机械臂结构制造技术

本实用新型专利技术提出了一种机械臂结构，包括与盛放片后端相连的推动器，固定在盛放片前端的前端挡片，位于盛放片表面的多个滚珠；在盛放片表面增加滚珠，半导体晶圆放置在滚珠上实现小摩擦滑动，并在其前端增加前端挡片，后端连接推动器，当半导体晶圆放置在滚珠上之后，由推动器推动半导体晶圆前进，直至与前端挡片触碰后停止推动，从而将半导体晶圆固定在前端挡片和推动器之间，避免其在机械臂传输过程中发生位置偏移，进而可以提高传输速度，减少传输所需的时间。（*该技术在2024年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
机械臂结构
本技术涉及半导体制造领域，尤其涉及一种机械臂结构。
技术介绍
半导体晶圆在制造过程中的反应均在反应腔室中进行，半导体晶圆通常存放在晶圆存储盒中，在进行生产时，将晶圆存储盒放置在设备机台上，由设备机台打开所述晶圆存储盒，并由机械臂托起半导体晶圆，并传输至反应腔室内，从而对半导体晶圆进行反应。为了能够提高半导体晶圆的产量，降低生产耗费的时间是一个重要的方式。为了能够降低生产所耗费的时间，其中一个方法是通过提高机械臂传输速度来实现。然而现有技术中机械臂为光滑的薄片，半导体晶圆仅放置在机械臂的表面，在机械臂的传输速度提高时，是非容易致使半导体晶圆的位置产生偏移，从而造成滑片现象，对半导体晶圆的生产造成较大的影响。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种机械臂结构，能够固定半导体晶圆，避免半导体晶圆位置发生偏移，提高传输速度，减少传输所需的时间。为了实现上述目的，本技术提出了一种机械臂结构，所述结构包括:推动器、盛放片、前端挡片以及多个滚珠，其中，所述盛放片的后端与所述推动器相连，所述前端挡片固定在所述盛放片前端，所述多个滚珠位于所述盛放片的表面。进一步的，所述滚珠为4个，均匀位于本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种机械臂结构，其特征在于，所述结构包括：推动器、盛放片、前端挡片以及多个滚珠，其中，所述盛放片的后端与所述推动器相连，所述前端挡片固定在所述盛放片前端，所述多个滚珠位于所述盛放片的表面。

【技术特征摘要】
1.一种机械臂结构，其特征在于，所述结构包括:推动器、盛放片、前端挡片以及多个滚珠，其中，所述盛放片的后端与所述推动器相连，所述前端挡片固定在所述盛放片前端，所述多个滚珠位于所述盛放片的表面。2.如权利要求1所述的机械臂结构，其特征在于，所述滚珠为4个，均匀位于所述盛放片的表面。3.如权利要求1所述的机械臂结构，其特征在于，所述前端挡片固定设有一感应器。4.如权利要求3所述的机...

【专利技术属性】
技术研发人员：周琦，许亮，李广宁，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造北京有限公司，
类型：新型
国别省市：北京;11