单片体MEMS设备制造技术

一种以减少或消除应变从基板至结构的传递方式机械锚定悬浮电极的MEMS结构的技术将MEMS设备从应变源解耦，悬浮电极以一方式机械锚定，该方式减少或消除应变从基板至结构的传递，或应变至电极和主体的传递以使得变换器为耐应变。该技术包括使用嵌入至传导结构材料中的电绝缘材料以用于机械地耦合和电绝缘。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种装置，该装置包括：微电子机械系统MEMS设备，该微电子机械系统设备包括：从基板悬浮的主体；从所述基板悬浮的第一电极，该第一电极和所述主体形成第一静电变换器；以及从所述基板悬浮的第二电极，该第二电极和所述主体形成第二静电变换器，所述第一电极和第二电极机械地耦合至所述主体。

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员：艾曼纽尔·P·奎芙，丹尼尔·N·小库瑞，
申请(专利权)人：硅谷实验室公司，
类型：发明
国别省市：美国;US