工件处理系统以及工件处理方法技术方案

此工件处理系统的一实施例包括输送带与加载互锁区，第一交换机械臂在建造台与加载互锁区之间持有并传送工件，支架机械臂在每个输送带与第一交换机械臂之间传送工件。在一实例中，利用支架机械臂，将已加工工件从第一交换机械臂传送至第一输送带，并将未加工工件从第二输送带传送至第一交换机械臂。第二交换机械臂可与第一交换机械臂一起用来从加载互锁区负载并卸载工件。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种工件处理，且特别涉及一种高产率应用的工件处理。
技术介绍
离子植入法是一种用于将改变导电性的杂质引入工件中的标准技术。在离子源中将所要的杂质材料离子化，使离子加速以形成具规定能量的离子束，且将离子束导向工件的表面处。离子束中的高能离子穿入工件材料主体中，且嵌进工件材料的晶格中以形成具有所要导电性的区域。产率与电池效率为太阳能电池制造业的两个要点，电池效率为测量能量转换成电能的量，较高的电池效率对具竞争性是必须的。然而，提高电池效率的代价不能牺牲产率。离子植入法已证实为掺杂太阳能电池的可行方法。离子植入法的利用省去了现今技术所需的诸如扩散炉的制程步骤，可提升产率并降低成本。例如因为离子植入法仅掺杂所要的表面，如果使用离子植入法代替炉扩散，可省去激光边缘分离步骤。除了省去制程步骤外，已证实使用离子植入法可达到较高的电池效率。离子植入法也能够对太阳能电池的整个表面进行毪覆式植入(blanket implant),或仅对部分的太阳能电池进行选择性或图案化植入。利用离子植入法的高产率选择性植入法可避免用于炉扩散的高价且耗时的微影或图案化步骤。对于离子植入器的产率或其本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种工件处理系统，包括：多个输送带；加载互锁区；第一交换机械臂，用以持有多个工件，其中所述第一交换机械臂用以在建造台与所述加载互锁区之间传送所述多个工件；以及支架机械臂，用以在所述多个输送带中的每一个与所述第一交换机械臂之间传送多个工件。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2011.11.02 US 61/554,715;2012.10.23 US 13/658,5121.一种工件处理系统，包括: 多个输送带； 加载互锁区； 第一交换机械臂，用以持有多个工件，其中所述第一交换机械臂用以在建造台与所述加载互锁区之间传送所述多个工件；以及 支架机械臂，用以在所述多个输送带中的每一个与所述第一交换机械臂之间传送多个工件。2.根据权利要求1所述的工件处理系统，还包括相机，其具有能拍摄所述多个输送带的视野。3.根据权利要求1所述的工件处理系统，其中所述多个输送带包括三个输送带，每个所述输送带用于负载并卸载所述工件。4.根据权利要求1所述的工件处理系统，其中所述第一交换机械臂二维地移动。5.根据权利要求1所述的工件处理系统，还包括第二交换机械臂，其中所述第二交换机械臂在所述建造台与所述加载互锁区之间传送所述多个工件，且其中所述第二交换机械臂二维地移动。6.根据权利要求1所述的工件处理系统，还包括第二加载互锁区及第二交换机械臂，其中所述第一交换机械臂及所述第二交换机械臂在所述建造台与所述加载互锁区与该第二加载互锁区之间传送所述多个工件，且所述第一交换机械臂及所述第二交换机械臂二维地移动。7.—种工件处理方法,包括: 利用支架机械臂将多个已加工工件从交换机械臂传送至第一输送带，其中所述交换机械臂包含多列所述已加工工件； 利用所述支架机械臂将多个未加工工件从第二输送带传送至所述交换机械臂；以及 重复对所述已加工工件与所述未加工工件的所述传送，直到所述未加工工件已经取代所述交换机械臂上的所有所述已加工工件。8.根据权利要求7所述的工件处理方法，其中所述交换机械臂包含四个所述列。9.根据权利要求7所述的工件处理方法，还包括于利用所述支架机械臂在进行所述传送期间调整所述工件的位置。10.根据权利要求7所述的工件处理方法，其中所述支架机械臂将所述未加工工件置于所述多个列中的一列中，于所述支架机械臂之前移去所述已加工工件处。11.根据权利要求7所述的工件处理方法，还包括利用所述支架机械臂将所述未加工工件负载至加载互锁区内。12.—种工件处理方法,...

【专利技术属性】
技术研发人员：杰森·M·夏勒，罗伯特·B·宝佩特，查理斯·T·卡尔森，麦考林·N·丹尼尔，亚隆·P·威波，威廉·T·维弗，
申请(专利权)人：瓦里安半导体设备公司，
类型：发明
国别省市：美国;US