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本实用新型公开一种刻蚀机，所述刻蚀机包括承载极板、M个压力检测装置、上电极板和处理器，所述承载极板用于承载被刻蚀物，所述承载极板包括M个承载区域，所述M为大于等于2的整数；所述M个压力检测装置分别设置于所述M个承载区域上，用于检测所述被刻蚀...该专利属于鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司;京东方科技集团股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司;京东方科技集团股份有限公司授权不得商用。