温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型提出了一种机械臂结构，包括与盛放片后端相连的推动器，固定在盛放片前端的前端挡片，位于盛放片表面的多个滚珠；在盛放片表面增加滚珠，半导体晶圆放置在滚珠上实现小摩擦滑动，并在其前端增加前端挡片，后端连接推动器，当半导体晶圆放置在滚珠上...
该专利属于中芯国际集成电路制造（北京）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造（北京）有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。