一种用于研磨或抛光玻璃基板的至少一条边缘的设备制造技术

具有音圈的线性压力进给研磨，旨在提供一种用于研磨或抛光玻璃基板的至少一条边缘的设备。该设备包括研磨单元，该研磨单元构造成在对准位置时从该边缘去除预定量的材料。该研磨单元施加垂直于该边缘的预定的力。空气支承滑动系统与该研磨单元联接。该空气支承滑动系统构造成在加压空气薄层上沿预定轴线滑动，该加压空气薄层提供零摩擦负载支承界面。线性致动电动机与该空气支承滑动系统联接。线性致动电动机构造成控制空气支承滑动系统的运动，使得研磨单元从非对准位置移动到对准位置。（*该技术在2019年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术总地涉及显示器玻璃基板，且具体涉及一种用于玻璃基板边缘修整的系统。
技术介绍
平板显示器基板的制造工艺需要特定尺寸的玻璃基板，该基板能够在标准的生产装置上进行处理。为了得到具有适当尺寸的基板，采用机械划刻和断开工艺，或采用激光划刻技术。这些确定尺寸的方法中的每种都需要边缘修整。修整工艺包括对边缘进行研磨和/ 或抛光，以去除尖锐的边缘及会使基板的强度和耐久度降低的其它缺陷。另外，在制造LCD 面板中有许多需要操作的工艺步骤。因此，用于液晶显示器(LCD)的玻璃基板要有能足够承受机械操作和接触的边缘。经修整的边缘是通过用金属研磨砂轮研磨未经修整的边缘而形成。在常规系统中，玻璃基板被放置在卡盘上并行进经过一系列的研磨位置。每个位置装配有根据置于砂轮上的砂粒的粗糙度/细度的不同而不同的研磨砂轮。在玻璃基板通过每个研磨位置之后修整工艺完成。然而，当玻璃没有相对于砂轮适当对准时，修整后的玻璃基板质量就会下降。具体来说，玻璃未对准会对玻璃的尺寸精度产生负面影响。其次，玻璃未对准会使边缘质量较差，这通常导致基板的强度较差。因而，在LCD处理步骤中会发生基板破裂。由于要求显示器的尺寸越来越大，使上述问题进一步恶化。这样的要求以及规模经济效益促使有源阵列液晶显示器(AMLCD)制造商生产更大的显示器基板。因此提供具有必需有的边缘质量、尺寸精度和强度的较大显示器基板是十分重要的。考虑有三种措施来解决上述问题。在一种措施中，基板制造商考虑可提供改善对准精度的研磨系统。遗憾的是，由于LCD的制造商使用越来越大的基板，当基板尺寸增加时，对对准公差的要求也越来越严格。精确的对准越来越重要，因为在处理较大的基板时， 小的偏斜角会转化成为较大的误差。这种措施的一个缺点是虽然可以得到具有要求精度的对准工具，但由于磨损，无法长久保持该精度。在另一种所考虑的措施中，可采用通过去除更多的材料来补偿对准精度的不足的研磨系统。通常，边缘修整研磨系统仅需去除大约100微米的材料。该概念就是提供较大的基板，去除正确的量来满足尺寸需要。完成该目标的一种方法是使用包括多重研磨步骤的系统。这就转化为更多的砂轮轴和更多的砂轮。该方法的一个缺点在于附属加处理装置的花费。另外，一旦得到这样的装置，就需要对更多的装置进行更多的维护。去除更多材料的另一种措施是采用更粗糙的砂轮。遗憾的是，由于更粗糙的修整使基板更易破裂，因此这一选择并没有吸引力。去除更多材料的又一种方式是使基板横向经过修整系统的速度减慢。遗憾的是， 该方法会降低生产量和研磨边缘质量。另外，如果要保持生产量的话就需要增加资金预算。4在所考虑的又一种方式中，可使用跟踪基板边缘的自对准研磨系统。该压力进给研磨方法施加垂直于基板边缘的预定的力。砂轮通过绕枢轴件旋转而随着边缘的即时位置移动，或跟踪该位置。由于砂轮的位置是由基板边缘的位置决定的，最后生成的基板产品相对于常规研磨的基板来说提高了尺寸精度。遗憾的是，该技术同样也有缺点。在常规压力进给系统中所采用的柱形枢轴包括机械轴承。为了克服这些机械轴承的摩擦力，必须施加约为16N的垂直力。该力超出了玻璃基板的强度，如果施加了那样的力则会发生破裂。虽然压力进给研磨法是有前途的，但在上述问题没有解决之前无法使用。考虑到上述内容，希望提供一种构造为去除精确玻璃量、同时又保持边缘质量的边缘修整设备。还需要提供一种提高尺寸精度的边缘修整设备。另外，该边缘修整设备应可适时地对玻璃的边缘进行修整，而不会降低所需的玻璃强度和边缘质量属性。所需要的是一种可提供上述特征同时又可克服以上所讨论的常规压力进给研磨系统的局限性的压力进给研磨设备。
技术实现思路
本技术旨在解决上述的需求。本技术的压力进给研磨设备提供一种克服常规压力进给研磨系统的局限性的无摩擦系统。本技术提供了一种边缘修整设备，该设备构造成可去除精确量的玻璃。这样，与由常规系统修整的玻璃基板相比，通过本技术修整的玻璃基板的尺寸与接受板材的尺寸接近得多。另外，本技术提供具有较高强度和边缘质量的经修整的玻璃基板。本技术的一个方面是一种用于研磨或抛光玻璃基板的至少一条边缘的设备。 该设备包括研磨单元，该研磨单元构造成在对准位置时从至少一条边缘去除预定量的材料。空气支承滑动系统与该研磨单元联接。空气支承滑动系统构造成在加压空气薄层上沿预定轴线滑动，该加压空气薄层提供零摩擦负载支承界面。线性致动电动机与该空气支承滑动系统联接。线性致动电动机构造成控制空气支承滑动系统的运动，使得研磨单元从非对准位置移动到对准位置。研磨单元施加垂直于至少一条边缘的预定的力。该预定的力与预定的量成正比，并小于会造成玻璃基板破裂的垂直力。在另一方面，本技术包括一种研磨或抛光玻璃基板的至少一条边缘的方法。 该方法包括以下步骤提供空气支承滑动系统，该系统构造成在加压空气薄层上沿预定轴线滑动，该加压空气薄层提供零摩擦负载支承界面。研磨单元与空气支承滑动系统联接。 该研磨单元构造成在对准位置时从至少一条边缘去除预定量的材料。控制空气支承滑动系统的运动，使得砂轮从非对准位置移动到对准位置。施加垂直于至少一条边缘的预定的力。 该预定的力与预定的量成正比，并小于会造成玻璃基板破裂的垂直力。玻璃基板相对于研磨单元沿切向移动，以将从至少一条边缘去除预定量的材料。或者，玻璃板可保持静止，同时研磨单元沿正在修整的玻璃的边缘移动。在以下详细说明书中将阐述本技术的其它特征和优点，而对本领域的技术人员来说其它特征和优点可从该说明书中是显而易见的，或可通过本文所述的本技术的实践(包括以下详细说明书、权利要求书以及附图)而认识至IJ。应当理解，以上的总体说明和以下的详细说明都只是本技术的示例，意在提供对要求保护的本技术的本质和特征的总体或构架的理解。包括附图以提供本技术的进一步理解，附图包含在该说明书中并构成该说明书的一部分。附图示出了本技术的各种实施例，并与说明书一起用于解释本技术的原理和运行。附图说明图1是根据本技术的压力进给研磨系统的立体图；图2示出运行中的图1所示压力送料系统；以及图3A是压力进给研磨系统的平面示意图，示出了具有偏斜的前边缘的玻璃基板；图;3B是一图表，示出图3A所示布置的边缘跟踪性能；图4A是压力进给研磨系统的平面示意图，示出具有偏斜后边缘的玻璃基板；图4B是一图表，示出图4A所示布置的边缘跟踪性能；图5是一图表，示出砂轮老化对材料去除的影响；以及图6是根据本技术的压力进给研磨系统的立体图。具体实施方式现在将详细参照本技术的示例性实施例，这些实施例的实例在附图中示出。 在所有附图中尽可能地用相同的附图标记标示相同或类似的部件。图1中示出了本技术的设备的一个示例性实施例，并在所有附图中总地用附图标记10来表示。根据本技术，本技术旨在提供一种用于研磨或抛光玻璃基板的至少一条边缘的设备。该设备包括研磨单元，该研磨单元构造成在对准位置时从至少一条边缘去除预定量的材料。空气支承滑动系统联接到该研磨单元。空气支承滑动系统构造成在加压空气薄层上沿预定轴线滑动，该加压空气薄层提供零摩擦负载支承界面。线性致动电动机与该空气支承滑动系统联接。线性致动电动机构造成控制空气支承滑动系统的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：J·W·布朗，B·R·拉杰，
申请(专利权)人：康宁股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：