【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本技术公开一种刻蚀机，所述刻蚀机包括承载极板、M个压力检测装置、上电极板和处理器，所述承载极板用于承载被刻蚀物，所述承载极板包括M个承载区域，所述M为大于等于2的整数；所述M个压力检测装置分别设置于所述M个承载区域上，用于检测所述被刻蚀物承载于所述M个承载区域上的M个部分的M个压力值；所述上电极板包括与所述M个承载区域对应的M个电极部；所述处理器与所述M个压力检测装置连接，用于根据所述M个压力值，控制所述被刻蚀物的M个部分的被刻蚀速度。【专利说明】一种刻蚀机
本技术涉及电子工艺
，尤其涉及一种刻蚀机。
技术介绍
当前，随着信息化建设在蓬勃发展，作为信息发布的终端显示设备，已经广泛应用于工作和生活的各个方面。在显示设备的生产工艺中，需要进行刻蚀。现有的刻蚀方式包括干法刻蚀，将被刻蚀物放置于刻蚀机内的两电极板中的一电极板上，在所述两电极板通电时，被电离的等离子会在电场的作用下向承载所述被刻蚀物的电极板高速移动，以对被刻蚀物表面进行轰击，破坏所述被刻蚀物的膜层表面，对所述被刻蚀物进行刻蚀。但上述现有技术存在如下技术问题:在刻蚀的过程中，发现...
【技术保护点】
一种刻蚀机，其特征在于，所述刻蚀机包括：承载极板，用于承载被刻蚀物，所述承载极板包括M个承载区域，所述M为大于等于2的整数；M个压力检测装置，分别设置于所述M个承载区域上，用于检测所述被刻蚀物承载于所述M个承载区域上的M个部分的M个压力值；上电极板，包括与所述M个承载区域对应的M个电极部；处理器，与所述M个压力检测装置连接，用于根据所述M个压力值，控制所述被刻蚀物的M个部分的被刻蚀速度。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：刘宇，张琨鹏，王凤国，白妮妮，康峰，高鹏飞，韩帅，
申请(专利权)人：鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司，京东方科技集团股份有限公司，
类型：新型
国别省市：内蒙古;15
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