恒温测试系统及温度监测方法技术方案

本发明专利技术公开了一种恒温测试系统，包括具有反馈其温度的电阻温度探测器的恒温测试仪和监测电阻温度探测器反馈温度准确性的校验单元。其中校验单元包括温度感测模块、比较模块、检查模块和监测模块。温度感测模块在进行恒温测试时与待测样品共同放入恒温测试仪中烘烤以进行温度感测；比较模块根据温度感测模块感测的温度获得恒温测试仪的实际温度并比较该实际温度与电阻温度探测器的反馈温度；检查模块在该实际温度与该反馈温度的差值大于设定值时检查该实际温度的正确性；监测模块用于在该实际温度为正确时发出提示信息。本发明专利技术能够及时发现恒温测试仪的显示温度异常情况，提高恒温测试的准确性。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及半导体测试
，特别涉及一种。
技术介绍
在利用恒温测试仪进行恒温测试（例如：金属电迁移、时间依赖介电击穿、热载流 子注入等相关测试）的过程中，通常会采用电阻温度探测器（RTD)来反馈温度，然而当电阻 温度探测器的性能发生变化时，电阻温度探测器量测到的温度就会与恒温测试仪的实际炉 温不符。以金属电迁移测试为例。金属电迁移测试的基本量测原理是：在恒温测试仪的设 定温度下，被测样品上施加一个电流，同时量测被测样品两端的电压，计算出被测样品的电 阻（I/R)。一般情况下金属电迁移测试需要测试高、中、低三个不同的温度（T1、T2、T3)以 及高、中、低三个不同的电流（J1、J2、J3)，来评估金属导线耐电迁移的性能。电阻温度探测 器用于反馈恒温测试仪内的炉温是否达到设定温度（T1/T2/T3)。由于电阻温度探测器工作 一段时间后性能会发生一定的变化，这种变化会使机台的实际温度与电阻温度探测器反馈 的温度（设定温度/显示温度）有一定的偏差，如果这种偏差较大，例如测试需要设定的温 度为300°C，实际炉温为295°C，但电阻温度探测器反馈温度（显示温度）为300°C，那么明 显将会对测试结果产生巨大的影响，导致低估或高估金属导线电迁移的性能，影响金属电 迁移测试的准确性。而类似的问题同样会影响其他恒温测试结果的准确性。 以高温度（250-350°C )测试为例，一般来说，当电阻温度探测器的反馈温度与机 台实际温度两者之间的偏差超过±3°C时，就需要对电阻温度探测器进行温度校验。通常每 年需要进行一次电阻温度探测器的温度校验，但是在实际正常使用情况下，会出现未到校 验日期，电阻温度探测器的性能变化就超过了允许范围的情况出现。一旦未能及时发现温 度偏差的问题，将导致测试结果异常，对于测试结果的异常产生的原因很可能会花费非常 多的时间和精力，因此有必要对恒温测试仪的实际温度进行实时监测，及时发现恒温测试 仪的实际炉温的异常，避免导致测试结果不准确及误判。
技术实现思路
本专利技术的主要目的旨在提供一种可以及时发现温控异常的恒温测试系统及相应 的温度监测方法。 为达成上述目的，本专利技术提供一种恒温测试系统，其包括恒温测试仪，该恒温测试 仪包括用于反馈其温度的电阻温度探测器。恒温测试系统还包括电阻温度探测器的校验单 元。其中，该校验单元用于校验该电阻温度探测器所反馈的温度的准确性，其包括至少一个 温度感测模块、比较模块、检查模块和监测模块。其中，至少一个温度感测模块在进行恒温 测试时与待测样品共同放入所述恒温测试仪中烘烤以进行温度感测；比较模块与所述至少 一个温度感测模块和所述电阻温度探测器相连，其根据所述至少一个温度感测模块所感测 的温度获得所述恒温测试仪的实际温度并比较所述恒温测试仪的实际温度与所述电阻温 度探测器的反馈温度；检查模块与所述比较模块相连，用于在所述恒温测试仪的实际温度 与所述电阻温度探测器的反馈温度的差值大于设定值时检查所述恒温测试仪的实际温度 的正确性；监测模块与所述检查模块相连，用于在所述恒温测试仪的实际温度为正确时发 出提示信息。 优选地，当所述温度感测模块为一个时，所述比较模块选取该温度感测模块所感 测的温度作为所述恒温测试仪的实际温度；当所述温度感测模块为多个时，所述比较模块 根据预定规则选取多个所述温度感测模块所感测的温度的其中一个作为所述恒温测试仪 的实际温度。 优选地，所述预定规则为：当所述多个温度感测模块所感测的温度相同，则选取该 温度作为所述恒温测试仪的实际温度；当所述多个温度感测模块所感测的温度不同且其中 感测的温度为相同的部分温度感测模块的数量占到全部数量的M%，则选取该部分温度感 测模块所感测的温度作为所述恒温测试仪的实际温度，其中Μ为大于等于50的正整数。 优选地，所述检查模块通过替换所述至少一个温度感测模块后再次获取所述比较 模块比较得出的该恒温测试仪的实际温度与所述电阻温度探测器的反馈温度的差值以检 查所述恒温测试仪的实际温度的正确性；若所述至少一个温度感测模块替换前后得到的所 述差值均相等且大于所述设定值，则所述检查模块检查该恒温测试仪的实际温度为正确。 优选地，所述检查模块通过增加所述温度感测模块的数量后再次获取所述比较模 块比较得出的该恒温测试仪的实际温度与所述电阻温度探测器的反馈温度的差值以检查 所述恒温测试仪的实际温度的正确性；若所述温度感测模块增加前后得到的所述差值均相 等且大于所述设定值，则所述检查模块检查该恒温测试仪的实际温度为正确。 优选地，所述温度感测模块包括标准电阻及测量子模块，所述测量子模块通过四 端法测量所述标准电阻的阻值并通过查询相应的分度表上对应的温度值获得该阻值对应 的温度作为其感测温度。 优选地，所述恒温测试仪用于金属电迁移测试、时间依赖介电击穿测试或热载流 子注入测试。 本专利技术还提出了一种应用于恒温测试仪的温度监测方法，其中恒温测试仪包括用 于反馈其温度的电阻温度探测器，所述温度监测方法包括以下步骤： S01 :在进行恒温测试时，将至少一个温度感测模块与待测样品共同放入所述恒温 测试仪中烘烤以进行温度感测； S02:根据所述至少一个温度感测模块所感测的温度获得所述恒温测试仪的实际 温度并比较所述恒温测试仪的实际温度与所述电阻温度探测器的反馈温度； S03:当所述恒温测试仪的实际温度与所述电阻温度探测器的反馈温度的差值大 于设定值时，检查所述恒温测试仪的实际温度的正确性； S04 :当所述恒温测试仪的实际温度为正确时发出提示信息。 优选地，当所述温度感测模块为一个时，步骤S02中选取该温度感测模块所感测 的温度作为所述恒温测试仪的实际温度；当所述温度感测模块为多个时，步骤S02中根据 预定规则选取多个所述温度感测模块所感测的温度的其中一个作为所述恒温测试仪的实 际温度。 优选地，所述预定规则为：当所述多个温度感测模块所感测的温度相同，则选取该 温度作为所述恒温测试仪的实际温度；当所述多个温度感测模块所感测的温度不同且其中 感测的温度为相同的部分温度感测模块的数量占到全部数量的M%，则选取该部分温度感 测模块所感测的温度作为所述恒温测试仪的实际温度，其中Μ为大于等于50的正整数。 优选地，步骤S03中通过替换所述至少一个温度感测模块后再次获取该恒温测试 仪的实际温度与所述电阻温度探测器的反馈温度的差值以检查所述恒温测试仪的实际温 度的正确性；若所述至少一个温度感测模块替换前后得到的所述差值均相等且大于所述设 定值，则检查该恒温测试仪的实际温度为正确。 优选地，步骤S03通过增加所述温度感测模块的数量后再次获取该恒温测试仪的 实际温度与所述电阻温度探测器的反馈温度的差值以检查所述恒温测试仪的实际温度的 正确性；若所述温度感测模块增加前后得到的所述差值均相等且大于所述设定值，则检查 该恒温测试仪的实际温度为正确。 优选地，所述温度感测模块包括标准电阻，步骤S01中通过以四端法测量所述标 准电阻的阻值并通过查询相应的分度表上对应的温度值获得该阻值对应的温度作为所述 温度感测模块感测的温度。 优选地，所述恒温测试本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种恒温测试系统，包括恒温测试仪，所述恒温测试仪包括用于反馈其温度的电阻温度探测器，其特征在于，所述恒温测试系统还包括该电阻温度探测器的校验单元，用于校验该电阻温度探测器所反馈的温度的准确性，该校验单元包括：至少一个温度感测模块，其在进行恒温测试时与待测样品共同放入所述恒温测试仪中烘烤以进行温度感测；比较模块，与所述至少一个温度感测模块和所述电阻温度探测器相连，其根据所述至少一个温度感测模块所感测的温度获得所述恒温测试仪的实际温度并比较所述恒温测试仪的实际温度与所述电阻温度探测器的反馈温度；检查模块，与所述比较模块相连，用于在所述恒温测试仪的实际温度与所述电阻温度探测器的反馈温度的差值大于设定值时检查所述恒温测试仪的实际温度的正确性；以及监测模块，与所述检查模块相连，用于在所述恒温测试仪的实际温度为正确时发出提示信息。

【技术特征摘要】
1. 一种恒温测试系统，包括恒温测试仪，所述恒温测试仪包括用于反馈其温度的电阻 温度探测器，其特征在于，所述恒温测试系统还包括该电阻温度探测器的校验单元，用于校 验该电阻温度探测器所反馈的温度的准确性，该校验单元包括： 至少一个温度感测模块，其在进行恒温测试时与待测样品共同放入所述恒温测试仪中 烘烤以进行温度感测； 比较模块，与所述至少一个温度感测模块和所述电阻温度探测器相连，其根据所述至 少一个温度感测模块所感测的温度获得所述恒温测试仪的实际温度并比较所述恒温测试 仪的实际温度与所述电阻温度探测器的反馈温度； 检查模块，与所述比较模块相连，用于在所述恒温测试仪的实际温度与所述电阻温度 探测器的反馈温度的差值大于设定值时检查所述恒温测试仪的实际温度的正确性；以及 监测模块，与所述检查模块相连，用于在所述恒温测试仪的实际温度为正确时发出提 不?目息。2. 根据权利要求1所述的恒温测试系统，其特征在于，当所述温度感测模块为一个时， 所述比较模块选取该温度感测模块所感测的温度作为所述恒温测试仪的实际温度；当所述 温度感测模块为多个时，所述比较模块根据预定规则选取多个所述温度感测模块所感测的 温度的其中一个作为所述恒温测试仪的实际温度。3. 根据权利要求2所述的恒温测试系统，其特征在于，所述预定规则为：当所述多个温 度感测模块所感测的温度相同，则选取该温度作为所述恒温测试仪的实际温度；当所述多 个温度感测模块所感测的温度不同且其中感测的温度为相同的部分温度感测模块的数量 占到全部数量的Μ%，则选取该部分温度感测模块所感测的温度作为所述恒温测试仪的实 际温度，其中Μ为大于等于50的正整数。4. 根据权利要求1所述的恒温测试系统，其特征在于，所述检查模块通过替换所述至 少一个温度感测模块后再次获取所述比较模块比较得出的该恒温测试仪的实际温度与所 述电阻温度探测器的反馈温度的差值以检查所述恒温测试仪的实际温度的正确性；若所述 至少一个温度感测模块替换前后得到的所述差值均相等且大于所述设定值，则所述检查模 块检查该恒温测试仪的实际温度为正确。5. 根据权利要求1所述的恒温测试系统，其特征在于，所述检查模块通过增加所述温 度感测模块的数量后再次获取所述比较模块比较得出的该恒温测试仪的实际温度与所述 电阻温度探测器的反馈温度的差值以检查所述恒温测试仪的实际温度的正确性；若所述温 度感测模块增加前后得到的所述差值均相等且大于所述设定值，则所述检查模块检查该恒 温测试仪的实际温度为正确。6. 根据权利要求1所述的恒温测试系统，其特征在于，所述温度感测模块包括标准电 阻及测量子模块，所述测量子模块通过四端法测量所述标准电阻的阻值并通过查询相应的 分度表上对应的温度值获得该阻值对应的温度作为其感测温度。7. ...

【专利技术属性】
技术研发人员：于赫薇，尹彬锋，姚政，
申请(专利权)人：上海华力微电子有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31