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本实用新型公布了一种具有无热弹性阻尼结构扭转微机电谐振器件，包括基底、设置在基底上的第一驱动电极、第二驱动电极、感应电极、位于同一轴线上的第一扭转支撑梁和第二扭转支撑梁，以及由第一扭转支撑梁和第二扭转支撑梁共同支撑的扭转平板。扭转平板能够绕...
该专利属于东南大学所有，仅供学习研究参考，未经过东南大学授权不得商用。

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