【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种互连结构的制造方法,其特征在于,包括:提供基底,在所述基底上形成具有第一开口的层间介质层,在所述第一开口内填充导电层形成第一互连结构,对所述导电层进行化学机械抛光至所述层间介质层,所述层间介质层表面具有化学机械抛光残留物;对所述层间介质层进行紫外线处理,去除所述层间介质层表面的所述残留物;对所述层间介质层进行紫外线处理后,在所述层间介质层上形成多孔介质层;在所述多孔介质层上形成图形化硬掩膜层,以所述图形化的硬掩膜层为掩膜刻蚀所述多孔介质层,在多孔介质层内形成第二开口,所述第二开口与第一开口相通,在所述第二开口内填充导电层形成第二互连结构。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:周鸣,
申请(专利权)人:中芯国际集成电路制造上海有限公司,
类型:发明
国别省市:上海;31
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