【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本技术公开了一种高效率蒸发舟，包括带有蒸发槽的导电陶瓷舟体，导电陶瓷舟体的横截面呈工形，由中心段与设置在中心段两端的连接段组成，蒸发槽开设于导电陶瓷舟体的中心段，导电陶瓷舟体两端的连接段上均连接有作导电电极用金属夹具，导电陶瓷舟体的中心段的两端面与连接段的两端面之间为距离设置，导电陶瓷舟体的中心段的底面与连接段的底面为距离设置。本技术的优点是：增加了蒸发槽处的电阻，提高了蒸发效率，降低了两端的温度。有效的降低了蒸发舟与金属夹具的接触电阻，防止蒸发舟因接触电阻过大而在接触处产生极端高温。【专利说明】高效率蒸发舟
本技术涉及一种寿命长且蒸镀效率高的蒸发舟，属于真空镀膜
。
技术介绍
现在所使用的导电陶瓷蒸发舟均是在导电陶瓷上开一个蒸发槽，然后再蒸发时将待蒸发的工件置于蒸发槽中进行蒸发，但蒸发时需要的功率较高，而且导电陶瓷很脆，高温下作业时释放的热应力很容易引起断裂，所以现有的蒸发舟寿命短，且蒸发效率低。
技术实现思路
本技术目的是提供一种寿命长且蒸发效率高的蒸发舟。 本技术的技术方案是: 高效率蒸发舟，包括带有蒸发槽的导电陶瓷舟体，所述导电陶瓷舟体的横截面呈工形，由中心段与设置在中心段两端的连接段组成，所述蒸发槽开设于导电陶瓷舟体的中心段，所述导电陶瓷舟体两端的连接段上均连接有作导电电极用金属夹具，所述导电陶瓷舟体的中心段的两端面与连接段的两端面之间为距离设置，所述导电陶瓷舟体的中心段的底面与连接段的底面为距离设置。 优选地，所述导电陶瓷舟体的连接段与金属夹具为插接连接。 本技术的优点是:增加了蒸发槽处的电...
【技术保护点】
高效率蒸发舟，包括带有蒸发槽的导电陶瓷舟体，其特征在于：所述导电陶瓷舟体的横截面呈工形，由中心段与设置在中心段两端的连接段组成，所述蒸发槽开设于导电陶瓷舟体的中心段，所述导电陶瓷舟体两端的连接段上均连接有作导电电极用金属夹具，所述导电陶瓷舟体的中心段的两端面与连接段的两端面之间为距离设置，所述导电陶瓷舟体的中心段的底面与连接段的底面为距离设置。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：丁磊，徐杰，杨玲，冯亚青，冯敏强，廖良生，
申请(专利权)人：苏州方昇光电装备技术有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32
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