三氯氢硅的提纯方法技术

本发明专利技术公开了一种三氯氢硅的提纯方法。该方法包括将三氯氢硅粗液通入提纯塔组的步骤，将三氯氢硅粗液通入提纯塔组的步骤包括：将三氯氢硅粗液通入包括至少两个脱重塔的脱重塔组依次进行脱重处理，以获取经脱重处理得到的低沸物；将经脱重处理得到的低沸物送入包括至少一个脱轻塔的脱轻塔组依次进行脱轻处理，以获取三氯氢硅。该方法中，将三氯氢硅粗液先通过脱重塔组再通过脱轻塔组，可以使粗液进行脱重工序之后再进行脱轻工序。这种前段连续脱重、后段连续脱轻的设置能将粗液中的硅微粉杂质、高沸点氯化物及高沸点金属氯化物杂质在前段脱重过程中被分离，从而将这些易造成堵塞的杂质集中在前段脱重塔中，降低后续提纯塔和再沸器的堵塞几率。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及多晶硅制造领域，具体而言，涉及一种。
技术介绍
多晶硅是制造半导体器件、集成电路、太阳能电池材料的基础材料，是信息和能源产业的基石，也是国家鼓励优先发展的战略材料。目前世界上大多数的多晶硅通过改良西门子法制得。该法主要包括三氯氢硅合成、精馏提纯、还原、尾气回收及氢化五道工序。其中，精馏提纯工序是保证多晶硅纯度的重要工序。 现有的精馏提纯工序中，是将三氯氢硅粗液通过提纯塔组进行提纯。然而，在三氯氢硅粗液的合成过程和四氯化硅氢化过程中，需要以粗硅粉作为原料，这就使得三氯氢硅粗液中含有较多的未反应的硅粉和一些其他的高沸点金属化合物。在后期的精馏提纯过程中，将三氯氢硅粗液进行反复的冷凝和汽化时，这些硅粉和金属化合物很容易在相变处发生积聚。同时，这些物质还容易在塔底、再沸器及其管路中发生积聚。最终导致塔釜和再沸器严重堵塞，降低再沸器的换热效果，甚至造成整个塔组停车检修。这大大降低了塔组的系统稳定性，更严重影响了多晶硅生产的连续性。 基于上述原因，有必要提出一种新的提纯方法，用以缓解精馏提纯工序中提纯塔组易堵塞的问题。 【专利技术内容】 本专利技术本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种三氯氢硅的提纯方法，其特征在于，包括将三氯氢硅粗液通入提纯塔组的步骤，所述将三氯氢硅粗液通入提纯塔组的步骤包括：将三氯氢硅粗液通入包括至少两个脱重塔的脱重塔组依次进行脱重处理，以获取经脱重处理得到的低沸物；将所述经脱重处理得到的低沸物送入包括至少一个脱轻塔的脱轻塔组依次进行脱轻处理，以获取三氯氢硅。

【技术特征摘要】
1.一种三氯氢硅的提纯方法，其特征在于，包括将三氯氢硅粗液通入提纯塔组的步骤，所述将三氯氢硅粗液通入提纯塔组的步骤包括: 将三氯氢硅粗液通入包括至少两个脱重塔的脱重塔组依次进行脱重处理，以获取经脱重处理得到的低沸物； 将所述经脱重处理得到的低沸物送入包括至少一个脱轻塔的脱轻塔组依次进行脱轻处理，以获取三氯氢硅。2.根据权利要求1所述的提纯方法，其特征在于，所述脱重塔组包括至少两个脱重塔，所述脱轻塔组包括至少两个脱轻塔，且所述脱重塔与所述脱轻塔的总数为四至六。3.根据权利要求1所述的提纯方法，其特征在于，将所述三氯氢硅粗液通入提纯塔组的步骤前，还包括将所述三氯氢硅粗液在静置贮液罐中静置沉降，获取上层液的步骤；在所述静置沉降的步骤后，将所述上层液通入所述提纯塔组。4.根据权利要求3所述的提纯方法，其特征在于，所述静置沉降的步骤中静置时间为5~60min,优选为10~20min。...

【专利技术属性】
技术研发人员：姜利霞，严大洲，杨永亮，肖荣晖，汤传斌，
申请(专利权)人：中国恩菲工程技术有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11