一种超声波太阳能硅片清洗机制造技术

本实用新型专利技术提供了一种超声波太阳能硅片清洗机，属于硅片清洗技术领域。它解决了现有的清洗机的平移支架较庞大，占用空间，耗能的问题。本超声波太阳能硅片清洗机包括机架和用于放置硅片的吊篮，机架上设有若干个呈一条直线排列的水槽，机架上还设有与水槽排列方向平行的导柱和齿条，导柱上套有沿着导柱滑动的滑座，滑座上端面垂直固连有立柱，立柱上开有竖直的滑槽，滑槽内嵌有能沿着立柱上下滑动的支架，支架位于水槽上方，支架的外端固连有夹座，夹座上设有可相对夹座摆动的挂钩，夹座内设有能带动挂钩摆动而钩住吊篮的驱动机构。支架可以水平或者垂直运动，支架简单小巧灵活，节省各个电机的功耗。

【技术实现步骤摘要】
一种超声波太阳能硅片清洗机
本技术属于硅片清洗
，涉及一种超声波太阳能硅片清洗机。
技术介绍
硅片清洗是指在氧化、光刻、外延、扩散和引线蒸发等工序前，采用物理或化学的方法去除硅片表面的污染物和自身氧化物，以得到符合清洁度要求的硅片表面的过程。在光伏太阳能产业中，硅片在加工中表面会产生硅料多晶边皮、顶料、片料、埚底料以及原生多晶料，需要清洗设备进行表面清洗，而超声波太阳能清洗机可以有效去除硅片表面的有机物、颗粒、金属杂质、自然氧化层及石英、塑料等附件器皿的污染物，且不破坏晶片表面特性，在硅片生产加工中得到广泛应用。 如中国专利公开的一种太阳能硅片清洗设备，尤其是一种全自动太阳能硅片清洗机。该清洗机包括一超声清洗槽，所述的超声清洗槽后方依次设有浸泡酸洗槽、超声碱洗槽以及一个或多个超声漂洗槽，所述的超声清洗槽、浸泡酸洗槽、超声碱洗槽及超声漂洗槽上方设有一平移支架，所述的平移支架上吊设又一个或多个承载待清洗硅片的吊篮，所述的平移支架安装在一升降结构上。该专利技术的全自动太阳能硅片清洗机通过超声波使物件的表面及缝隙中的污垢迅速剥落，从而达到物件表面净化的目的。又结合碱液清洗、烘干等工艺，实现了多晶、单晶太阳能硅片、光学镜片的清洗。由于本设备为多槽结构，因此能够完成较复杂的清洗工艺。但这种清洗机的平移支架较庞大，占用空间，平移支架上挂钩多，耗材大又不够灵活，而且消耗较多升降机构的电能。
技术实现思路
本技术的目的是针对现有的技术存在上述问题，提出了一种结构简单小巧，低能耗的超声波太阳能硅片清洗机。 本技术的目的可通过下列技术方案来实现:一种超声波太阳能硅片清洗机，包括机架和用于放置硅片的吊篮，所述机架上设有若干个呈一条直线排列的水槽，所述水槽可容纳吊篮放入其中，所述水槽底部设有超声波发声板，所述水槽内侧部设有电加热器，其特征在于，所述机架上还设有与水槽排列方向平行的导柱和齿条，导柱上套有沿着导柱滑动的滑座，所述滑座上固定有电机一，电机一的输出轴上套有与齿条啮合的齿轮，所述滑座上端面垂直固连有立柱，立柱上开有竖直的滑槽，滑槽内嵌有能沿着立柱上下滑动的支架，支架位于水槽上方，所述滑槽内设有丝杆且丝杆与支架螺纹连接，所述立柱顶部固定有带动丝杆转动的电机二，所述支架的外端固连有夹座，夹座上设有可相对夹座摆动的挂钩，所述夹座内设有能带动挂钩摆动而钩住吊篮的驱动机构。 在上述的超声波太阳能硅片清洗机中，所述水槽的外侧前端设有调节电加热器开闭的控制面板。通过控制面板调节电加热器，使得清洗中水槽内的液体温度保持在50°C左右。 在上述的超声波太阳能硅片清洗机中，所述支架的纵截面呈L型，所述滑槽的横截面呈T型，所述支架内端横截面呈T型且紧密嵌于滑槽内，支架外端与夹座焊接固连。支架可以沿着滑槽上下升降运动，T型滑槽可以使支架滑得更稳定。 在上述的超声波太阳能硅片清洗机中，所述吊篮包括篮框和吊起部，所述吊起部由焊接固连在篮框上的若干根铁杆组成，所述吊起部呈长方体状。 在上述的超声波太阳能硅片清洗机中，所述挂钩包括钩部和呈L型的转动部，所述转动部的一端伸入夹座内，所述钩部可与吊起部相钩住。 在上述的超声波太阳能硅片清洗机中，所述夹座上具有四根挂钩，夹座呈长方体状，夹座前端面设有两根挂钩，夹座后端面设有两根挂钩。 在上述的超声波太阳能硅片清洗机中，所述位于同一侧的挂钩之间设有连接杆，所述连接杆与挂钩焊接固定连接。通过连接杆的连接作用，同一侧的挂钩同步运动，使挂钩钩住吊篮时，吊篮能始终保持平稳状态，防止发生倾斜甚至倾翻事故。 在上述的超声波太阳能硅片清洗机中，所述驱动机构包括固定在夹座内的气缸，所述挂钩的转动部固连有转动板，所述气缸的推杆与转动板相抵靠，推杆前进时将转动板推开使挂钩转动。气缸的推杆推动转动板转动，带动挂钩的转动部转动，同时挂钩的钩部也随着向外摆动而钩住吊篮。 作为另一种方案，在上述的超声波太阳能硅片清洗机中，所述驱动机构包括固定在夹座内的电机三，所述电机三的输出轴与一个挂钩的转动部同轴转动连接，所述同一端面的挂钩上套有互相啮合的齿轮组。 在上述的超声波太阳能硅片清洗机中，所述的电加热器为普通的管式电加热器。 与现有技术相比，本超声波太阳能硅片清洗机具有以下优点: 1.支架可以水平或者垂直运动，一个支架就能完成整个超声波太阳能硅片清洗机的全部吊篮的转移工作，支架简单小巧灵活，节省各个电机的功耗。 2.通过4个挂钩同时钩住一个吊篮，提起的时候比较平稳，吊篮不会前后左右摆动。 【附图说明】 图1是本超声波太阳能硅片清洗机的侧视图。 图2是本超声波太阳能硅片清洗机的俯视图。 图3是实施例一的驱动机构的结构示意图。 图4是实施例一转动板与挂钩的装配图。 图5是实施例二的驱动机构的结构示意图。 图6是吊篮的结构示意图。 图中，1、机架；2、吊篮；2a、吊起部；2b、篮框；3、水槽；4、超声波发声板；5、电加热器；6、导柱；7、齿条；8、滑座；9、电机一 ;10、立柱;11、滑槽；12、支架；13、丝杆；14、电机二 ；15、控制面板；16、挂钩；16a、钩部；16b、转动部；17、连接杆；18、气缸；19、转动板；20、电机三；21、齿轮组；22、夹座。 【具体实施方式】 以下是本技术的具体实施例并结合附图，对本技术的技术方案作进一步的描述，但本技术并不限于这些实施例。 实施例一 机架I上共有九个水槽3，图1、图2中只显示部分水槽3，按照清洗工位的顺序依次为I个超声波粗洗槽、I个超声清洗槽、2个超声波碱洗槽、I个浸泡酸洗槽、4个超声波漂洗槽。各个水槽3规格相同，均可浸泡整个吊篮2，使吊篮2内的硅片全部浸泡在液体中。 如图1、图2、图3、图4、图6所示，本超声波太阳能硅片清洗机包括机架I和用于放置硅片的吊篮2，机架I上设有若干个呈一条直线排列的水槽3，水槽3可容纳吊篮2放入其中，水槽3底部设有超声波发声板4，水槽3内侧部设有电加热器5，水槽3的外侧前端设有调节电加热器5开闭的控制面板15。机架I上还设有与水槽3排列方向平行的导柱6和齿条7，导柱6上套有沿着导柱6滑动的滑座8，滑座8上固定有电机一 9，电机一 9的输出轴上套有与齿条7啮合的齿轮。滑座8上端面垂直固连有立柱10，立柱10上开有竖直的滑槽11，滑槽11内嵌有能沿着立柱10上下滑动的支架12，支架12位于水槽3上方。滑槽11内设有丝杆13且丝杆13与支架12螺纹连接，立柱10顶部固定有带动丝杆13转动的电机二 14。支架12的外端固连有夹座22，夹座22上设有可相对夹座22摆动的挂钩16，夹座22内设有能带动挂钩16摆动而钩住吊篮2的驱动机构。 具体来说，支架12的纵截面呈L型，滑槽11的横截面呈T型，支架12内端横截面呈T型且紧密嵌于滑槽11内，支架12外端与夹座22焊接固连。 吊篮2包括篮框2b和吊起部2a,吊起部2a由焊接固连在篮框2b上的若干根铁杆组成，吊起部2a呈长方体状。 挂钩16包括钩部16a和呈L型的转动部16b，转动部16b的一端伸入夹座22内，所述钩部16a可与吊起部2a相钩住。一个夹座22上具有四根挂钩16，夹座22呈长方体本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种超声波太阳能硅片清洗机，包括机架和用于放置硅片的吊篮，所述机架上设有若干个呈一条直线排列的水槽，所述水槽可容纳吊篮放入其中，所述水槽底部设有超声波发声板，所述水槽内侧部设有电加热器，其特征在于，所述机架上还设有与水槽排列方向平行的导柱和齿条，导柱上套有沿着导柱滑动的滑座，所述滑座上固定有电机一，电机一的输出轴上套有与齿条啮合的齿轮，所述滑座上端面垂直固连有立柱，立柱上开有竖直的滑槽，滑槽内嵌有能沿着立柱上下滑动的支架，支架位于水槽上方，所述滑槽内设有丝杆且丝杆与支架螺纹连接，所述立柱顶部固定有带动丝杆转动的电机二，所述支架的外端固连有夹座，夹座上设有可相对夹座摆动的挂钩，所述夹座内设有能带动挂钩摆动而钩住吊篮的驱动机构。

【技术特征摘要】
1.一种超声波太阳能硅片清洗机，包括机架和用于放置硅片的吊篮，所述机架上设有若干个呈一条直线排列的水槽，所述水槽可容纳吊篮放入其中，所述水槽底部设有超声波发声板，所述水槽内侧部设有电加热器，其特征在于，所述机架上还设有与水槽排列方向平行的导柱和齿条，导柱上套有沿着导柱滑动的滑座，所述滑座上固定有电机一，电机一的输出轴上套有与齿条啮合的齿轮，所述滑座上端面垂直固连有立柱，立柱上开有竖直的滑槽，滑槽内嵌有能沿着立柱上下滑动的支架，支架位于水槽上方，所述滑槽内设有丝杆且丝杆与支架螺纹连接，所述立柱顶部固定有带动丝杆转动的电机二，所述支架的外端固连有夹座，夹座上设有可相对夹座摆动的挂钩，所述夹座内设有能带动挂钩摆动而钩住吊篮的驱动机构。2.根据权利要求1所述的超声波太阳能硅片清洗机，其特征在于，所述水槽的外侧前端设有调节电加热器开闭的控制面板。3.根据权利要求2所述的超声波太阳能硅片清洗机，其特征在于，所述支架的纵截面呈L型，所述滑槽的横截面呈T型，所述支架内端横截面呈T型且紧密嵌于滑槽内，支架外端与夹座焊接固连。4.根据权利要求3所述的超声波太阳能硅片清洗机，其特征在于，所述吊篮...

【专利技术属性】
技术研发人员：申炳荣，
申请(专利权)人：浙江昊能光电有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江;33