【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于一种化工物料的生产方法，具体设计一种四方系高纯磷化锌的制备方法。
技术介绍
工业上磷化锌主要用于电子特种气体磷烷(PH3)的生产，磷烷是制造半导体、LED用的极其重要的气体，国内需求量大。在电子气家族中，硅烷、磷烷、硼烷、磷烷应用量较大，是IC (integrated circuit的缩写，即为集成电路,是半导体元件产品的统称。)制造极为重要的原料。其中的磷烷是半导体器件制造中的重要N型掺杂源，同时磷烷还用于多晶硅化学气相沉淀、外延GaP材料、离子注入工艺、MOCVD工艺、磷硅玻璃(PSG)钝化膜制备等工艺中。高纯磷化锌是一种II一V族半导体材料，禁带宽度1.5ev。同时磷化镓、磷化铟等化合物半导体是现代无线通信、光通信领域中不可或缺的半导体材料。而磷化铟等器件工艺中，往往采用高纯度的磷化锌作为扩散源。磷化锌是当前各国正积极投入应用研究的半导体材料之一，包括在太阳能电池、单维纳米器件上的应用研究，因此随着其应用领域不断扩大。然而传统的磷化锌生产工艺存在制备工艺较复杂，收率较低，组成不均匀的问题，不适宜在半导体电子材料中应用。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种提供了磷化锌的制备方法，它生产的产品组相均匀，纯度高、流程短、生产工艺简单、可实现产业化。实现本专利技术上述目的所采取的技术方案是:①金属锌粉与红磷粉按质量比3.1~3.3:1混合均匀，放入高纯石墨舟中，再放入抽真空后充入保护气体至90~115KPa的熔炼炉中，密封炉子； ②按0.5~35°C /min的速度缓慢加热升温，从100~900°C，进行合成反应，得到块状的磷...
【技术保护点】
一种磷化锌的制备方法，其特征在于：①金属锌粉与红磷粉按质量比3.1～3.3:1混合均匀，放入高纯石墨舟中，再放入抽真空后充入保护气体至90～115KPa的熔炼炉中，密封炉子；②按0.5～35℃/min的速度缓慢加热升温，从100～900℃，进行合成反应，得到块状的磷化锌。
【技术特征摘要】
1.一种磷化锌的制备方法，其特征在于: ①金属锌粉与红磷粉按质量比3.1~3.3:1混合均匀，放入高纯石墨舟中，再放入抽真空后充入保护气体至90~115KPa的熔炼炉中，密封炉子； ②按0.5~35°C /min的速度缓慢加热升温，从100~900°C，进行合成反应，得到块状的磷化锌。2....
【专利技术属性】
技术研发人员：普友福，尹久发，武信，王友帅，陈诚，刘柳，陈涛，郭绍雄，何棋，马宇，李学鹏，毛锐，董绍尧，陈学元，朱跃林，
申请(专利权)人：云南锡业集团有限责任公司研究设计院，
类型：发明
国别省市：云南;53
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