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一种用于将钝化涂层涂敷于晶圆的涂覆装置，包括：输入/输出站，其用于为涂覆装置提供第一传送保持件和第二传送保持件，第一传送保持件用于提供多个晶圆，第二传送保持件用于从涂覆装置移出晶圆；涂覆站，其包括用于容纳晶圆的转盘以及用于将一定数量的钝化剂...
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