【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种超细硅纳米线阵列的制备方法,其特征是:使用二元或多元金属(合金)作为金属辅助化学腐蚀法制备超细硅纳米线阵列的催化剂,通过改变沉积(或注入)金属的数量、种类、顺序、剂量、能量以及沉积(或注入)的方法,以调控硅片表面催化剂颗粒的大小、形貌、分布以及催化活性,提高腐蚀过程中催化剂的物理化学稳定性;最终通过化学法腐蚀硅片获得直径、形态、填充因子、表面粗糙度可调的超细硅纳米线阵列。
【技术特征摘要】
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