【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本技术涉及一种研磨抛光盘静压支撑装置，包括机架底座，特征是：在机架底座上安装机架座套，机架座套上安装静压支撑座，机架座套和静压支撑座的中心安装主轴，静压支撑座和主轴上端设置研磨抛光盘，研磨抛光盘与主轴固定；在所述机架座套上分别设置第一进油通道和第一回油通道，在静压支撑座上分别设置第二进油通道和第二回油通道，第一进油通道和第二进油通道连通，第一回油通道和第二回油通道连通；在所述静压支撑座的上端面设置进油槽，进油槽与第二进油通道连通；在所述静压支撑座的上端面围绕主轴的外侧设置回油槽，在回油槽中设置固定块，固定块与回油槽之间形成回油腔。本技术承载力大、吸振性好，可提高研磨抛光加工精度和效率。【专利说明】研磨抛光盘静压支撑装置
本技术涉及一种半导体研磨抛光装置，尤其是一种研磨抛光盘静压支撑装置。
技术介绍
现今光电、半导体、模具等产业，对于其使用零件(如铣、削加工后的工件)的表面精度要求均日益提高，因此，于工件表面进行研磨抛光的精密微细加工已成为目前发展的主流加工技术。随着研磨抛光加工工艺的不断发展，为使工件获得表面平坦化、表面粗糙度极低的光亮“镜面”...
【技术保护点】
一种研磨抛光盘静压支撑装置，包括机架底座（1），其特征是：在所述机架底座（1）上端安装机架座套（2），在机架座套（2）上端安装静压支撑座（3），在机架座套（2）和静压支撑座（3）的中心通孔中分别通过主轴轴承（5）安装主轴（4），在静压支撑座（3）和主轴（4）的上端面设置研磨抛光盘（6），研磨抛光盘（6）与主轴（4）固定；在所述机架座套（2）上分别设置第一进油通道（7?1）和第一回油通道（8?1），在静压支撑座（3）上分别设置第二进油通道（7?2）和第二回油通道（8?2），第一进油通道（7?1）和第二进油通道（7?2）连通，第一回油通道（8?1）和第二回油通道（8?2）连通；...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：唐丹，王联，王静，孙晓晓，
申请(专利权)人：无锡元明机械设备技术有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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