具有无热弹性阻尼结构扭转微机电谐振器件制造技术

本实用新型专利技术公布了一种具有无热弹性阻尼结构扭转微机电谐振器件，包括基底、设置在基底上的第一驱动电极、第二驱动电极、感应电极、位于同一轴线上的第一扭转支撑梁和第二扭转支撑梁，以及由第一扭转支撑梁和第二扭转支撑梁共同支撑的扭转平板。扭转平板能够绕第一扭转支撑梁和第二扭转支撑梁所构成的扭转轴线旋转，第一驱动电极和第二驱动电极设置在扭转轴线的同一侧，感应电极设置在扭转轴线的另一侧，第一扭转支撑梁和第二扭转支撑梁的横向截面积相等。本实用新型专利技术的微机电谐振器件中，驱动电极能产生纯扭转力矩，纯扭转力矩引起纯扭转变形，纯扭转变形不产生热弹性阻尼。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种具有无热弹性阻尼结构扭转微机电谐振器件，其特征在于，该器件包括基底（4）、设置在所述基底（4）上的第一驱动电极（5）、第二驱动电极（6）、感应电极（7）、位于同一轴线上的第一扭转支撑梁（2）和第二扭转支撑梁（3），以及由所述第一扭转支撑梁（2）和第二扭转支撑梁（3）共同支撑的扭转平板（1），所述扭转平板（1）能够绕第一扭转支撑梁（2）和第二扭转支撑梁（3）所构成的扭转轴线旋转，所述第一驱动电极（5）和第二驱动电极（6）设置在扭转轴线的同一侧，所述感应电极（7）设置在扭转轴线的另一侧，所述第一扭转支撑梁（2）和第二扭转支撑梁（3）的横向截面积相等。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：李普，方玉明，台永鹏，
申请(专利权)人：东南大学，
类型：新型
国别省市：江苏;32