一种透明导电氧化物薄膜的制绒方法技术

本发明专利技术公开了一种透明导电氧化物薄膜的制绒方法，由于在透明导电氧化物薄膜上通过压印和第一刻蚀处理形成具有纳米图形的掩膜层，以掩膜层作为遮挡体对透明导电氧化物薄膜进行第二刻蚀处理，清除掩膜层的纳米图形后得到具有绒面结构的透明导电氧化物薄膜。这样，可以通过改变掩膜层的纳米图形来灵活调整透明导电氧化物薄膜的绒面结构，在实际操作过程中，相对于湿法刻蚀，其可控性和可重复性增强；并且，以掩膜层作为遮挡体对透明导电氧化物薄膜进行第二刻蚀处理，可以使制得的绒面结构较为规整，从而在不影响太阳能电池效率的前提下，可以达到增强太阳能电池的减反效应或陷光效应的效果。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及光伏
，尤其涉及。
技术介绍
随着能源危机和环境污染问题的日益加重，人们对新能源的研究和应用开发更加关注。其中，太阳能光伏发电技术以其洁净、安全、可再生成为新能源领域的研究热点。目前的太阳能电池一般包括由透明导电氧化物(Transparent Conducting Oxide, TC0)薄膜组成的前电极和背电极，以及位于前电极和背电极之间的PN结。当太阳光照射到PN结时，内建电场使得光照产生的光生空穴电子对分离，从而形成非平衡载流子，产生电流。在太阳能电池的制备过程中，为了最大限度地减少光反射，增强陷光效应，提高光电转换效率，通常会在太阳能电池的受光面上制作绒面。TCO薄膜作为太阳能电池的前电极，除了具有良好的光电性能，适当的绒面结构也可以起到减反或陷光的作用。然而，由于采用湿法刻蚀的方法对TCO薄膜进行制绒的可控性和重复性较差，即相同的工艺不同批次制绒后TCO薄膜的绒面结构差异较大，且在湿法刻蚀的过程中容易引进杂质污染，影响太阳能电池的光电转换效率。因此，如何提供一种对太阳能电池的受光面进行制绒的新方法，以增强太阳能电池的减反效应或陷光效应，是本领本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种透明导电氧化物薄膜的制绒方法，其特征在于，包括：在样品上形成透明导电氧化物薄膜；在所述透明导电氧化物薄膜上通过压印和第一刻蚀处理形成具有纳米图形的掩膜层；以所述具有纳米图形的掩膜层作为遮挡体，对所述透明导电氧化物薄膜进行第二刻蚀处理；清除经过第二刻蚀处理后的透明导电氧化物薄膜上的掩膜层的纳米图形，得到具有绒面结构的透明导电氧化物薄膜。

【技术特征摘要】
1.一种透明导电氧化物薄膜的制绒方法，其特征在于，包括: 在样品上形成透明导电氧化物薄膜； 在所述透明导电氧化物薄膜上通过压印和第一刻蚀处理形成具有纳米图形的掩膜层； 以所述具有纳米图形的掩膜层作为遮挡体，对所述透明导电氧化物薄膜进行第二刻蚀处理； 清除经过第二刻蚀处理后的透明导电氧化物薄膜上的掩膜层的纳米图形，得到具有绒面结构的透明导电氧化物薄膜。2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，在所述透明导电氧化物薄膜上通过压印和第一刻蚀处理形成具有纳米图形的掩膜层，具体包括: 在所述透明导电氧化物薄膜上利用可塑形材料形成掩膜层薄膜； 利用具有与所述纳米图形互补图形的模具，对所述掩膜层薄膜进行压印处理，得到具有凹凸图案的掩膜层薄膜； 对具有凹凸图案的掩膜层薄膜进行第一刻蚀处理，使所述凹凸图案中的凹陷区域暴露出透明导电氧化物薄膜后，得到具有纳米图形的掩膜层。3.如权利要求2所述的方法，其特征在于，所述利用具有与所述纳米图形互补图形的模具，对所述掩膜层薄膜进行压印处理，得到具有凹凸图案的掩膜层薄膜，具体包括: 将所述掩膜层薄膜加热至所述可塑形材料的玻璃态转换温度以上； 利用所述模具以预设压力按压加热后的掩膜层薄膜第一预设时长； 在所述掩膜层薄膜自然冷却至室温后，取下所述模具，得到具有凹凸图案的掩膜层薄膜。4.如权利要求3所述的方法，其特征在于，所述掩膜层薄膜的厚度为40nm-100nm，所述预设压力在单位面积内的压强为0.lMPa-30MPa,所述第一预设时长为10min-60min。5.如权利要求3或4所述的方法，其特征在于，所述可塑形材料为聚甲基丙烯酸甲酯或聚苯乙烯。6.如权利要求2所述的方法，其特征在于，所述利用具有与所述纳米图形互补图形的模具，对所述掩膜层薄膜进行压印处理，得到具有凹凸图案的掩膜层薄膜，具体包括: 利用所述模具按压所述掩膜层...

【专利技术属性】
技术研发人员：何延如，杨荣，谷士斌，赵冠超，温转萍，李立伟，孟原，郭铁，
申请(专利权)人：新奥光伏能源有限公司，
类型：发明
国别省市：河北;13