【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种用于制造MEMS器件的方法，该方法包括：在基板的第一主表面上形成MEMS堆叠；在基板的第二主表面上形成聚合物层；以及在聚合物层和基板上形成第一开口，使得第一开口邻接MEMS堆叠。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：C阿伦斯，A德赫，B克诺特，S平德尔，
申请(专利权)人：英飞凌科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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