本发明实施例公开了一种电荷泵电路和微机电系统传感器。电荷泵电路包括：电源信号输入端、电源信号输出端以及串联在电源信号输入端与电源信号输出端之间的n个电荷泵模块；电荷泵模块包括第一输入端、第一输出端、第一充电控制单元、第二充电控制单元、第...

本发明提供了一种耳机、电子设备及耳机入耳检测方法，所述耳机包括参考磁场；磁感应装置，所述磁感应装置用于检测所述参考磁场；感应构件，所述感应构件适于根据受到的预定物理信号驱动而发生状态变化，当所述感应构件的状态发生变化时，适于使所述参考磁...

本发明提供了一种电容式MEMS陀螺仪及其加快起振速度的方法，所述电容式MEMS陀螺仪包括衬底、可动质量块、直流信号端、地线、第一开关、第二开关、第三开关；所述直流信号端经过所述第一开关电连接所述可动质量块；所述直流信号端经过所述第二开关...

本发明提供了一种微机械结构驱动幅度校正系统及方法，所述微机械结构驱动幅度校正系统包括C/V转换器、幅度读出模块、频率读出模块、幅度校正模块和自动增益模块，C/V转换器的输入端与微机械结构的检测电容的输出端相连接；幅度读出模块用于输出其输...

本发明提供了一种MEMS陀螺仪驱动幅度校正装置及方法，所述校正装置包括C/V转换器，所述C/V转换器的输入端与所述MEMS陀螺仪的驱动检测端相连接；测量模块，所述测量模块用于输出其输入端电信号的频率表示信号、幅度表示信号和相位表示信号，...

本发明提供了一种MEMS器件及其制造方法，所述MEMS器件是压阻式压力传感器和惯性传感器的集成器件，其中包括惯性器件层和盖体，所述结构层惯性器件层设置有惯性传感器结构；所述盖体与所述惯性器件层相连接；所述盖体设置有压阻式压力传感器结构。

本发明提供一种陀螺仪驱动回路及其应用的相位误差消除电路、方法，利用时钟产生电路中输出的时钟信号的占空比和前置信号的失调误差信号成比例的关系，引入电荷泵将占空比转化成模拟电压，再经跨导放大器来实现对输入时钟产生电路的前置信号的调节，从而实...

本发明提供了一种MEMS器件及其加工方法，包括可动组件，所述可动组件的表面依次设置有电介质层和疏水层。所述MEMS器件的加工方法，包括：形成可动结构层，所述可动结构层包括可动组件；沉积电介质层；沉积疏水层。

本发明提供了一种MEMS器件及其制造方法，其中用于制造MEMS器件的方法，包括在第一晶圆上形成深槽，所述深槽与可动结构图案相配合；将所述第一晶圆与结构层晶圆相连接；在所述结构层晶圆上形成可动结构后舍弃所述第一晶圆，从而解决了现有体硅工艺...

本发明提供了一种MEMS加速度计及其提高抗冲击能力的方法，所述MEMS加速度计包括阻尼梳齿，所述阻尼梳齿包括可动梳齿和固定梳齿，在所述可动梳齿和所述固定梳齿上加载电信号以产生适于两者相吸的静电力，所述可动梳齿适于在所述静电力作用下产生形...

本发明提供了一种耳机和电子设备，所述耳机包括陀螺仪，通过所述陀螺仪感应骨传导振动，所述陀螺仪的正交误差信号用于反映所述骨传导振动，具体地，通过传动部件直接或间接作用于所述陀螺仪或包含所述陀螺仪的惯性测量单元，通过所述传动部件将所述骨传导...

本发明提供了MEMS惯性传感器及应用方法和电子设备，包括一种加速度计的应用方法，其基于所述加速度计在外力作用下产生的应变对其检测信号的影响，将所述检测信号也用于反映外力作用；还包括一种陀螺仪的应用方法，其基于所述陀螺仪在外力作用下产生的...

本发明提供了一种三轴MEMS陀螺仪，其包括第一质量块、第二质量块、第三质量块和第四质量块，各质量块间通过弹簧梁和/或刚性梁连接；所述第一质量块被设置为可沿X轴方向活动；所述第二质量块被设置为可绕X方向轴线、Y方向轴线和Z方向轴线转动，并...

本实用新型提供了一种MEMS芯片测试插座，包括底座、上盖、温度传感器和加热元件；上盖通过固定组件与底座相对固定；底座上表面的中心设有第一槽，用于容纳待测芯片；第一槽的底面四周设置有第一弹簧探针组，一端用于与待测芯片的引脚接触，另一端从底...

本实用新型提供了一种加速度计，包括：质量块，质量块被设置为：受到驱动而作沿着驱动方向的谐振，同时绕着一回转轴作转动谐振；锚点，质量块连接至锚点；检测电极，用于检测质量块的运动。本实用新型的有益效果：利用谐振原理制成新型加速度计，可以实现...

本发明提供了一种有源电阻以及应用于MEMS陀螺仪中的高通滤波器，所述有源电阻包括第一PMOS管、第二PMOS管、第一运算放大器以及偏置电流源；所述偏置电流源的一端接地，所述偏置电流源的另一端连接所述第一PMOS管的漏极和所述第一运算放大...

本发明提供了一种陀螺仪及熔断修正陀螺仪正交误差的方法，所述方法中的陀螺仪包括质量块和若干固定锚点；所述若干固定锚点分别通过弹性梁与所述质量块相连接，从而使所述质量块适于沿驱动方向和检测方向活动；通过在所述质量块和相应的固定锚点间加载电信...

本发明提供了一种陀螺仪及工艺修正陀螺仪正交误差的方法，所述方法包括：质量块在若干弹性梁配合下适于沿驱动方向和检测方向活动；所述若干弹性梁包括相配合的第一弹性梁和第二弹性梁，所述第一弹性梁与所述第二弹性梁具有不同的结构，从而在限定所述若干...

本发明提供了一种半导体芯片及其加工方法，所述半导体芯片包括第一晶片，所述第一晶片设置有第一导电层，所述第一导电层延伸至所述第一晶片的边缘；所述半导体芯片还包括第二导电层，所述第二导电层与所述第一导电层相连接，所述第二导电层沿所述第一晶片...

本发明提供一种温度传感器及陀螺仪，其中，温度传感器包括电压比较模块，用以根据预设的第一参考电压和第二参考电压对电压比较模块的输入端接收的与温度相关的输入电压进行比较，以在电压比较模块的输出端输出具有指定时钟周期且具有指定时钟占空比的电压...