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本实用新型提供一种旋转手臂的定位装置，所述旋转手臂装置包括底座，连接于所述底座上方的旋转滚筒，以及连接于所述旋转滚筒上方的旋转手臂，所述定位装置包括套设于所述旋转滚筒底部的圆形卡盘装置，所述圆形卡盘装置的外侧边缘设有三个卡槽，以及设置于所述...
该专利属于中芯国际集成电路制造（北京）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造（北京）有限公司授权不得商用。

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