935的内容积(未知)设为x，基于步骤S9651的罐压P1、在步骤S9652测量的工件压P2，根据博伊尔定律，【算式1】P1V1+P0x＝P2(V1+x)…(1)成立。控制装置965基于式(2)，根据罐压P1和工件压P2和罐的内容积V1求出工件935的内容积x，将与预先设定的工件935的测试压P2’对应的罐920的控制压P1’通过以下的式(3)求出(S9653)。【算式2】式(3)是用于求出控制压P1’的算式。控制装置965在将罐压设为控制压P1’并开放将罐920和工件935连接的管路的情况下，判定工件935内的压力是否收敛于以测试压P2’为中心的规定范围(P2’±ΔP2’，ΔP2’为任意值)(S9654)。在工件935内的压力变成规定范围(P2’±ΔP2’)的情况下(S9654-条件分支Y)，结束处理(完毕)，在工件935内的压力没有变成规定范围(P2’±ΔP2’)的情况下(S9654-条件分支N)返回步骤S9651，控制装置965再次执行步骤S9651、S9652、S9653，再次求出控制压P1’，验证工件935内的压力是否变成规定范围(P2’±ΔP2’)(S9654)。只要不进入条件分支N的循环，就反复执行步骤S9651～S9654。此外，式(3)是绝对压的表达，如果以P1＝P0+P11、P2＝P0+P22、P1’＝P0+P11’、P2’＝P0+P22’、表压(gagepressure)表达来表示的话，则表示为【算式3】接下来，参照图3来关于现有的泄漏流量测量系统9的流量灵敏度校正动作进行说明。在校正动作的开始时，假设工件935使用不泄漏的工件。另外假设流量控制器960使用泄漏流量值F的流量控制器。首先，控制装置965关闭第三截止阀940，打开第二截止阀930来检测质量流量传感器925的测量值即流量S(S9656)。接下来，控制装置965打开第五截止阀955来检测质量流量传感器925的测量值即流量T(S9657)。将工件935看作不泄漏的工件，如果T-S≒F，则能够将质量流量传感器925的读取值看作真值。从而控制装置965假设α＝F/(T-S)而得到校正系数α，通过校正系数α来校正质量流量传感器925(S9658)。通过校正系数α来校正质量流量传感器925，由此能够将质量流量传感器925的读取值作为流量的真值来处理。现有技术文献非专利文献非专利文献1：株式会社福田，《流量式リークテストの原理と測定方式(流量式泄漏测量的原理和测定方式)》，[online]，[平成30年9月26日检索]，网址〈URL：http://www.fukuda-jp.com/leak/f01/〉
技术实现思路
专利技术所要解决的课题现有的泄漏流量测量系统在每次工件935的种类变化时需要进行图3的流量灵敏度校正动作，所以复杂且高成本。因此在本专利技术中，目的在于提供一种能够根据情况省略校正的控制装置。用于解决课题的手段本专利技术的控制装置包含：罐压控制部、工件压测量部、控制压计算部、收敛判定部、质量流量传感器修正部。罐压控制部将罐内的压力控制为罐压P1。工件压测量部开放将罐和工件连接的管路，测量工件内的压力即工件压P2。控制压计算部根据罐压P1和工件压P2和罐的内容积V1来求出工件的内容积x，并求出与预先设定的工件的测试压P2’对应的罐的控制压P1’。收敛判定部在将罐压设定为控制压P1’并开放管路的情况下，判定工件内的压力是否收敛于以测试压P2’为中心的规定范围。质量流量传感器修正部在工件内的压力收敛于规定范围的情况下，基于控制压P1’和测试压P2’，算出用于修正在将罐和工件连接的管路上设置的质量流量传感器的系数即流量修正系数K，并基于该流量修正系数K来修正质量流量传感器。专利技术效果根据本专利技术的控制装置，能够根据情况省略校正。附图说明图1是表示现有的泄漏流量测量系统的结构的空压电路图。图2是表示现有的控制装置的控制压设定动作的流程图。图3是表示现有的控制装置的流量灵敏度校正动作的流程图。图4表示实施例1的泄漏流量测量系统的结构的空压电路图。图5是表示实施例1的控制装置的结构的方框图。图6是表示实施例1的控制装置的控制压设定动作的流程图。图7表示实施例1的控制装置的流量灵敏度校正动作的流程图。图8表示实施例2的泄漏流量测量系统的结构的空压电路图。图9表示实施例2的控制装置的结构的方框图。图10是表示实施例2的控制装置的流量修正系数K的算出动作的流程图。图11表示实施例2的控制装置的流量灵敏度校正动作的流程图。具体实施方式以下，关于本专利技术的实施方式进行详细的说明。此外，对具有相同功能的结构部赋予相同附图标记，并省略重复说明。【实施例1】以下，参照图4对实施例1的泄漏流量测量系统的结构进行说明。如同图所示，本实施例的泄漏流量测量系统1含有：与现有的泄漏流量测量系统9同样的空压源905、电空转换器910、第一截止阀915、罐920、质量流量传感器925、第二本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种控制装置，含有：/n罐压控制部，其将罐内的压力控制为罐压P

【技术特征摘要】
20181009 JP 2018-1911331.一种控制装置，含有：
罐压控制部，其将罐内的压力控制为罐压P1；
工件压测量部，其开放将所述罐和工件连接的管路，并测量所述工件内的压力即工件压P2；
控制压计算部，其根据所述罐压P1和所述工件压P2和所述罐的内容积V1求出所述工件的内容积x，并求出与预先设定的所述工件的测试压P2’对应的罐的控制压P1’；
收敛判定部，在将所述罐压设定为所述控制压P1’并进行所述管路的开放的情况下，其判定所述工件内的压力是否收敛于以所述测试压P2’为中心的规定范围；以及
质量流量传感器修正部，在所述工件内的压力收敛于所述规定范围的情况下，其基于所述控制压P1’和所述测试压P2’，算出用于修正在将所述罐和所述工件连接的管路上设置的质量流量传感器的系数即流量修正系数K，并基于该流量修正系数K来修正所述质量流量传感器。


2.如权利要求1所述的控制装置，其中，
所述质量流量传感器修正部将P0作为所述工件内的压力的初始值，将所述流量修正系数K作为【算式11】



来算出。


3.如权利要求1或2所述的控制装置，含有：
第一流量检测部，其开放将所述罐和所述工件连接的管路，检测在该管路上设置的所述质量流量传感器的通过所述流量修正系数K修正完毕的测量值即流量B；
第二流量检测部，其开放将所述罐和所述工件和泄漏流量值F的流量控制器连接的管路，检测在该管路上设置的所述质量流量传感器的通过所述流量修正系数K修正完毕的测量值即流量C；以及
质量流量传感器校正部，以所述泄漏流量值F、和将流量C与流量B的差分用α进行修正后的值变得相等的方式得到校正系数α，校正所述质量流量传感器。


4.一种流量灵敏度修正方法，含有：
罐压控制步骤，将罐内的压力控制为罐压P1；
工件压测量步骤，开放将所述罐和工件连接的管路，并测量所述工件内的压力即工件压P2；
控制压计算步骤，根据所述罐压P1和所述工件压P2和所述罐的内容积V1求出所述工件的内容积x，并求出与预先设定的所述工件的测试压P2’对应的罐的控制压P1’；
收敛判定步骤，在将所述罐压设定为所述控制压P1’并进行所述管路的开放的情况下，判定所述工件内的压力是否收敛于以所述测试压P2’为中心的规定范围；以及
质量流量传感器修正步骤，在所述工件内的压力收敛于所述规定范围的情况下，基于所述控制压P1’和所述测试压P2’，算出用于修正在将所述罐和所述工件连接的管路上设置的质量流量传感器的系数即流量修正系数K，并基于该流量修正系数K修正所述质量流量传感器。


5.如权利要求4所述的流量灵敏度修正方法，其中，
所述质量流量传感器修正步骤将P0作为所述工件内的压力的初始值，将所述流量修正系数K作为【算式12】

【专利技术属性】
技术研发人员：古瀬昭男，古瀬敏充，
申请(专利权)人：株式会社科思莫计器，
类型：发明
国别省市：日本;JP