【技术实现步骤摘要】
用于将钝化涂层涂敷于晶圆的涂覆装置
[0001 ] 本技术涉及一种用于将钝化涂层涂敷于晶圆的涂覆装置。
技术介绍
在接触金属(contact metallization)形成于晶圆的端子面之前,用于生产芯片的晶圆设置有钝化涂层。涂层的涂敷以及特别是涂敷涂层之后的晶圆表面上的涂层的干燥需要利用相应数量的设备对晶圆进行复杂的操作。
技术实现思路
本技术基于提出一种用于在晶圆表面上制造涂层的装置的目的，该装置一方面具有紧凑的结构且另一方面允许成本有效地工业生产晶圆表面的涂层。本技术的用于将钝化涂层涂敷于晶圆的涂覆装置包括如下技术方案:(1)，提供一种用于将钝化涂层涂敷于晶圆的涂覆装置，包括:输入/输出站，该输入/输出站用于为所述涂覆装置提供第一传送保持件和第二传送保持件，该第一传送保持件用于提供多个晶圆，该第二传送保持件用于从所述涂覆装置移出所述晶圆；涂覆站，所述涂覆站包括:用于容纳晶圆的转盘；以及涂敷器，其用于将一定数量的钝化剂涂敷于配置于所述转盘的晶圆的中心部分；干燥装置的至少一个干燥站，用于干燥已通过所述转盘的转动分散到晶圆表面的钝化涂层；以及操纵装置，所述操纵装...
【技术保护点】
一种用于将钝化涂层涂敷于晶圆的涂覆装置，其特征在于，所述涂覆装置包括：输入/输出站（13），该输入/输出站（13）用于为所述涂覆装置提供第一传送保持件（33）和第二传送保持件（34），该第一传送保持件（33）用于提供多个晶圆，该第二传送保持件（34）用于从所述涂覆装置移出所述晶圆；涂覆站（14），所述涂覆站（14）包括：用于容纳晶圆的转盘（38）；以及涂敷器（39），其用于将一定数量的钝化剂涂敷于配置于所述转盘的晶圆的中心部分；干燥装置（15）的至少一个干燥站（16、17、18、19、20），用于干燥已通过所述转盘的转动分散到晶圆表面的钝化涂层；以及操纵装置（22），所述操...
【技术特征摘要】
1.一种用于将钝化涂层涂敷于晶圆的涂覆装置，其特征在于，所述涂覆装置包括: 输入/输出站(13)，该输入/输出站(13)用于为所述涂覆装置提供第一传送保持件(33)和第二传送保持件(34)，该第一传送保持件(33)用于提供多个晶圆，该第二传送保持件(34)用于从所述涂覆装置移出所述晶圆； 涂覆站(14)，所述涂覆站(14)包括:用于容纳晶圆的转盘(38);以及涂敷器(39)，其用于将一定数量的钝化剂涂敷于配置于所述转盘的晶圆的中心部分； 干燥装置(15)的至少一个干燥站(16、17、18、19、20),用于干燥已通过所述转盘的转动分散到晶圆表面的钝化涂层；以及 操纵装置(22)，所述操纵装置(22)包括操作臂(24)，该操作臂(24)能够围绕所述涂覆装置的转动轴(23)枢转，该操作臂(24)用于从配置于所述输入/输出站(13)中的所述第一传送保持件(33)拾起晶圆，将所述晶圆定位于所述涂覆站(14)中和所述干燥站(16)中，以及将所述晶圆放置于配置在所述输入/输出站中的所述第二传送保持件(34)。2.根据权利要求1所述的涂覆装置，其特征在于， 所述操纵装置(22)的所述操作臂(24)设置有传感器单元(31)，该传感器单元(31)用于检测配置于所述第一传送保持件(33)中的各个晶圆。3.根据权利要求1所述的涂覆装置，其特征在于， 所述操纵装置(22)被实施为摆动臂机械人，所述操纵装置(22)包括所述操作臂(24)的高度能调节的枢轴基底(25)、所述操作臂的第一摆动臂部分(26)、所述操作臂的第二摆动臂部分(27)以及操作端(29)，所述枢轴基底(25)配置于所述涂覆装置的转动轴(23)，所述第一摆动臂部分(26)连接于所述枢轴基底，所述第二摆动臂部分(27)连接于所述第一摆动臂部分(26)的远离所述枢轴基底的端部，所述操作端(29)能枢转地连接于所述第二摆动臂部分(27)的自由端且设置有至少一个抽吸开口，所述抽吸开口能够形成负压。4.根据权利要求2所述的涂覆装置，其特征在于， 所述操纵装置(22)被实施为摆动臂机械人，所述操纵装置(22)包括所述操作臂(24)的高度能调节...
【专利技术属性】
技术研发人员：加西姆·阿兹达什，S·塔布里兹，
申请(专利权)人：派克泰克封装技术有限公司，
类型：新型
国别省市：德国;DE
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