一种液动压悬浮研磨抛光一体抛光角度可调装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种液动压悬浮研磨抛光一体抛光角度可调装置，包括抛光盘、液动压悬浮装置、升降装置、压力检测装置、抛光角度调整装置和支撑装置，所述抛光盘表面划分成十个基本单元，每个基本单元表面均包括从右至左依次设置的工件贴片区、锲形区域、蓄流槽和约束边界；所述抛光角度调整装置包括万向浮动接头，所述联轴器的另一端通过万向浮动接头连接抛光盘。本发明专利技术的装置结构简单紧凑、设备成本低；采用了万向浮动接头连接，使得抛光盘与研磨盘的贴合更紧密；采用了可滑动的弹簧组，使得抛光盘和研磨盘无间隙贴合进行研磨；通过伺服电机直接驱动抛光工具的旋转，避免了复杂的传动环节造成的误差积累，提高了加工精度。

The utility model relates to a hydraulic pressure suspension grinding and polishing integrated polishing angle adjustable device

The invention discloses a hydrodynamic suspension polishing polishing an angle adjusting device, including polishing disk, hydrodynamic suspension device, lifting device, pressure detection device, polishing angle adjustment device and a supporting device, the polishing disc surface divided into ten basic units, each basic unit includes a surface from the right to the left patch area, workpiece arranged in wedge shaped groove and the storage area, the boundary; the polishing angle adjusting device comprises a universal floating joint, the other end of the coupling through the universal joint float polishing. The device structure is simple and compact, low cost of equipment; the adoption of a universal connecting floating joint, the polishing and grinding wheel clung more closely by spring group; sliding, the polishing and grinding wheel for grinding clearance fit; the servo motor direct drive of the rotary polishing tools, to avoid the accumulation of error the transmission link complex, improve processing accuracy.

【技术实现步骤摘要】
一种液动压悬浮研磨抛光一体抛光角度可调装置
本专利技术涉及研磨抛光
，更具体的说，尤其涉及一种液动压悬浮研磨抛光一体抛光角度可调装置。
技术介绍
超精密加工技术是一门新兴的综合性加工技术。它集成了现代机械、光学、电子、计算机、测量及材料等先进技术成就，已成为国家科学技术发展水平的重要标志。为了获得各种元器件及装备的高性能，要求元件和零件的加工精度越来越高，有的甚至要求达到纳米级或更高的加工精度和无损伤的表面加工质量。超精密抛光是目前最主要的终加工手段。抛光过程的材料去除量十分微小，一般在几微米以下。目前，非接触式抛光是获得超光滑表面的主要抛光方法。常见的非接触抛光，如浮法抛光，其液动压效应较弱，加工效率低，不能完全消除抛光引起的表面残余应力；如动压浮离抛光，抛光压力分布不均匀，驱动轴回转精度要求高，抛光起始和终了阶段仍存在工件与磨粒的直接接触。
技术实现思路
本专利技术的目的在于解决现有的研磨抛光装置是独立开来的，现在为了解决装置独立，以及研磨后进行抛光需要二次装配问题，提出了一种稳定性好、定位精度高、液压动力稳定、抛光过程均匀性好、研磨盘和抛光盘贴合性好的液动压悬浮研磨抛光一体抛光角度可调装置。本专利技术通过以下技术方案来实现上述目的：一种液动压悬浮研磨抛光一体抛光角度可调装置，包括抛光盘、液动压悬浮装置、升降装置、压力检测装置、抛光角度调整装置和支撑装置，所述抛光盘表面划分成十个基本单元，每个基本单元表面均包括从右至左依次设置的工件贴片区、锲形区域、蓄流槽和约束边界；所述支撑装置包括后背板、左侧板和右侧板，所述左侧板和右侧板均垂直固定在所述后背板上；所述升降装置包括第一伺服电机、滚珠丝杠、第一直线导轨、丝杠螺母、第一滑块，所述滚珠丝杠竖直安装在所述后背板上，滚珠丝杠的一端连接第一伺服电机，所述第一直线导轨设有两条，两条第一直线导轨分别竖直安装在左侧板和右侧板上，每条直线导轨上均套装有第一滑块，所述丝杠螺母套装在所述滚珠丝杠上；所述液动压驱动装置包括滚珠花键轴、底板、侧安装板、顶部固定板、第二直线导轨、第二滑块、联轴器、导向柱、带轮、同步带和第二伺服电机，所述丝杠螺母和两个第一滑块均与底板固定连接，第一伺服电机运动时带动所述底板沿第一直线导轨运动；所述侧安装板设有两块，两块侧安装板均竖直固定在所述底板上，所述顶部固定板水平固定在两块侧安装板的顶部，两块侧安装板上分别设有一条第二直线轨道；每条第二直线导轨上均套装有一个第二滑块，两个第二滑块固定在动板上；滚珠花键轴穿过底板与联轴器的一端连接，滚珠花键轴的上端固定在动板上，所述底板上固定有导向柱，导向柱的上端穿过动板，底板和动板之间的导向柱上套装有弹簧；所述滚珠花键轴上安装有带轮，带轮通过同步带连接固定在底板上的第二伺服电机，所述第二伺服电机通过同步带驱动带轮，将动力传递给滚珠花键轴，并带动抛光盘的高速转动；所述压力检测装置包括螺纹检测轴和测力传感器，所述顶部固定板上设置有与所述螺纹检测轴相配合的通孔，螺纹检测轴通过螺栓固定在顶部固定板上，测力传感器固定在螺纹检测轴的底部，测力传感器在动板沿第二直线导轨上移时抵住所述动板；所述抛光角度调整装置包括万向浮动接头，所述联轴器的另一端通过万向浮动接头连接抛光盘。进一步的，所述联轴器通过弹簧组连接万向浮动接头，所述弹簧组包括柱形底座和柱顶连接柱，柱形底座上设置有与柱形连接座形状相配合的通孔，柱顶连接柱的外侧沿周向均布多个半圆形凸起，柱形底座的通孔内壁上设置有与所述半圆形凸起一一对应的轴向设置的半圆槽，所述柱形底座的外侧还设有与所述半圆槽连通的螺纹孔，紧固螺栓穿过螺纹孔将柱形底座和柱顶连接柱紧固在一起。进一步的，所述联轴器通过弹簧组连接万向浮动接头。进一步的，所述侧板包括左侧板和左右侧板，左侧板和右侧板均与后背板固定连接。进一步的，所述第一直线导轨上设置有多组腰型孔。进一步的，所述导向柱设置有四根，其中两根导向柱上安装有弹簧，另外两根导向柱的顶部安装有限位块。进一步的，所得底板上还固定有光栅尺。本专利技术的有益效果在于：本专利技术的装置结构简单紧凑、设备成本低；采用了万向浮动接头连接，使得抛光盘与研磨盘的贴合更紧密；采用了可滑动的弹簧组，使得抛光盘和研磨盘无间隙贴合进行研磨；通过伺服电机直接驱动抛光工具的旋转，避免了复杂的传动环节造成的误差积累，提高了加工精度。附图说明图1为本专利技术一种液动压悬浮研磨抛光一体抛光角度可调装置的三维图。图2为本专利技术一种液动压悬浮研磨抛光一体抛光角度可调装置的主视图。图3为本专利技术一种液动压悬浮研磨抛光一体抛光角度可调装置的俯视图。图4为本专利技术一种液动压悬浮研磨抛光一体抛光角度可调装置的右视图。图5为本专利技术弹簧组的三维图。图6为本专利技术丝杠传动系统的俯视图。图7为本专利技术研磨抛光装置的左视图。图中，1-第一伺服电机、2-滚珠丝杠、3-动板、4-后背板、5-右侧板、6-第一直线导轨、7-第二直线导轨、8-侧安装板、9-底板、10-滚珠花键轴、11-联轴器、12-弹簧组、13-万向浮动接头、14-抛光盘、15-第二滑块、16-第二伺服电机、17光栅尺、18腰型孔、19-测力传感器、20-第一滑块、21-顶部固定板、22-导向柱、23-弹簧、24-限位块。具体实施方式下面结合附图对本专利技术作进一步说明：如图1～7所示，一种液动压悬浮研磨抛光一体抛光角度可调装置，其特征在于：包括抛光盘14、液动压悬浮装置、升降装置、压力检测装置和支撑装置，所述抛光盘14表面划分成十个基本单元，每个基本单元表面均包括从右至左依次设置的工件贴片区、锲形区域、蓄流槽和约束边界；在进行液动压悬浮研磨抛光时，抛光盘13和工件都是位于浸液环境中，抛光液浸没抛光盘和工件，有利于降低抛光过程中摩擦产生的热量带来的负面作用。所述支撑装置包括后背板4、左侧板和右侧板5，所述左侧板和右侧板5均垂直固定在所述后背板4上；后背板4、左侧板和右侧板5均为方形板。所述升降装置包括第一伺服电机1、滚珠丝杠2、第一直线导轨6、丝杠螺母、第一滑块20，所述滚珠丝杠2竖直安装在所述后背板4上，滚珠丝杠2的一端连接第一伺服电机1，所述第一直线导轨6设有两条，两条第一直线导轨6分别竖直安装在左侧板和右侧板5上，每条直线导轨上均套装有第一滑块20，所述丝杠螺母套装在所述滚珠丝杠上；第一伺服电机1、滚珠丝杠2和丝杠螺母构成了驱动底板9升降的丝杠传动系统。所述液动压驱动装置包括滚珠花键轴10、底板9、侧安装板8、顶部固定板21、第二直线导轨7、第二滑块15、联轴器11、弹簧组12、导向柱22、带轮、同步带和第二伺服电机16，所述丝杠螺母和两个第一滑块20均与底板9固定连接，第一伺服电机1运动时带动所述底板9沿第一直线导轨6运动；所述侧安装板8设有两块，两块侧安装板8均竖直固定在所述底板9上，所述顶部固定板21水平固定在两块侧安装板8的顶部，两块侧安装板8上分别设有一条第二直线轨道；每条第二直线导轨7上均套装有一个第二滑块15，两个第二滑块15固定在动板3上；滚珠花键轴10穿过底板9与联轴器11的一端连接，滚珠花键轴10的上端固定在动板3上，所述底板9上固定有导向柱22，导向柱22的上端穿过动板3，底板9和动板3之间的导向柱22上套装有弹簧23；所述滚珠花键轴10上安装有本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种液动压悬浮研磨抛光一体抛光角度可调装置，其特征在于：包括抛光盘(14)、液动压悬浮装置、升降装置、压力检测装置、抛光角度调整装置和支撑装置，所述抛光盘(14)表面划分成十个基本单元，每个基本单元表面均包括从右至左依次设置的工件贴片区、锲形区域、蓄流槽和约束边界；所述支撑装置包括后背板(4)、左侧板和右侧板(5)，所述左侧板和右侧板(5)均垂直固定在所述后背板(4)上；所述升降装置包括第一伺服电机(1)、滚珠丝杠(2)、第一直线导轨(6)、丝杠螺母、第一滑块(20)，所述滚珠丝杠(2)竖直安装在所述后背板(4)上，滚珠丝杠(2)的一端连接第一伺服电机(1)，所述第一直线导轨(6)设有两条，两条第一直线导轨(6)分别竖直安装在左侧板和右侧板(5)上，每条直线导轨上均套装有第一滑块(20)，所述丝杠螺母套装在所述滚珠丝杠上；所述液动压驱动装置包括滚珠花键轴(10)、底板(9)、侧安装板(8)、顶部固定板(21)、第二直线导轨(7)、第二滑块(15)、联轴器(11)、导向柱(22)、带轮、同步带和第二伺服电机(16)，所述丝杠螺母和两个第一滑块(20)均与底板(9)固定连接，第一伺服电机(1)运动时带动所述底板(9)沿第一直线导轨(6)运动；所述侧安装板(8)设有两块，两块侧安装板(8)均竖直固定在所述底板(9)上，所述顶部固定板(21)水平固定在两块侧安装板(8)的顶部，两块侧安装板(8)上分别设有一条第二直线轨道；每条第二直线导轨(7)上均套装有一个第二滑块(15)，两个第二滑块(15)固定在动板(3)上；滚珠花键轴(10)穿过底板(9)与联轴器(11)的一端连接，滚珠花键轴(10)的上端固定在动板(3)上，所述底板(9)上固定有导向柱(22)，导向柱(22)的上端穿过动板(3)，底板(9)和动板(3)之间的导向柱(22)上套装有弹簧(23)；所述滚珠花键轴(10)上安装有带轮，带轮通过同步带连接固定在底板(9)上的第二伺服电机(16)，所述第二伺服电机(16)通过同步带驱动带轮，将动力传递给滚珠花键轴(10)，并带动抛光盘(14)的高速转动；所述压力检测装置包括螺纹检测轴和测力传感器(19)，所述顶部固定板(21)上设置有与所述螺纹检测轴相配合的通孔，螺纹检测轴通过螺栓固定在顶部固定板(21)上，测力传感器(19)固定在螺纹检测轴的底部，测力传感器(19)在动板(3)沿第二直线导轨(7)上移时抵住所述动板(3)；所述抛光角度调整装置包括万向浮动接头(13)，所述联轴器的另一端通过万向浮动接头(13)连接抛光盘。...

【技术特征摘要】
1.一种液动压悬浮研磨抛光一体抛光角度可调装置，其特征在于：包括抛光盘(14)、液动压悬浮装置、升降装置、压力检测装置、抛光角度调整装置和支撑装置，所述抛光盘(14)表面划分成十个基本单元，每个基本单元表面均包括从右至左依次设置的工件贴片区、锲形区域、蓄流槽和约束边界；所述支撑装置包括后背板(4)、左侧板和右侧板(5)，所述左侧板和右侧板(5)均垂直固定在所述后背板(4)上；所述升降装置包括第一伺服电机(1)、滚珠丝杠(2)、第一直线导轨(6)、丝杠螺母、第一滑块(20)，所述滚珠丝杠(2)竖直安装在所述后背板(4)上，滚珠丝杠(2)的一端连接第一伺服电机(1)，所述第一直线导轨(6)设有两条，两条第一直线导轨(6)分别竖直安装在左侧板和右侧板(5)上，每条直线导轨上均套装有第一滑块(20)，所述丝杠螺母套装在所述滚珠丝杠上；所述液动压驱动装置包括滚珠花键轴(10)、底板(9)、侧安装板(8)、顶部固定板(21)、第二直线导轨(7)、第二滑块(15)、联轴器(11)、导向柱(22)、带轮、同步带和第二伺服电机(16)，所述丝杠螺母和两个第一滑块(20)均与底板(9)固定连接，第一伺服电机(1)运动时带动所述底板(9)沿第一直线导轨(6)运动；所述侧安装板(8)设有两块，两块侧安装板(8)均竖直固定在所述底板(9)上，所述顶部固定板(21)水平固定在两块侧安装板(8)的顶部，两块侧安装板(8)上分别设有一条第二直线轨道；每条第二直线导轨(7)上均套装有一个第二滑块(15)，两个第二滑块(15)固定在动板(3)上；滚珠花键轴(10)穿过底板(9)与联轴器(11)的一端连接，滚珠花键轴(10)的上端固定在动板(3)上，所述底板(9)上固定有导向柱(22)，导向柱(22)的上端穿过动板(3)，底板(9)和动板(3)之间的导向柱(22)上套装有弹簧(23)；所述滚珠花键轴(10)上安装有带轮，带轮通过同步带连接固定在底板(9)上的第二伺...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈珍珍，文东辉，章少杰，杨杰，袁巧玲，
申请(专利权)人：浙江工业大学，
类型：发明
国别省市：浙江,33