【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本技术涉及一种研磨抛光头支撑装置，包括抛光机机架，抛光机机架上安装立柱，立柱的上部安装机顶；特征是：在所述机顶的底面上设置凸台，凸台中间设置通孔，凸台与连接板螺接，连接板与设置在凸台中间通孔的导套螺接，导套与研磨抛光头套接。在所述立柱与机顶底面连接处的内外侧分别设置上锁紧螺母和下锁紧螺母。在所述上锁紧螺母上沿圆周方向均匀分布三个或三个以上螺纹孔，在螺纹孔中设置螺钉。本技术通过导套与连接板、连接板与机顶的底面凸台的紧密配合，可保证连接于导套下侧的研磨抛光头上下移动的竖直精度，达到研磨抛光头对晶片均匀施力的目的。【专利说明】研磨抛光头支撑装置
本技术涉及一种研磨抛光头支撑装置，尤其是一种用于晶体研磨抛光的抛光头的支撑装置。
技术介绍
现今光电、半导体、模具等产业，对于其使用零件(如铣、削加工后的工件)的表面精度要求均日益提高，因此，于工件表面进行研磨抛光的精密微细加工已成为目前发展的主流加工技术。研磨抛光的目的是为了去除切片在加工工序中因切割产生的微缺陷和表面损伤层，获得表面平坦化、表面粗糙度极低的光亮“镜面”。在研磨抛光过程中，晶片被一个可活动的...
【技术保护点】
一种研磨抛光头支撑装置，包括抛光机机架（1），抛光机机架（1）上安装立柱（2），立柱（2）的上部安装机顶（3）；其特征是：在所述机顶（3）的底面上设置凸台（6），凸台（6）中间设置通孔，凸台（6）与连接板（7）螺接，连接板（7）与设置在凸台（6）中间通孔的导套（8）螺接，导套（8）与研磨抛光头（9）套接。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：唐丹，方建东，杨宁，孙晓晓，
申请(专利权)人：无锡元明机械设备技术有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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