【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本技术公开了一种零交叠的梳齿型电容组，包括相对设置的可动端和固定端，在可动端与固定端相对的端面上分别相向伸出一排上梳齿和下梳齿，其特征在于：所述上梳齿与下梳齿之间交错设置，且上梳齿、下梳齿的齿头对齐并在同一水平线上。本技术的零交叠的梳齿型电容组，上下梳齿之间无交叠，且上下梳齿处于同一水平面，面积利用率高，能够提供较大的电容变化量和较好的线性度。【专利说明】—种零交叠的梳齿型电容组
本技术涉及一种电容组，尤其涉及一种零交叠的梳齿型电容组。
技术介绍
微机电系统器件体积小、成本低、集成性好，已得以越来越广泛的应用，如在移动终端、相机防抖、游戏手柄、玩具飞机、导航等产品中。MEMS器件中，尤其是惯性器件中，如力口速度计和陀螺仪，往往会需要驱动或检测装置。驱动或检测可以通过压电、压阻及电容组等实现方式，其中电容组方式的驱动或检测方式应用最为广泛。电容式驱动依靠电容组两端在外加电压作用下的相对位移来实现。电容组可以是平板电容组1，包括平板11和连接端12，平板11互相伸入至相对平板11之间的间隙13内，如图1。现有的另一种梳齿电容组2，包括梳齿21和两个连接端22，相对设置的梳齿21互相伸入至相对梳齿21之间的间隙23内，如图2。在相同面积和相同相对位移前提下，平板电容组可以提供较大的电容变化量，不过线性度较差。普通梳齿电容组线性度较好，不过电容变化量较小。
技术实现思路
本技术的目的是解决现有技术中线性度较差、电容变化量较小的问题，提供一种零交叠的梳齿型电容组。本技术的技术方案是:一种零交叠的梳齿型电容组，包括相对设置的可动端和固定端，在可动端与固定端...
【技术保护点】
一种零交叠的梳齿型电容组，包括相对设置的可动端和固定端，在可动端与固定端相对的端面上分别相向伸出一排上梳齿和下梳齿，其特征在于：所述上梳齿与下梳齿之间交错设置，且上梳齿、下梳齿的齿头对齐并在同一水平线上。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：邹波，罗浩，王辉，
申请(专利权)人：深迪半导体上海有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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