基板保持装置制造方法及图纸

具备：改变多个基板保持体（10）的间距的支持机构（12）；设置于各基板保持体（10），并以使可动保持构件（24）推压把持基板的形式对可动体（16）施力的施力机构（18）；以及解除由可动保持构件（24）进行的基板的推压把持的推回机构（20）；形成为可以使推回机构（20）的推回部（60）位于与可动体（16）不接触的待机位置的结构。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】【专利摘要】具备：改变多个基板保持体（10）的间距的支持机构（12）；设置于各基板保持体（10），并以使可动保持构件（24）推压把持基板的形式对可动体（16）施力的施力机构（18）；以及解除由可动保持构件（24）进行的基板的推压把持的推回机构（20）；形成为可以使推回机构（20）的推回部（60）位于与可动体（16）不接触的待机位置的结构。【专利说明】基板保持装置
本专利技术涉及保持硅片等的基板的基板保持装置。
技术介绍
以往，已知一种在半导体等的处理工序中可以将硅片等的基板从以按规定间距在该基板的厚度方向上排列的形式将其收纳的卡匣盒一次多块地移送至其他卡匣盒的基板保持装置。特别是已知一种从前后的处理工序中的必要性考虑在移送基板时可以改变间距地移送基板的基板保持装置(例如参照对比文件I)。该基板保持装置具备:具有把持基板的边缘的3个以上的爪部的多个基板保持部、变换基板保持部的间距的间距变换机构部、中间部弯曲且一端与爪部连接的钢条(steel tape)、以及与钢条的另一端连接且在从基板的边缘朝向中心部的方向上往复移动的驱动单元。而且，根据间距变换机构部改变基板保持部的间隔而使钢条的两端间的直线距离发生变化，其结果是，即使是钢条发生弯曲的情况，也可以通过由钢条的弯曲后的部分产生的弹性力吸收钢条的弯曲并使把持力保持一定。现有技术文献: 专利文献: 专利文献1:日本特开2006-313865号公报。
技术实现思路
专利技术要解决的问题: 可是，在像较大地改变基板保持部的间距这样的基板保持装置或增加基板保持部的数量的基板保持装置中，伴随间距的改变，在一部分的基板保持部中改变前与改变后的钢条的两端间的直线距离发生较大变化，其结果是存在像钢条较大地弯曲这样的情况。在像这样的情况中，难以通过钢条的弯曲部分的弹力吸收钢条的弯曲，并将基板的把持力保持一定。本专利技术是为了解决像这样的问题而做的专利技术，其目的在于提供一种即使在较大地改变基板保持部的间距或增加基板保持部的数量的情况下，也可以将把持力保持一定并确实地保持基板的基板保持装置。解决问题的手段: 为解决上述问题，根据本专利技术的组合秤的基板保持装置，具备:多个基板保持体；以使多个所述基板保持体在第一方向上排列的形式支持多个所述基板保持体，并改变多个所述基板保持体的所述第一方向上的间距的支持机构；设置于各个所述基板保持体，并含有相对于所述基板保持体可移动的一个以上的可动保持构件，且通过所述可动保持构件以对应于多个所述基板保持体的多个基板在所述第一方向上排列的形式把持该基板而构成的保持部；在与所述第一方向交叉的第二方向及第二方向的相反方向的第三方向上可移动，并以伴随该移动使一个以上的所述可动保持构件移动的形式设置于各个所述基板保持体的可动体；以在所述第二方向上对所述可动体施力，并使所述可动保持构件与所述基板接触而推压把持该基板的形式设置于各个所述基板保持体的施力机构；以及含有推回部，且该推回部使分别设置于多个所述基板保持体的所述可动体对抗所述施力并向所述第三方向移动，从而解除由所述可动保持构件进行的所述基板的推压保持的推回机构；所述推回机构形成为能够使所述推回部位于与所述可动体不接触的待机位置的结构。根据该结构，施力机构分别设置于多个基板保持体，在间距变更时，可以使其与所对应的基板之间的位置关系不发生变化。借助于此，在间距变更时，可以使把持力保持一定，可以确实地保持基板。又，可以在推回部位于与可动体不接触的待机位置时进行间距变更，借助于此，在间距变更时可以使推回部与可动体不互相摩擦。借助于此，可以防止间距变更时产生碎粒，进而可以提闻利用基板制造的被制造物的成品率。也可以是在根据上述专利技术的组合秤的基板保持装置中，所述待机位置比所述可动保持构件与所述基板接触并推压把持该基板的把持位置靠近所述第二方向侧。根据该结构，通过将推回部移至比把持位置靠近第二方向侧的位置，可以使推回部与可动体不接触。也可以是在根据上述专利技术的组合秤的基板保持装置中，所述保持部形成为含有固定于所述基板保持体的一个以上的固定保持构件，通过该固定保持构件与所述可动保持构件把持对应于多个所述基板保持体的多个基板的结构。根据该结构，可以通过一个以上的固定保持构件与一个以上的可动保持构件把持所对应的基板。也可以是在根据上述专利技术的组合秤的基板保持装置中，所述可动保持构件在各个所述基板保持体上设置两个以上。根据该结构，可以通过两个以上的可动保持构件把持所对应的基板。也可以是在根据上述专利技术的组合秤的基板保持装置中，所述施力机构比所述把持位置靠近所述第二方向侧，并含有解除对所述可动体的向所述第二方向的施力的可施力限度位置，所述待机位置形成为位于比所述可施力限度位置靠近所述第二方向侧的位置的结构。根据该结构，可以使推回机构移至比可施力限度位置靠近第二方向侧的位置，以此不论保持部是否保持着基板，都可以使推回部与可动体不接触。也可以是在根据上述专利技术的组合秤的基板保持装置中，具备限制所述可动体的向所述第二方向侧的移动的止动器，通过该止动器规定所述可施力限度位置。根据该结构，通过止动器使推回机构向第二方向侧移动，以此不论保持部是否保持基板，都可以使推回部与可动体不接触。也可以是在根据上述专利技术的组合秤的基板保持装置中，所述支持机构形成为在所述推回机构的所述推回部位于所述待机位置时改变多个所述基板保持体的所述第一方向上的间距的结构。根据该结构，可以使推回部与可动体不互相摩擦。专利技术效果:本专利技术形成为以上说明的结构，起到可以使把持力保持一定并确实地保持基板的效果。又，本专利技术起到可以提高使用基板制造的被制造物的成品率的效果。【专利附图】【附图说明】图1是示出含有根据本专利技术的实施形态的基板保持装置的基板搬运系统的结构例的图； 图2是示出图1的基板保持装置的结构例的外观图； 图3是示出图1的基板保持装置的结构例的要件放大立体图； 图4是示出图1的基板保持装置的结构例的侧视图； 图5A是示出图1的基板保持装置的支持机构的结构例的图； 图5B是示出图1的基板保持装置的支持机构的结构例的图； 图6是示出图1的基板保持装置的动作例的流程图； 图7是示出图1的基板保持装置的动作例的图； 图8是示出图1的基板保持装置的动作例的图； 图9是示出图1的基板保持装置的动作例的图； 图10是示出根据本专利技术的实施形态的基板保持装置的变形例的图。【具体实施方式】以下，参考附图对本专利技术的实施形态进行说明。另外，以下对所有附图中相同或相当的要素标记相同的参照符号，并省略其重复的说明。 图1是示出含有基板保持装置100的基板搬运系统I的结构例的图。作为基板，可以例举半导体晶片、通过半导体工艺处理的薄型显示器(液晶显示器，有机EL显示器等)用的玻璃基板。作为半导体晶片，可以例举硅片、碳化硅晶片、蓝宝石日日斤寸。基板搬运系统I只要是搬运基板的系统，就不特别限定。基板搬运系统I例如是在半导体生产线中将硅片基板从一个卡匣向另一个卡匣搬运的系统。根据本实施形态的基板搬运系统I搬出收纳于第一卡匣2的圆形基板，并将该基板搬入至第二卡匣3。第一卡匣2及第二卡匣3分别形成为箱状，其侧面形成有用于进行收纳于各卡匣的基板的搬入搬出的开口部2a、3a。第一卡匣2及第本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基板保持装置，具备：多个基板保持体；以使多个所述基板保持体在第一方向上排列的形式支持多个所述基板保持体，并改变多个所述基板保持体的所述第一方向上的间距的支持机构；设置于各个所述基板保持体，并含有相对于所述基板保持体可移动的一个以上的可动保持构件，且通过所述可动保持构件以对应于多个所述基板保持体的多个基板在所述第一方向上排列的形式把持该基板而构成的保持部；在与所述第一方向交叉的第二方向及第二方向的相反方向的第三方向上可移动，并以伴随该移动使一个以上的所述可动保持构件移动的形式设置于各个所述基板保持体的可动体；以在所述第二方向上对所述可动体施力，并使所述可动保持构件与所述基板接触并推压把持该基板的形式设置于各个所述基板保持体的施力机构；以及含有推回部，且该推回部使分别设置于多个所述基板保持体的所述可动体对抗所述施力并向所述第三方向移动，从而解除由所述可动保持构件进行的所述基板的推压保持的推回机构；所述推回机构形成为能够使所述推回部位于与所述可动体不接触的待机位置的结构。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：桥本康彦，福岛崇行，
申请(专利权)人：川崎重工业株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP