一种双面研磨抛光机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种双面研磨抛光机，包括上盘，所述上盘的正下方设有下盘（1），上盘和下盘（1）采用不同的电机驱动且两者的转动方向相反，所述下盘（1）的外缘侧设有内齿圈（2）且下盘（1）的中部设有太阳轮（3），在下盘（1）上放置有作为工装夹具的行星轮（4），行星轮（4）的两侧分别与内齿圈（2）和太阳轮（3）啮合且内齿圈（2）和太阳轮（3）采用不同的电机驱动，使得行星轮（4）在内齿圈（2）和太阳轮（3）的作用下既能自转又能围绕太阳轮（3）公转。本实用新型专利技术使得工件在载体内形成至少三个方向的速度相互协调的磨削运动，两面均匀磨削、阻力小、效率高且不损伤工件，适用于硅片、蓝宝石衬底以及外延片的研磨抛光。

Double sided grinding and polishing machine

The utility model discloses a double-sided polishing machine, which comprises an upper plate, the upper plate is arranged below the wall (1), upper and lower discs (1) using different rotation direction of motor drive and the two opposite, the footwall (1) the outer side is provided with a ring gear (2) and lower (1) the middle part is provided with a sun wheel (3), (1) in the footwall is placed on the planet as a fixture of the planetary gear (4), (4) the two sides and the ring gear (2) and (3) the sun gear meshing and inner gear ring (2) and sun (3) using different motor drive, the planet wheel gear ring (4), (2) and sun (3) under the action of both rotation and revolution around the sun wheel (3). The utility model makes the motion of grinding workpiece forming at least three directions in the carrier rate of coordination, both sides of uniform grinding, low resistance, high efficiency and no damage to the workpiece, suitable for silicon and sapphire substrate and epitaxial wafer polishing.

【技术实现步骤摘要】
一种双面研磨抛光机
本技术涉及光学
，具体地说一种能够对工件进行双面研磨抛光的双面研磨抛光机。
技术介绍
现有的光学工件加工中，一般采用单面的研磨抛光机，无论是研磨工序还是抛光工序，光学工件都要先加工一面后再加工另一面，费时费力且生产成本高。
技术实现思路
本技术的目的是针对现有技术存在的问题，提供一种能够对工件进行双面研磨抛光的双面研磨抛光机。本技术的目的是通过以下技术方案解决的：一种双面研磨抛光机，包括上盘，其特征在于：所述上盘的正下方设有与之对应的下盘，上盘和下盘采用不同的电机驱动且两者的转动方向相反，所述下盘的外缘侧设有内齿圈且下盘的中部设有太阳轮，在下盘上放置有作为工装夹具的行星轮，行星轮的两侧分别与内齿圈和太阳轮啮合且内齿圈和太阳轮采用不同的电机驱动，使得行星轮在内齿圈和太阳轮的作用下既能自转又能围绕太阳轮公转。所述内齿圈和太阳轮的转动方向相反且内齿圈和行星轮的转动方向相同。所述的太阳轮从下盘中部的太阳轮安装孔中伸出。所述的下盘能够在升降机构的作用下上升取件或落位装件。所述太阳轮中部的驱动安装孔中安装有上盘驱动件，上盘驱动件凸出太阳轮且上盘驱动件上设有用于固定上盘的定位沟槽。所述的上盘、下盘、内齿圈和太阳轮采用四个不同的电机驱动。本技术相比现有技术有如下优点：本技术通过采用不同的电机驱动且两者转动方向相反的上盘和下盘对工件进行研磨抛光，且通过内齿圈、太阳轮和行星轮的设置，使得工件在载体内作既公转又自转的游星运动，磨削阻力小不损伤工件，而且两面均匀磨削生产效率高，需要双面研磨抛光的工件用双面机进行研磨抛光比单面机的效率要快一倍；该双面研磨抛光机的诞生和发展为很多行业的生产效率带来了改良，适用于光学玻璃行业的硅片、蓝宝石衬底以及外延片等。本技术的双面研磨抛光机能够使得工件在载体内形成至少三个方向的速度相互协调的磨削运动，工件的上下表面能同时均匀研磨且由于上盘、下盘同时转动，游星轮运动阻力小，加工工件特别是加工薄、脆性材质的工件不易破损。本技术的双面研磨抛光机设有变速换向装置，能够获得游星轮正反两个方向的自转运动，产生的磨削运动轨迹的均衡补偿而使得上盘、下盘在较长时间的研磨后，其平面度基本不变，另外配有的修正轮用来修复上盘、下盘的平面度误差。本技术的双面研磨抛光机采用无极调速电机，起动及停车平稳、无冲击，能有效地防止薄脆工件破碎，也能使各种不同材质的工件加工时，得到理想的研磨速度；采用了计数自动控制，当机器达到预置的研磨量（转数或厚度）时即自动停机，因此可以实现多台机床同时操作；另外备有对工件加压的可变加压机构，当加工不同材质、尺寸的工件时，可根据需要任意选择轻、中、重等不同压力。附图说明附图1为本技术的双面研磨抛光机的结构示意图。其中：1—下盘；2—内齿圈；3—太阳轮；4—行星轮；5—太阳轮安装孔；6—驱动安装孔；7—上盘驱动件；8—定位沟槽。具体实施方式下面结合附图与实施例对本技术作进一步的说明。如图1所示：一种双面研磨抛光机，包括上盘，在上盘的正下方设有与之对应的下盘1，上盘和下盘1采用不同的电机驱动且两者的转动方向相反，下盘1的外缘侧设有内齿圈2且下盘1的中部设有太阳轮3，在下盘1上放置有作为工装夹具的行星轮4，行星轮4的两侧分别与内齿圈2和太阳轮3啮合且内齿圈2和太阳轮3采用不同的电机驱动，内齿圈2和太阳轮3的转动方向相反且内齿圈2和行星轮4的转动方向相同，使得行星轮4在内齿圈2和太阳轮3的作用下既能自转又能围绕太阳轮3公转。具体到安装结构，太阳轮3从下盘1中部的太阳轮安装孔5中伸出且下盘1能够在升降机构的作用下上升取件或落位装件；在太阳轮3中部的驱动安装孔6中安装有上盘驱动件7，上盘驱动件7凸出太阳轮3且上盘驱动件7上设有用于固定上盘的定位沟槽。另外需要说明的是：上盘、下盘1、内齿圈2和太阳轮3采用四个不同的电机驱动。下面通过具体操作过程来对本技术的双面研磨抛光机进行进一步的说明。具体过程如下：1、按下空气开关按钮，转数指示灯亮，表示不同工作内容的停止按钮信号灯亮；2、主机启动和停止，由主机启动按钮和停止按钮控制；3、砂泵启动和停止，由砂泵启动按钮和停止按钮控制；4、上盘的升降分别由控制上升和下降的点动按钮来控制，具体上升和下降时冲击工件，在上盘与工件距离20毫米处，按下缓降按钮，使其缓缓接触工件，当确实接触工件后，按一下快降按钮，使其完全接触后，便可启动主机；5、主机启动前，应将速度调节电位器拧到零位置，启动后，缓慢调节调速电位器，使其获得研磨所需的速度，这时主轴的速度由转速表显示，研磨的转速是无极调速的；6、研磨量由计数方式控制，开机前把所需研磨数预置（预置前将计数继电器复位为零）。工作时，当运行的转数与预置数一致时，便自动停机，若下次研磨量与前次相同则不需重新预置转数，只需按一下计数继电器复位按钮即可；7、研磨压力，本机在研磨开始到研磨完毕的一个周期内，可自动提供三种不同的研磨压力，依次分四个阶段，即轻压、中压、重压和研磨（轻压），研磨力的选择，应根据工件的材质、数量、研磨面的尺寸形状，研磨量及磨料的配方等因素来决定。各种压力阶段所持续的时间也是由计数器的预置的转速相应控制，某种压力需要的时间长，其预置的转数就多，需要的时间短，其预置的转数就少，当不需要某种压力时，只需将继电器预置零位即可；8、在机器需要空转时，将转换按钮置于停止位置，此时主机已启动，再调节调速电位器，得到空转所需速度，在进行研磨工作时，必须将转换按钮置于工作位置，否则，无轻、中、重压力；9、研磨液供给，可直接按下砂泵启动按钮，砂泵启动运行，研磨液即从导管自行导入；10、研磨结束后，请段开电源和气源，并将速度调节电位器拧到零位置；11、该机作为双面抛光时，请在上、下研磨盘上粘贴好抛光布，加入抛光液即可进行表面抛光。本技术通过采用不同的电机驱动且两者转动方向相反的上盘和下盘1对工件进行研磨抛光，且通过内齿圈2、太阳轮3和行星轮4的设置，使得工件在载体内作既公转又自转的游星运动，磨削阻力小不损伤工件，而且两面均匀磨削生产效率高，需要双面研磨抛光的工件用双面机进行研磨抛光比单面机的效率要快一倍；该双面研磨抛光机的诞生和发展为很多行业的生产效率带来了改良，适用于光学玻璃行业的硅片、蓝宝石衬底以及外延片等。该双面研磨抛光机能够使得工件在载体内形成至少三个方向的速度相互协调的磨削运动，工件的上下表面能同时均匀研磨且由于上盘、下盘1同时转动，游星轮4运动阻力小，加工工件特别是加工薄、脆性材质的工件不易破损。本技术的双面研磨抛光机设有变速换向装置，能够获得游星轮4正反两个方向的自转运动，产生的磨削运动轨迹的均衡补偿而使得上盘、下盘1在较长时间的研磨后，其平面度基本不变，另外配有的修正轮用来修复上盘、下盘1的平面度误差。该双面研磨抛光机采用无极调速电机，起动及停车平稳、无冲击，能有效地防止薄脆工件破碎，也能使各种不同材质的工件加工时，得到理想的研磨速度；采用了计数自动控制，当机器达到预置的研磨量（转数或厚度）时即自动停机，因此可以实现多台机床同时操作；另外备有对工件加压的可变加压机构，当加工不同材质、尺寸的工件时，可根据需要任意选择轻、中、重等不同压力。以上实施本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种双面研磨抛光机，包括上盘，其特征在于：所述上盘的正下方设有与之对应的下盘（1），上盘和下盘（1）采用不同的电机驱动且两者的转动方向相反，所述下盘（1）的外缘侧设有内齿圈（2）且下盘（1）的中部设有太阳轮（3），在下盘（1）上放置有作为工装夹具的行星轮（4），行星轮（4）的两侧分别与内齿圈（2）和太阳轮（3）啮合且内齿圈（2）和太阳轮（3）采用不同的电机驱动，使得行星轮（4）在内齿圈（2）和太阳轮（3）的作用下既能自转又能围绕太阳轮（3）公转。

【技术特征摘要】
1.一种双面研磨抛光机，包括上盘，其特征在于：所述上盘的正下方设有与之对应的下盘（1），上盘和下盘（1）采用不同的电机驱动且两者的转动方向相反，所述下盘（1）的外缘侧设有内齿圈（2）且下盘（1）的中部设有太阳轮（3），在下盘（1）上放置有作为工装夹具的行星轮（4），行星轮（4）的两侧分别与内齿圈（2）和太阳轮（3）啮合且内齿圈（2）和太阳轮（3）采用不同的电机驱动，使得行星轮（4）在内齿圈（2）和太阳轮（3）的作用下既能自转又能围绕太阳轮（3）公转。2.根据权利要求1所述的双面研磨抛光机，其特征在于：所述内齿圈（2）和太阳轮（3）的转动方向相反且内齿圈（2）和行星轮（...

【专利技术属性】
技术研发人员：欧仕明，姜建军，石矿，欧国春，
申请(专利权)人：宜兴市晶科光学仪器有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32