工件搬运系统技术方案

本申请提供一种工件搬运系统，该工件搬运系统能够改善所使用的生产线的生产效率。例如，工件搬运系统(1)具有：机器人(11、12)，其配置在对工件(W)进行规定处理的处理模组(4、6)的前方，且向处理模组(4、6)搬入工件(W)以及从处理模组(4、6)搬出工件(W)；工件收纳部(13)，其收纳向处理模组(4、6)搬入的工件(W)以及从处理模组(4、6)搬出的工件(W)；以及移动机构(14)，其使工件收纳部(13)朝向与相对于处理模组(4、6)搬入搬出工件(W)的方向大致正交的方向移动。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】【专利摘要】本申请提供一种工件搬运系统，该工件搬运系统能够改善所使用的生产线的生产效率。例如，工件搬运系统(1)具有：机器人(11、12)，其配置在对工件(W)进行规定处理的处理模组(4、6)的前方，且向处理模组(4、6)搬入工件(W)以及从处理模组(4、6)搬出工件(W)；工件收纳部(13)，其收纳向处理模组(4、6)搬入的工件(W)以及从处理模组(4、6)搬出的工件(W)；以及移动机构(14)，其使工件收纳部(13)朝向与相对于处理模组(4、6)搬入搬出工件(W)的方向大致正交的方向移动。【专利说明】工件搬运系统
本专利技术涉及一种在生产线中搬运半导体晶圆、液晶面板或者太阳能电池面板等工件的工件搬运系统。
技术介绍
在具有对工件进行规定处理的多个处理模组的生产线中，广泛应用在多个处理模组之间搬运工件的工业用机器人。例如图6、图7所示，在半导体的生产线101中使用了工业用机器人102 (机器人102)。生产线101具有省略图示的前端模组(Equipment FrontEnd Module(EFEM))和例如四个处理模组103、104、105、106。处理模组103与处理模组104在上下方向上重叠配置，处理模组105与处理模组106在上下方向上重叠配置。并且，处理模组103、104与处理模组105、106在作为水平方向的一个方向的图6、图7的X方向上以隔着规定间隔的状态配置。在处理模组103、104与EFEM之间设置有用于将作为工件的半导体晶圆W(晶圆W)在提供给处理模组103至106之前临时收纳的缓存区108。另外，收纳在EFEM内的晶圆W通过省略图示的机器人提供给缓存区108。机器人102具有用于抓握晶圆W的末端效应器111。具体地说，机器人102具有两个末端效应器111，即:用于从缓存区108接收晶圆W的末端效应器111和用于向缓存区108放置晶圆W的末端效应器111。并且，机器人102具有:臂112，其与能够旋转的末端效应器111连接；臂驱动机构，其使臂112伸缩并使末端效应器111朝向水平方向移动；旋转机构，其使臂112以上下方向为轴向并以臂112的基端侧附近为中心旋转；升降机构113，其使末端效应器111升降；以及搬运机构114，其向X方向搬运末端效应器111。该机器人102在缓存区108与处理模组103至106之间搬运晶圆W。在生产线101中，为了完成预先设定的流程，由处理模组103至106中的某一个进行处理后的晶圆W有时会在之后被提供给处理模组103至106中的其他处理模组，但通常会返回到缓存区108。并且，在该处理模组103至106中对晶圆W进行规定的处理。在该生产线101中，首先，机器人102从缓存区108接收从EFEM提供并被收纳在缓存区108内的晶圆W，例如向处理模组103搬运。并且，机器人I从处理模组103取出处理结束的晶圆W，并将处理结束的晶圆W再次搬运到缓存区108。而且，机器人102从缓存区108接收晶圆W，例如向处理模组105搬运。反复进行这些动作，从而在生产线101中对晶圆W执行规定的流程。也就是说，在生产线101中，机器人102在对晶圆W进行处理的处理模组103至106与缓存区108之间往返移动数次，来对晶圆W执行规定的流程。假设在处理模组103至106中存在处理结束的晶圆W，则在例如向处理模组103搬运晶圆W时，机器人102在处理模组103中使用两个末端效应器111中的一个从处理模组103中取出由处理模组103处理过的处理结束的晶圆W，且将从缓存区108中取出并被另一末端效应器111抓握的晶圆W放置在处理模组103内。然后，机器人102向缓存区108搬运从处理模组103中取出并被一个末端效应器111抓握的处理结束的晶圆W。并且，机器人102在缓存区108中使用另一末端效应器111从缓存区108中取出例如应该由处理模组105处理的晶圆W，且将从处理模组103中取出并被一个末端效应器111抓握的晶圆W放置到缓存区108内。专利技术的概要专利技术所要解决的课题在生产线101中，为了实现高效的生产线101，将由处理模组103至106处理晶圆W的能力、通过机器人102搬运晶圆W的能力以及处理模组103至106的布局的平衡合理化较为重要。尤其，如图6、图7所示，在处理模组103、104与处理模组105、106在X方向上以隔着规定间隔的状态配置的生产线101中，为了实现高效的生产线101，提高晶圆W的搬运效率较为重要。也就是说，在生产线101中，为了实现高效的生产线101，提高机器人102朝向X方向移动的速度较为重要。然而，在半导体等的生产线中通常所使用的机器人的重量根据该机器人所涉及的功能而达到大致50kg至100kg。因此，在生产线101中，如果要使机器人102安全地动作，则难以将机器人102朝向X方向移动的速度提高到现有的速度以上。因此，例如在生产线101中难以将生产效率改善至以往以上。因此，本专利技术的课题在于提供一种能够改善所使用的生产线的生产效率的工件搬运系统，尤其提供一种在搬运半导体等工件较长距离的生产线中使用时，能够改善所述生产线的生产效率的工件搬运系统。用于解决课题的手段为了解决上述课题，本专利技术的工件搬运系统的特征在于，该工件搬运系统具有:机器人，其配置在对工件进行规定处理的处理模组的前方，且所述机器人向处理模组搬入工件以及从处理模组搬出工件；工件收纳部，其收纳向处理模组搬入的工件以及从处理模组搬出的工件；以及移动机构，其使工件收纳部朝向与相对于处理模组搬入搬出工件的方向大致正交的方向移动。本专利技术的工件搬运系统具有:工件收纳部，其收纳工件；以及移动机构，其使工件收纳部朝向与相对于处理模组搬入搬出工件的方向大致正交的方向移动。因此，在本专利技术中，只要使与机器人相比能够减轻重量的工件收纳部代替机器人朝向与相对于处理模组搬入搬出工件的方向大致正交的方向移动即可。因此，在本专利技术中，即使将工件收纳部的移动速度设置得比机器人的移动速度快，也能够安全地使工件收纳部移动。也就是说，在本专利技术中，能够加快工件收纳部的移动速度来提高工件的搬运效率。其结果是，在本专利技术中，能够改善使用工件搬运系统的生产线的生产效率。并且，在本专利技术中，由于能够加快工件收纳部的移动速度，因此如果在搬运工件较长距离的生产线中使用本专利技术的工件搬运系统的话，则能够进一步提闻所述生广线的生广效率。在本专利技术中，优选工件搬运系统具有排列在工件收纳部的移动方向上的多个机器人，且在工件收纳部能够收纳多个工件。如果像这样构成，则例如在图6、图7所说明的缓存区108的配置位置能够将多个晶圆收纳在工件收纳部内。因此，当在设置了排列在工件收纳部的移动方向上的多个处理模组的生产线中使用该工件搬运系统的情况下，即使由多个机器人中的一台机器人取出工件之后的工件收纳部暂时不返回到缓存区的配置位置，而是直接移动到其他机器人的配置位置，该其他机器人也能够取出被收纳在工件收纳部内的工件。因此，能够有效地改善使用工件搬运系统的生产线的生产效率。在本专利技术中，优选工件收纳部在相对于处理模组搬入搬出工件的方向上配置在处理模组与机器人之间。如果像这样构成，则只要使从规定的待机位置朝向工件收纳部移动并在工件收纳部接收工件之后的机器人的末端效应器本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种工件搬运系统，其特征在于，该工件搬运系统具有：机器人，其配置在对工件进行规定处理的处理模组的前方，且所述机器人向所述处理模组搬入所述工件以及从所述处理模组搬出所述工件；工件收纳部，其收纳向所述处理模组搬入的所述工件以及从所述处理模组搬出的所述工件；以及移动机构，其使所述工件收纳部朝向与相对于所述处理模组搬入搬出所述工件的方向大致正交的方向移动。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：改野重幸，
申请(专利权)人：日本电产三协株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP