【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种退火炉管，具体是一种用于制备LED的退火炉管腔体。
技术介绍
退火是一种金属热处理工艺，指的是将金属缓慢加热到一定温度，保持足够时间，然后以适宜速度冷却。 在LED制程中，退火处理是一道必经的程序，不仅可以实现金属电极与半导体良好的欧姆接触；而且可以降低芯片硬度，改善切削加工性；消除芯片内部残余的应力，稳定尺寸，减少变形与裂纹倾向；细化晶粒，调整组织，消除组织缺陷。目前使用的LED退火炉管，存在以下缺点（1）由于圆柱形腔体内壁是光滑的，在炉管腔体中取放治具时，治具容易发生倾斜，导致治具中的芯片掉落破碎；（2）由于腔门为不锈钢腔门，作业过程中不能随时观察腔体内的情况，不利于制程。
技术实现思路
针对上述现有技术存在的问题，本专利技术提供一种用于制备LED的退火炉管腔体，该腔体不仅可以在取放治具时稳定治具，使产品在取放过程中不易发生破碎，同时可随时监控腔体内制程过程，保证产品正常作业，提高产品的生产良率。 为了实现上述目的，本专利技术采用的技术方案是：一种用于制备LED的退火炉管腔体，包括主腔体和腔门，主腔体为圆柱形石英空心腔，还包括石英治具和卡片；卡片设置有一对，并以过主腔体圆心的竖直线为中心线，对称的设置在主腔体内壁上，卡片的长度为主腔体长度的1/2～2/3；石英治具放置在主腔体中，石英治具两侧通过卡片卡设；腔门为石英腔门，腔门上设置有小孔。 ...
【技术保护点】
一种用于制备LED的退火炉管腔体，包括主腔体（1）和腔门（4），主腔体（1）为圆柱形石英空心腔，其特征在于，还包括石英治具（2）和卡片（3）；卡片（3）设置有一对，并以过主腔体（1）圆心的竖直线为中心线，对称的设置在主腔体（1）内壁上，卡片（3）的长度为主腔体（1）长度的1/2～2/3；石英治具（2）放置在主腔体（1）中，石英治具（2）两侧通过卡片（3）卡设；腔门（4）为石英腔门，腔门（4）上设置有小孔（5）。
【技术特征摘要】
1. 一种用于制备LED的退火炉管腔体，包括主腔体（1）和腔门（4），主腔体（1）为圆柱形石英空心腔，其特征在于，还包括石英治具（2）和卡片（3）；卡片（3）设置有一对，并以过主腔体（1）圆心的竖直线为中心线，对称的设置在主腔体（1）内壁上，卡片（3）的长度为主腔体（1）长度的1/2～2/3；石英治具（2）放置在主腔体（1）中，石英治...
【专利技术属性】
技术研发人员：张道成，
申请(专利权)人：徐州东力锻压机械有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32
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