用于测试器件的方法和测量装置制造方法及图纸

用于测试器件的方法和测量装置。本发明专利技术描述了一种用于测试多个电子器件的方法，其具有：将多个电子器件分成多个第一组；将多个电子器件分成多个第二组；针对每个第一组，测量第一组的器件的互连的电参数；针对每个第二组，测量第二组的器件的互连的电参数；以及基于针对第一组的电参数测量结果并且基于针对第二组的电参数测量结果来确定所述多个电子器件中哪些电子器件具有预先给定的特性。

【技术实现步骤摘要】
用于测试器件的方法和测量装置
[0001 ] 本专利技术一般地涉及用于测试器件的方法和测量装置。
技术介绍
因为制造的电子器件可能是有错的或者至少可能在其特性方面变化，因此电子器件在其制造之后通常要被测试。因为测量的每次执行和分析都引起成本，因此例如要求较少数量的测量和分析过程的高效测试方法是值得期待的。
技术实现思路
按照一种实施方式提供了一种用于测试多个电子器件的方法，该方法具有:将多个电子器件分成多个第一组；将多个电子器件分成多个第二组；针对每个第一组，测量第一组的器件的互连的电参数；针对每个第二组，测量第二组的器件的互连的电参数；以及基于针对第一组的电参数测量结果并且基于针对第二组的电参数测量结果来确定所述多个电子器件中哪些电子器件具有预先给定的特性。按照另一实施方式，提供按照上述测试方法的测量装置。【附图说明】图并不再现实际大小比例，而是应当用于说明不同实施例的原理。下面，参照后面的图来描述不同的实施例。图1示出了按照实施例的测试装置。图2示出了按照实施例的流程图。图3示出了按照实施例的测量装置。图4示出了阻抗图。图5示出了作为单测量模型的电路和作为并行测量模型的电路。图6示出了电容图。图7示出了作为单测量模型的电路和作为并行测量模型的电路。图8示出了电容图和柱状图。图9示出了 DUT矩阵。图10示出了电容图。图11示出了电容图。图12示出了带有在例子中假定的MEMS传感器的引入电压(Pul 1-1n-Spannungen)的DUT矩阵。图13图示了有缺陷的DUT的位置的重构。图14示出了柱状图。图15示出了 DUT矩阵。【具体实施方式】下面详细的描述涉及附图，其示出了细节和实施例。这些实施例被详细描述，使得专业人员能够实施本专利技术。其他的实施方式也是可能的并且这些实施例可以在结构、逻辑和电气方面被改变，而不偏离本专利技术。不同的实施例不必是相互排斥的，而是不同的实施方式可以相互组合，使得形成新的实施方式。图1示出按照实施例的测试装置100。该测试装置(或测量装置)100具有测量设备101，其用于测试多个待测试的元件(下面也称为DUT，英文“Device under Test (测试中的器件)”)102。DUT102在该例子中布置在矩阵几何结构103 (下面也称为矩阵)中(或者以其他的模式布置)。DUT在下面例如是单个(电气或电子)器件或部件。测量设备101与测量适配器104、例如针卡耦合，借助针卡DUT102可以被接触并且测量。DUT102可以单个地或者以共同并行方式被检测(也就是被接触并且测量)，其方式是DUT102在接触时作为独立部件被处理。在测量时，利用测量设备101检测并且测量每个DUT (例如每个待测量的部件)。在同时接触多个DUT102时，存在两种可能性。在一种做法的情况下，将每个DUT102引导到独立的测量设备101上并且利用大量并行的测量设备101可以同时测量相应数量的DUT102。所需的测量设备101的数量在此相应于并行接触的DUT102的数量并且可以由此变得非常高成本。在另一做法的情况下，将并行接触的DUT102经由多路复用器引导到单个测量设备101上，这导致测量同时性的损失。按照一种实施方式，提供了一种测试方法，其能够实现在提高每时间单元待测试器件(DUT)的数量的同时避免在复制测试设备或测量站和其测量设备时的高投资。图2示出了按照实施方式的流程图200。流程图200说明了用于(在预先给定的例如电特性方面)测试多个电子器件的方法。在201中将多个电子器件分成多个第一组。在202中将多个电子器件分成多个第二组。在203中，针对每个第一组，测量第一组的器件的互连的电参数。在204中，针对每个第二组，测量第二组的器件的互连的电参数(例如同一电参数或不同的电参数)。在205中，基于针对第一组的电参数测量结果并且基于针对第二组的电参数测量结果来确定所述多个电子器件中哪些电子器件具有预先给定的特性。换句话说，针对多个器件(也即DUT)执行多个并行测试，其中并行测试针对器件的不同组划分来执行，使得通过结果组合可以作出关于单个器件的陈述。例如执行矩阵测试、也即(至少虚拟地)布置成矩阵的器件的测试，其方式是，执行处于同一行中的器件的并行测量和处于同一列中的器件的并行测量并且通过测量结果的组合来识别带有确定特性的单个器件(例如有缺陷的器件)。分成第一组和分成第二组可以隐含地在测量时通过相应地互连器件或者相应地控制测量设备或测量装置来进行。例如，同时测量多个经处理的器件(DUT)以便识别由于潜在制造缺陷导致的不完善的功能。在此，针对电子技术特征参量的定义的叠加布置DUT，目的是同时在测量技术上检测这些DUT的相应测试参数。此外，接着例如进行在规范之外的测量值与因此不完善的DUT的所需关联的测试参数的相关。特别是针对必须100%被测试并且其处理从技术上来看具有高稳定性并且因此具有较少功能性过程错误可能性的产品来说，该做法能够实现高的成本节省。例如确定所述多个电子器件中哪些电子器件具有预先给定的特性包括:针对每个第一组，基于针对第一组的电参数测量结果确定第一组是否包含具有预先给定的特性的器件，并且，如果第一组包含带有预先给定特性的器件，则基于针对第二组的电参数测量结果来识别带有预先给定特性的第一组的器件。基于针对第二组的电参数测量结果来识别带有预先给定特性的第一组的器件例如具有:针对每个第二组，基于针对第二组的电参数测量结果确定第二组是否包含具有预先给定的特性的器件，以及将第一组的该器件识别为被包含在第二组中的器件，其中对于所述第二组已经确定了其包含带有预先给定特性的器件。这些器件例如完全被分成第一组和完全分成第二组，也即每个器件被分配给第一组之一和第二组之一。按照一种实施方式，每个第一组与每个第二组不同。例如，每个第一组与每个第二组共同地具有最多一个器件，例如正好一个器件。这些器件例如相应于矩阵地布置(例如在晶片上)并且第一组相应于矩阵的行，并且第二组相应于矩阵的列。但是这不需要是完整的矩形矩阵。这些器件也可以按照其他方式布置成行和列，例如使得得到圆形(例如在圆形晶片的情况下)。所述互连例如是并联或串联。按照一种实施方式，该方法具有:针对每个第一组，根据电参量测量第一组的器件的互连的电参数的变化曲线；针对每个第二组，根据电参量测量第二组的器件的互连的电参数的变化曲线；以及基于针对第一组的电参数变化曲线的测量结果并且基于针对第二组的电参数的变化曲线的测量结果来确定多个电子器件中的哪些电子器件具有预先给定的特性。按照一种实施方式，确定多个电子器件中的哪些电子器件具有预先给定的特性包括:确定测试参数值和将该测试参数值关联至器件。当关联至器件的测试参数值处于预先给定的范围中时，该器件例如具有预先给定的特性。针对第一组测量的电参数和针对第二组测量的电参数例如是相同的电参数。针对第一组测量的电参数或者针对第二组测量的电参数或者两者例如是所述互连的电阻、所述互连的电容、所述互连的电感、所述互连的电抗、所述互连的相移或所述互连的频移。测试参数值例如是引入电压、门限电压或谐振频率的值。预先给定的特性例如是:器件满足预先给定的功能规范(例如其是功能正常的)。该方法例如还可以具有:将多个电子器件分成多本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于测试多个电子器件的方法，具有：将多个电子器件分成多个第一组；将多个电子器件分成多个第二组；针对每个第一组，测量第一组的器件的互连的电参数；针对每个第二组，测量第二组的器件的互连的电参数；以及基于针对第一组的电参数测量结果并且基于针对第二组的电参数测量结果来确定所述多个电子器件中哪些电子器件具有预先给定的特性。

【技术特征摘要】
2013.03.05 DE 102013102155.71.一种用于测试多个电子器件的方法，具有: 将多个电子器件分成多个第一组； 将多个电子器件分成多个第二组； 针对每个第一组，测量第一组的器件的互连的电参数； 针对每个第二组，测量第二组的器件的互连的电参数；以及 基于针对第一组的电参数测量结果并且基于针对第二组的电参数测量结果来确定所述多个电子器件中哪些电子器件具有预先给定的特性。2.根据权利要求1所述的方法，其中确定所述多个电子器件中哪些电子器件具有预先给定的特性包括: 针对每个第一组，基于针对第一组的电参数测量结果确定第一组是否包含具有预先给定的特性的器件，并且，如果第一组包含带有预先给定特性的器件，则基于针对第二组的电参数测量结果来识别带有预先给定特性的第一组的器件。3.根据权利要求2所述的方法，其中基于针对第二组的电参数测量结果来识别带有预先给定特性的第一组的器件具有: 针对每个第二组，基于针对第二组的电参数测量结果确定第二组是否包含具有预先给定的特性的器件，以及 将第一组的该器件识别为被包含在第二组中的器件，对于该第二组已经确定了其包含带有预先给定特性的器件。4.根据权利要求1至3之一所述的方法，其中这些器件完全被分到第一组中和完全被分到第二组中。5.根据权利要求1至4之一所述的方法，其中每个第一组与每个第二组不同。6.根据权利要求1至5之一所述的方法，其中每个第一组与每个第二组共同地具有最多一个器件。7.根据权利要求1至6之一所述的方法，其中每个第一组与每个第二组具有恰好一个器件。8.根据权利要求1至7之一所述的方法，其中这些器件相应于矩阵地布置，并且第一组相应于矩阵的行并且第二组相应于矩阵的列。9.根据权利要求1至8之一所述的方法，其中所述互连是并联或串联。10.根据权利要求1至9之一所述的方法，具有: 针对每个第一组，根据电参量测量第一组的器件的互连的电参数的变化曲线； 针对每个第二组，根据电参量测量第二组的器件的互连的电参数的变化曲线；以及基于针对第一组的电参数的变化曲线的测量结果并且基于针对第二组的电参数的变化曲线的测量结果来确定多个电...

【专利技术属性】
技术研发人员：F芬克，A克尔平，H库恩，F厄斯特勒，
申请(专利权)人：英飞凌科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：德国;DE