温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

一种以减少或消除应变从基板至结构的传递方式机械锚定悬浮电极的MEMS结构的技术将MEMS设备从应变源解耦，悬浮电极以一方式机械锚定，该方式减少或消除应变从基板至结构的传递，或应变至电极和主体的传递以使得变换器为耐应变。该技术包括使用嵌入至传...
该专利属于硅谷实验室公司所有，仅供学习研究参考，未经过硅谷实验室公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。