System.ArgumentOutOfRangeException: 索引和长度必须引用该字符串内的位置。 参数名: length 在 System.String.Substring(Int32 startIndex, Int32 length) 在 zhuanliShow.Bind() 具有电隔离功能的半导体器件和相关制造方法技术_技高网

具有电隔离功能的半导体器件和相关制造方法技术

技术编号:41294709 阅读:7 留言:0更新日期:2024-05-13 14:44
本公开的实施例涉及具有电隔离特征的半导体器件和相关的制造方法。一种半导体器件包括导电载体和布置在载体上的半导体芯片。此外,半导体器件包括布置在载体和半导体芯片之间的层堆叠,该层堆叠具有多个介电层。层堆叠将半导体芯片和载体彼此电分离。多个介电层中的至少一个介电层涂覆有导电涂层。

【技术实现步骤摘要】

本公开涉及具有电隔离特征的半导体器件和相关制造方法。


技术介绍

1、在半导体器件中,在工作期间各个器件部件之间可能会出现高电压差。例如,在电流传感器中,汇流排和布置在其上方的传感器芯片之间可能出现升高的电势差。根据材料特性和器件部件的相对布置,升高的电压差可能导致器件的某些空间区域中产生极高的电场强度。布置在该处的器件部件可能会由于高电场强度而受到磨损,这在最坏的情况下可能导致器件故障。半导体器件制造商和开发商不断努力改进他们的产品。延长器件的使用寿命并确保其持续安全运行可能特别值得注意。


技术实现思路

1、各个方面涉及一种半导体器件。该半导体器件包括导电载体和布置在该载体上的半导体芯片。半导体器件还包括布置在载体和半导体芯片之间的层堆叠,该层堆叠包括多个介电层。层堆叠将半导体芯片和载体彼此电分离。多个介电层中的至少一个介电层涂覆有导电涂层。

2、各个方面涉及一种半导体器件。该半导体器件包括导电载体和布置在该载体上的介电结构。该半导体器件还包括布置在介电结构的安装表面上的半导体芯片。介电结构包括从安装表面突出并围绕半导体芯片的多个凸块。介电结构将半导体芯片和载体彼此电分离。凸块被设计成增加半导体芯片和载体之间的爬电距离。

3、各个方面涉及一种用于制造半导体器件的方法。该方法包括基于模制技术生产介电晶片,其中介电晶片具有多个凹陷。该方法还包括将介电晶片切单成多个介电壳。该方法还包括将半导体芯片安装在介电壳中。该方法还包括将介电壳安装在导电载体上,其中介电壳将半导体芯片和载体彼此电分离。

本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种半导体器件,包括:

2.根据权利要求1所述的半导体器件,其中所述涂层(20)被设计成减小所述半导体器件的选定的空间区域(14)中的电场强度。

3.根据权利要求1或2所述的半导体器件,其中所述空间区域(14)包括边界区域,在所述边界区域中,所述半导体芯片(4)、所述层堆叠(16)以及包封所述半导体芯片(4)的包封材料(12)彼此邻接。

4.根据权利要求2或3所述的半导体器件,其中:

5.根据前述权利要求中任一项所述的半导体器件,还包括:

6.根据前述权利要求中任一项所述的半导体器件,还包括:

7.根据权利要求4至6中的一项或多项所述的半导体器件,其中所述电容器的另一电极通过以下项形成:所述载体(2)、所述粘合层(24)、所述固定层(22)、或所述层堆叠(16)的介电层(18)另一导电涂层(20)。

8.根据前述权利要求中任一项所述的半导体器件,其中在所述涂层(20)中形成多个开口,所述多个开口被设计成防止在所述涂层(20)中形成涡流。

9.一种半导体器件,包括:

10.根据权利要求9所述的半导体器件,其中所述凸起(28)包括多个带斜面的护板结构或肋结构。

11.根据权利要求9或10所述的半导体器件,其中所述凸起(28)的几何形状反向于基于所述半导体芯片(4)和所述载体(2)之间的电势差的电场取向。

12.根据权利要求9至11中任一项所述的半导体器件,还包括:

13.根据权利要求12所述的半导体器件,其中所述导电层(32)的几何形状和相对布置被设计成延长从所述半导体芯片(4)穿过所述介电结构(26)延伸到所述载体(2)的放电路径。

14.根据权利要求12或13所述的半导体器件,其中:

15.根据权利要求9至14中任一项所述的半导体器件,其中所述介电结构(26)直接布置在所述载体(2)上。

16.根据权利要求9至15中任一项所述的半导体器件,其中所述介电结构(26)基于3D打印工艺来制造。

17.根据权利要求9至16中任一项所述的半导体器件,还包括:

18.根据权利要求9至17中任一项所述的半导体器件,还包括:

19.一种用于制造半导体器件的方法,所述方法包括:

20.根据权利要求19所述的方法,还包括:

21.根据权利要求19或20所述的方法,还包括:

...

【技术特征摘要】

1.一种半导体器件,包括:

2.根据权利要求1所述的半导体器件,其中所述涂层(20)被设计成减小所述半导体器件的选定的空间区域(14)中的电场强度。

3.根据权利要求1或2所述的半导体器件,其中所述空间区域(14)包括边界区域,在所述边界区域中,所述半导体芯片(4)、所述层堆叠(16)以及包封所述半导体芯片(4)的包封材料(12)彼此邻接。

4.根据权利要求2或3所述的半导体器件,其中:

5.根据前述权利要求中任一项所述的半导体器件,还包括:

6.根据前述权利要求中任一项所述的半导体器件,还包括:

7.根据权利要求4至6中的一项或多项所述的半导体器件,其中所述电容器的另一电极通过以下项形成:所述载体(2)、所述粘合层(24)、所述固定层(22)、或所述层堆叠(16)的介电层(18)另一导电涂层(20)。

8.根据前述权利要求中任一项所述的半导体器件,其中在所述涂层(20)中形成多个开口,所述多个开口被设计成防止在所述涂层(20)中形成涡流。

9.一种半导体器件,包括:

10.根据权利要求9所述的半导体器件,其中所述凸起(28)包括多个带斜面的...

【专利技术属性】
技术研发人员:R·沙勒M·迈尔V·施特鲁茨
申请(专利权)人:英飞凌科技股份有限公司
类型:发明
国别省市:

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