搬运工件的偏转修正机构和搬运工件的偏转修正方法技术

具备：保持搬运工件（5）的侧部的保持装置（3）；沿着轨道（6）向工件输送方向（X）搬运保持装置（3）的行驶装置（2）；和在行驶装置（2）的工件输送方向前部及后部支持保持装置（3）的支持机构（31、32）；支持机构（31、32）具有偏心轴（38），偏心轴（38）在前部或后部中的一个相对于设置在行驶装置（2）上的驱动轴的轴线（O1、O2）以规定的偏心量（e）向工件输送方向（X）偏心的位置上，且在前部或后部中的另一个向与工件输送方向（X）交叉的方向偏心的位置上具备与保持装置（3）接合的轴线（O3）；通过使偏心轴（38）的轴线（O3）以驱动轴（36、37）的轴线（O1、O2）为中心转动以此使保持装置（3）和行驶装置（2）的位置相对移动而修正搬运工件（5）的偏转，从而在搬运的同时修正在搬运工件的搬运中产生的偏转。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及修正搬运工件的偏转（yawing）的机构和搬运工件的偏转修正方法。
技术介绍
以往，在各种板状加工品等的制造过程中，搬运着加工对象物。特别是，在搬运加工对象物的同时进行加工的情况下，必须以正确的姿势搬运该加工对象物（以下称为搬运工件）。作为这样的搬运工件的有例如薄膜硅和CIGS（Copper indium gallium (di)selenide；铜铟镓硒）等的太阳能电池（该说明书和权利要求书的文本中总称“薄膜太阳能电池”）的基板。该基板为在玻璃基板的一面上成膜金属膜和硅膜等的半导体（“deposition”或“film formation”）而形成薄膜层（例如、几百nm～几十μm）的基板。以下，作为搬运工件的一个示例，以该薄膜太阳能电池的基板为例进行说明。上述薄膜太阳能电池的基板的制造过程如下：如图12（a）～图12（g）所示，在玻璃基板100（图12（a））的上表面成膜透明电极层101（图12（b）），在该透明电极层101上通过从激光加工装置照射激光束108来进行图形加工而形成加工线102（图12（c））。在该透明电极层101上形成加工线102的搬运工件107，在透明电极层101的上表面成膜光电转换层103（图12（d）），在该光电转换层103上通过激光加工装置形成光电转换层加工线104（图12（e））。之后，在该光电转换层103上形成加工线104的搬运工件107，在光电转换层103的上表面成膜背面电极层105（图12（f））。然后，在该背面电极层105上通过激光加工装置形成背面电极层加工线106（图12（g））。像这样图形加工后的基板100成为模块化太阳能电池。像这样，在薄膜太阳能电池的情况下，必须在搬运工件（基板100）的表面进行多次的成膜，并且对这些成膜后的薄膜层正确地图形化。作为其精度，有必要例如以微米单位进行误差控制。因此，需要有正确地搬运搬运工件并对其薄膜层正确地照射激光束的激光加工装置。作为像这样的激光加工装置的有例如本申请人在之前申请的激光加工装置。如图13所示，该激光加工装置110在通过恒速输送装置111把持搬运工件107并向工件输送方向X输送搬运工件107的同时对该搬运工件107通过射束扫描单元109向扫描方向Y照射激光束108而进行图形加工。在上述恒速输送装置111上设有可进行平面方向的转动的转动轴（θ轴）以能够修正在搬运工件107上发生的偏转等。此外，在激光加工装置110中设有检测搬运工件107的加工基准位置（端面等）的摄像装置（camera）113。又，如图14所示，在上述激光加工装置110中，在工件输送方向X上输送搬运工件107的同时将一根激光束108向与工件输送方向X交叉的扫描方向Y高速（例如，以往的数倍）照射。借助于此，对搬运工件107进行形成与输送方向X成直角的直线状加工线112的图形加工。另外，作为这类现有技术的有如下那样的装置（例如参照专利文献1）：例如在使玻璃基板等和在该基板上实施预定处理的基板处理单元相对地移动的同时进行处理的基板处理装置中，在第一方向和与该第一方向垂直的第二方向上测定基板的扫面中产生的偏转等的误差，并且对于第一方向的误差可通过控制搬运的修正单元进行修正，对于第二方向的误差可以基于所测定的距离通过基板处理单元对基板的规定位置实施高精度处理。又，作为另一现有技术的还有如下那样的装置（例如参照专利文献2）：在通过向液晶显示器等的显示用面板基板照射光束以此在基板上描画图形的面板基板的制造方法中，检测保持基板地移动的载置台的行驶误差，并且基于该结果修正描画数据（drawing data）的坐标，将该描画数据提供给光束照射装置的驱动回路。现有技术文献：专利文献：专利文献1：日本特开2009-128830号公报；专利文献2：日本特开2010-60990号公报。
技术实现思路
专利技术要解决的问题：然而，如上述专利文献1、2所记载的那样，搬运工件在搬运中可能发生在水平平面内旋转的偏转（本说明书和权利要求书中的“偏转”指的是产生“水平面内的旋转、前后移动”等的“误差”的动作）。因此，发生该偏转时，若不进行修正则会降低上述图形加工等的品质。例如，在进行几十μm间隔的图形化时，即使是发生了数μm的偏转也会使相邻的图形的距离发生变化，影响产品的性能。然而，在上述专利文献1中，如图15（a）所示，使用摄像装置检测沿着设置于基板120的两侧的轨道121搬运的基板120在X方向上的误差和偏转等，而从该检测数据算出误差并修正基板处理单元的处理位置。因此，在这种情况下，高精度修正基板处理单元的处理位置花费时间。而且，在像上述激光加工装置110那样以高速照射激光束并进行图形加工的装置的情况下，无法通过像上述那样用摄像装置测定偏转等并修正基板处理单元的处理位置的结构应对该处理速度。又，专利文献2中，如图15（b）所示，在X方向和Y方向上测定保持基板130地移动的载置台131的行驶误差，并且根据基于该测定结果修正的描画数据，通过光束照射装置描画图形。然而，在该情况下，由于基于载置台的行驶误差修正通过光束照射装置的图形的描画，因此实施高精度的处理需要时间。而且，通过如上述激光加工装置110那样以高速照射激光束进行图形加工的装置是无法应对该处理速度的。像这样，任何现有技术均根据激光束的照射位置等修正基板的偏转等。因此，在通过上述图13所示的本申请人在之前申请的激光加工装置110如图14所示在向工件输送方向X输送搬运工件107的同时非常高速地向扫描方向Y照射激光束而进行图形加工的装置中，无法进行激光束的位置修正。即，在高速照射激光束的激光装置110的情况下，检测搬运工件107的偏转并根据激光束的照射位置进行修正的结构是无法应对的。又，除上述激光加工装置110以外还有如下那样的装置：例如像在加工·检查用于液晶显示器等的平板面板或玻璃基板等的装置中的工件的搬运那样，在搬运工件上发生偏转等的情况下，不采用激光束而是通过搬运工件的位置控制来修正该误差。解决问题的手段：因此，本专利技术的目的是提供能够在搬运的同时修正搬运工件的搬运中产生的偏转的偏转修正机构和该偏转修正方法。为实现该目的，根据本专利技术的搬运工件的偏转修正机构是修正向工件输送方向搬运的搬运工件的偏转的偏转修正机构，具备：保持所述搬运工件的侧部的保持装置；支持所述保持装置，并且沿着轨道向工件输送方向搬运所述保持装置的行驶装置；和在所述行驶装置的工件输送方向前部及后部支持所述保持装置的支持机构；所述支持机构具有设置于所述保持装置或行驶装置中的任意一个上的转动轴、和设置在所述保持装置或行驶装置中的另一个上的偏心轴，所述偏心轴在前部或后部中的一个相对于所述转动轴的轴线以规定的偏心量向工件输送方向偏心的位置上，且在前部或后部中的另一个向与工件输送方向交叉的方向偏心的位置上具备与所述转动轴平行的轴线；并且形成为通过使所述偏心轴的轴线以所述转动轴的轴线为中心转动以此使所述保持装置相对于所述行驶装置相对移动，从而修正所述搬运工件的偏转的结构。该说本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种搬运工件的偏转修正机构，是修正向工件输送方向搬运的搬运工件的偏转的偏转修正机构，具备：保持所述搬运工件的侧部的保持装置；支持所述保持装置，并且沿着轨道向工件输送方向搬运所述保持装置的行驶装置；和在所述行驶装置的工件输送方向前部及后部支持所述保持装置的支持机构；所述支持机构具有设置于所述保持装置或行驶装置中的任意一个上的转动轴、和设置在所述保持装置或行驶装置中的另一个上的偏心轴，所述偏心轴在前部或后部中的一个相对于所述转动轴的轴线以规定的偏心量向工件输送方向偏心的位置上，且在前部或后部中的另一个向与工件输送方向交叉的方向偏心的位置上具备与所述转动轴平行的轴线；并且形成为通过使所述偏心轴的轴线以所述转动轴的轴线为中心转动以此使所述保持装置相对于所述行驶装置相对移动，从而修正所述搬运工件的偏转的结构。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2011.11.30 JP 2011-2620251.一种搬运工件的偏转修正机构，是修正向工件输送方向搬运的搬运工件的偏转的偏转修正机构，具备：
保持所述搬运工件的侧部的保持装置；
支持所述保持装置，并且沿着轨道向工件输送方向搬运所述保持装置的行驶装置；和
在所述行驶装置的工件输送方向前部及后部支持所述保持装置的支持机构；
所述支持机构具有设置于所述保持装置或行驶装置中的任意一个上的转动轴、和设置在所述保持装置或行驶装置中的另一个上的偏心轴，所述偏心轴在前部或后部中的一个相对于所述转动轴的轴线以规定的偏心量向工件输送方向偏心的位置上，且在前部或后部中的另一个向与工件输送方向交叉的方向偏心的位置上具备与所述转动轴平行的轴线；
并且形成为通过使所述偏心轴的轴线以所述转动轴的轴线为中心转动以此使所述保持装置相对于所述行驶装置相对移动，从而修正所述搬运工件的偏转的结构。
2.根据权利要求1所述的搬运工件的偏转修正机构，其特征在于，所述偏心轴中的一个以相对于所述转动轴向工件输送方向偏心的形式配置，而所述偏心轴中的另一个以向与工件输送方向正交的方向偏心的形式配置。
3.根据权利要求1或2所述的搬运工件的偏转修正机构，其特征在于，
所述行驶装置具有使所述转动轴转动的驱动机；
所述保持装置具有与所述偏心轴接合的接合部；
所述驱动机形成为基于预先测定的所述行驶装置和轨道之间的在与工件输送方向正交的方向上的偏心量使所述转动轴转动，以此通...

【专利技术属性】
技术研发人员：久下守正，田中秀幸，大串修己，东健太郎，中泽睦裕，高原一典，
申请(专利权)人：川崎重工业株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP