一种旋转手臂的定位装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种旋转手臂的定位装置，所述旋转手臂装置包括底座，连接于所述底座上方的旋转滚筒，以及连接于所述旋转滚筒上方的旋转手臂，所述定位装置包括套设于所述旋转滚筒底部的圆形卡盘装置，所述圆形卡盘装置的外侧边缘设有三个卡槽，以及设置于所述底座上方的探测装置，所述探测装置通过伸缩实现与所述圆形卡盘装置的外切或与所述卡槽的卡合。本实用新型专利技术的旋转手臂的定位装置根据旋转手臂传递的角度，做了更精确设计。用三个卡槽和一个带滚轮的探测装置与系统软件配合，能及时反应出现偏差的问题，及时做出调整，实现精准定位，避免0°偏移问题的出现，有效保护生产设备不受损坏。（*该技术在2024年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
一种旋转手臂的定位装置
本技术涉及一种半导体生产设备，特别是涉及一种旋转手臂的定位装置。
技术介绍
随着半导体行业的不断发展，对半导体生产的要求越来越高，作为直接影响半导体生产质量的半导体生产设备，其性能要求也越来越高。在半导体加工的过程中，需要将晶圆在各工艺环节之间传递，而晶圆的传递通常都是由机械手臂完成的。旋转手臂是其中比较常用的一种机械手臂，旋转手臂被应用于KT 0VL/AIT/KLA机台上，其主要功能是将晶圆从SMIF传递到Pre-aligner和Table上，按照系统设定的角度自动旋转到需要到达的位置，在该位置进行晶圆的装载和卸载。如图1所示为现有技术中常用的旋转手臂装置1，在旋转手臂装置I的0°、90°及180°位置上分别设有标准机械接口(SMIF)系统13、预对准(Pre-aligner)系统14及晶圆固定工作台(Table)系统15。在SMIF系统13中晶圆被识别并取出，装载到旋转手臂12上；然后根据系统设定的90°角度旋转，将晶圆传送到90°位置的Pre-aligner系统14处，再将晶圆装载到Pre-aligner系统14上进行定位操作；待定位操作完成后再本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种旋转手臂的定位装置，所述旋转手臂装置包括底座，连接于所述底座上方的旋转滚筒，以及连接于所述旋转滚筒上方的旋转手臂，其特征在于，所述定位装置包括套设于所述旋转滚筒底部的圆形卡盘装置，所述圆形卡盘装置的外侧边缘设有三个卡槽，以及设置于所述底座上方的探测装置，所述探测装置通过伸缩实现与所述圆形卡盘装置的外切或与所述卡槽的卡合。

【技术特征摘要】
1.一种旋转手臂的定位装置，所述旋转手臂装置包括底座，连接于所述底座上方的旋转滚筒，以及连接于所述旋转滚筒上方的旋转手臂，其特征在于，所述定位装置包括套设于所述旋转滚筒底部的圆形卡盘装置，所述圆形卡盘装置的外侧边缘设有三个卡槽，以及设置于所述底座上方的探测装置，所述探测装置通过伸缩实现与所述圆形卡盘装置的外切或与所述卡槽的卡合。2.根据权利要求1所述的旋转手臂的定位装置，其特征在于:所述圆形卡盘装置的高度设定为3cm?5cm。3.根据权利要求1所述的旋转手臂的定位装置，其特征在于:所述圆形卡盘装置的外径小于所述底座的外径。4.根据权利要求1...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨艳全，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造北京有限公司，
类型：新型
国别省市：北京;11