本发明是一种使用掩模对被蚀刻膜进行等离子蚀刻的等离子处理方法，其特征在于，具有：沉积工序，对载置有成膜了所述被蚀刻膜的试料的试料台提供高频电力，并且使含有硼元素的沉积膜沉积到所述掩模；以及蚀刻工序，在所述沉积工序之后，使用等离子对所述被...

本发明提供一种自动分析系统，在抑制初始费用的同时，利用自主移动机器人，减轻人的负担并提高运转率。自动分析系统具有：多个设备，其配置于自动分析区域(101)，包含构成自动分析装置的分析单元(103、104)；以及机器人(102)，其在自动...

等离子处理方法是在硅基板形成STI的等离子处理方法，其具有：沟道形成工序，使用通过被脉冲调制后的高频电力而生成的等离子，在所述硅基板形成沟道；以及氧化工序，在所述沟道形成工序之后，仅使用氧气来使所述硅基板氧化，将所述沟道形成工序和所述氧...

等离子体处理装置具备对样品进行等离子体处理的处理室、提供用于使等离子体生成的第一高频电力的第一高频电源、载置所述样品的样品台和对所述样品台提供第二高频电力的第二高频电源，在该等离子体处理装置中进一步具备控制装置，其在基于从第一步骤的气体...

本发明为了能够以少的残留液量将试剂导入，并通过弹性膜的变形来进行流动操作，构成如下的密封型的试样处理设备，该密封型的试样处理设备具备：试剂保存部(80)，在将试剂保存在上部膜与下部膜之间的保存空间的周围设置有将两个膜接合的接合部；分析芯...

在分析单元(100)的侧面可拉出地设置有试剂搭载机构(14)，该试剂搭载机构(14)具有作为保持试剂等溶液的容器(9a、9b、9c、19)的设置场所的试剂搭载部(15)，读取安装于容器(9a、9b、9c、19)的RFID标签(13)的R...

提供能通过球面像差的抑制来提升衍射效率的凹面衍射光栅。凹面衍射光栅(2)对光进行分光、聚光，在凹面状的基板(24)上具有锯齿形状的光栅槽(21)，锯齿形状的光栅槽(21)的间隔不等。另外，通过用光刻法以及蚀刻、或机械加工在平面基板上形成...

本发明的分散控制系统(500)中，在通过比较部(101)将保持在存储部(100)中的正确的连接信息与实际连接的控制对象设备或终端通信装置(12)的连接信息进行比较的结果为判定为发生了错误时，中央运算装置(10)将异常部位的显示信号输出到...

本发明提供一种从电泳凝胶以高回收效率回收生物材料的电泳方法、电泳系统及电泳凝胶。电泳方法使用具有注入生物材料的注入孔与回收所述生物材料的回收孔的电泳凝胶，包括向所述注入孔注入所述生物材料的步骤以及施加贯通所述注入孔及所述回收孔的电场的步...

本发明提供在微小器件的不良解析中能够高灵敏度地检测异常的半导体检查装置。半导体检查装置具有：试样台(6)，其载置试样；电子光学系统(1)，其对试样照射电子束；测量探针(3)，其与试样接触；测量器(8)，其测量来自测量探针的输出；信息处理...

本发明提供一种对含有具有酰亚胺键的材料的试样也能够进行高速铣削加工的离子铣削装置。因此，离子铣削装置具有：将试样(3)保持在真空气氛中的真空腔室(6)；向试样照射非聚焦离子束(2)的离子枪(1)；储存水溶性离子液体与水的混合溶液(13)...

本发明提供一种能够从多个方向连接自动分析装置的连接装置以及具备该连接装置的检体检查自动化系统。连接装置(220)包括:检体载体传送部(225)，用于传送收容了检体的检体载体(10)；以及转盘(221)，其构成为能保持从所述检体载体传送部...

本发明的目的在于提供可以以高处理量执行蛋白质的分析的电泳装置。本发明的电泳装置具备：毛细管阵列，其通过排列多个毛细管而成；测量光照射部，其照射测量光；第一透镜阵列，其包括对应于上述多个毛细管而排列的多个第一透镜；第二透镜阵列，其包括对应...

带电粒子束检测器具备：将包含荧光体粒子的荧光层和金属层层叠的层叠体，其特征在于，具备设于所述金属层与所述荧光层之间的树脂层。

在进行使入射到试样上的预定的入射位置的电子束的入射角发生变化的角度扫描的电子束装置中，将校正线圈(3)设置于物镜(6)的轭(磁路)(61)的间隙部的情况下，即使偏转频率较高，也能够追随偏转信号来校正球面像差。因此，控制电子光学系统的主控...

由于安装不良、向废弃路径的分注嘴前端的残留物的附着、污染而分注嘴向废弃路径附着而不能够废弃，另外，落下的分注嘴竹笋状地重叠，从废弃箱中溢出。在检测体分注嘴的设置座的分注嘴安装位置(132)背面追加锪孔(201)，减少从设置座提升时的嘴侧...

本发明实现一种没有遗漏并且可高效地执行所需的维护的自动分析装置。动作控制部(3)控制具有检体容器传送机构(2)、试剂容器传送机构(26)、反应容器传送机构(9)、检体分注机构(5)、试剂分注机构(8)的分析模块(ISE、AU1、AU2)...

本发明提供在需要进行各个装置之间的移动的试样的观察中容易在装置之间移动的电荷粒子线装置、试样加工方法、以及观察方法。在使用电荷粒子线加工试样上的观察对象的电荷粒子线装置中，具备：试样台，其载置上述试样；观察部，其观察上述观察对象；写入部...

本发明实现一种带电粒子束装置，通过使基于减速电场的静电透镜的轴与磁场透镜的轴一致，使作为重叠透镜的轴调整容易。带电粒子束装置具有：电子源(2)；使来自电子源的探测电子束聚焦于试样的物镜(4)；使探测电子束穿过的第一束射管(8)及第二束射...

自动分析装置(10)具有用于进行试样测定的分析单元(111)、将试样搬送至分析单元(111)的搬送单元(101)以及控制部(119)，该控制部(119)对分析单元(111)以及搬送单元(101)进行控制，使得即便在试样仍存在于搬送单元(...