带电粒子束检测器、电子显微镜、电子束能量损失分光装置以及摄像装置制造方法及图纸

带电粒子束检测器具备：将包含荧光体粒子的荧光层和金属层层叠的层叠体，其特征在于，具备设于所述金属层与所述荧光层之间的树脂层。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】带电粒子束检测器、电子显微镜、电子束能量损失分光装置以及摄像装置
本公开涉及具备检测带电粒子的闪烁器的带电粒子束检测器以及利用该带电粒子束检测器的带电粒子束装置。
技术介绍
在对透射电子显微镜像进行摄像的情况下，将透射样品的电子束的透射像用物镜和成像透镜放大后投影到闪烁器上。然后，通过闪烁器将透射电子束的像变换成光像，使用高精细CCD(ChargeCoupledDevice，电荷耦合器件)摄像机对光像进行拍摄。为了以充分的明亮度对高精细的高倍率像进行摄像，需要将由闪烁器生成的光像没有渗透且高效率地投影到CCD摄像机的受光面。另外，在透射型电子显微镜、扫描电子显微镜等搭载了电子束能量损失分光装置(以下称作EELS装置)的电子显微镜中，将在透射样品后由分光器进行了能量分光的光谱像或能量过滤像投影到EELS装置所具备的闪烁器上。然后，通过闪烁器将光谱像或能量过滤像变换成光像，并由高精细CCD摄像机对该光像进行拍摄。在EELS装置中，为了将通过低加速电压的电子束得到的光谱像或能量过滤像作为高精细的高倍率像以充分的明亮度进行摄像，也需要将在闪烁器中变换后的光像没有渗透且高效率地投影到CCD摄像机的受光面。在专利文献1中，公开了如下手法：在近场光学观察装置所具备的入射窗(有具有能通过电子束激发而发光的发光材料的发光层)中，即使减薄膜厚，也为了保持强度而使用火棉胶。另外，在专利文献2中公开了如下图像显示装置的制造工序：在荧光膜与铝膜之间设置火棉胶膜，之后，进行灼烧来将上述火棉胶膜烧掉。现有技术文献专利文献专利文献1：JP特开2015-31515号公报专利文献2：JP特开2006-202528号公报
技术实现思路
专利技术要解决的课题近年来，伴随CCD摄像机的像素的高精细化，谋求能将透射电子束像高分辨且高效率地变换成光像的闪烁器。另外，电子显微镜需要能对应于要观察的样品而在宽幅的加速电压范围内使用。特别地，为了以高对比度对生物体样品、轻元素材料等的透射电子显微镜像进行摄像，谋求发光强度在低加速电压下也高的闪烁器。另外，在透射型电子显微镜或扫描电子显微镜中搭载了EELS装置的电子显微镜中，对进行了能量分光的光谱像或能量过滤像进行拍摄的闪烁器需要与低加速电压对应。为此，需要即使在低加速电压的情况下闪烁器的发光强度也变大的结构。因此，当务之急是开发能在从低加速电压到高加速电压的宽幅的加速范围内使用且具有充分的发光强度的闪烁器。为了提高由闪烁器生成的光像的分辨率，例如需要用将荧光层射出的光进行镜面反射的平坦性高的金属层来覆盖荧光层。专利文献1记载的闪烁器检测器虽然记载了为了使荧光膜坚固而使用火棉胶作为粘接剂，但并未公开将荧光膜的凹凸整平。另外，在专利文献2中，虽然记载了在荧光膜与铝膜之间设置火棉胶膜，但却记载了之后进行灼烧来将火棉胶膜烧掉，在荧光膜与铝膜的粘接中并未使用火棉胶。本公开鉴于上述课题而提出，提供能将电子束像高分辨且高效率地变换成光像的技术。用于解决课题的手段本公开为了解决上述课题，提供检测带电粒子的带电粒子束检测器，该带电粒子束检测器例如具备将包含荧光体粒子的荧光层和金属层层叠的层叠体，其特征在于，具备设于所述金属层与所述荧光层之间的树脂层。专利技术效果根据本公开，能将电子束像高分辨且高效率地变换成光像。上述以外的课题、结构以及效果通过以下的实施方式的说明而得以明确。附图说明图1是表示透射型电子显微镜中所用的本公开的闪烁器的结构的图。图2是表示金属层表面的反射率的测定结果的图。图3是本公开的闪烁器所涉及的铝膜的表面的光学显微镜照片。图4是表示铝膜表面的光学显微镜照片中的亮度的直方图的图。图5是搭载有CCD摄像机的一般的透射电子显微镜的概略图。图6是表示应用本公开的闪烁器的透射型电子显微镜的观察系统的图。图7是表示电子束的加速电压与闪烁器中的发光强度的关系的图。图8是表示搭载有EELS装置的透射电子显微镜的电子束检测部的图。具体实施方式具备检测带电粒子的闪烁器的带电粒子束检测器是检测通过电子等高速入射到荧光体而产生的荧光的装置。在对样品照射带电粒子束的电子显微镜、EELS等带电粒子束装置中，为了检测带电粒子束而将其搭载。另外，也可以将带电粒子束检测器作为摄像装置而独立构成。本公开的带电粒子束检测器在树脂层的一面具备包含产生荧光的荧光体粒子的荧光层，在另一面具备与金属层相邻而层叠的层叠体。另外，具备接受产生的荧光的受光元件等探测荧光的探测单元。搭载带电粒子束检测器的带电粒子束装置有对样品照射带电粒子束并显示图像的电子显微镜、进行电子束的分光分析的EELS装置等。另外，在具备检测带电粒子的闪烁器的摄像机中也能应用本公开。以下，参考附图来说明本公开的各种实施例。其中，这些实施例只不过是用于实现本公开的一例，并不对本公开的技术范围进行限定。另外，在各图中，对共同的结构标注相同的参考编号。[闪烁器的结构]在开始，说明本公开的闪烁器的整体结构。图1是表示透射型电子显微镜中所用的本公开的闪烁器1的结构的图。另外，在本说明书的以下的说明中，闪烁器是指入射带电粒子束而发光的元件，将除包含荧光体的荧光层2以外还包含金属层3(例如铝膜)、树脂层6(例如火棉胶膜)、ITO(IndiumTinOxide，氧化铟锡)层4以及玻璃基板5的结构物称作闪烁器1。如图1所示那样，闪烁器1是按照玻璃基板5、ITO层4、荧光层2、树脂层6以及金属层3的顺序将各层或结构物层叠而形成的层叠体。形成荧光层2的荧光体能使用周知的荧光体。在本公开中，例如使用GOS(Gd2O2S：Tb)荧光体来形成荧光层2。另外，金属层3通过蒸镀而层叠在树脂层6之上。在根据阴极射线管用途来作成荧光层的情况下，与荧光层相邻而设的树脂膜在通常制造工序中被烧掉。若将树脂膜烧掉，就会在与树脂膜相接而设的金属膜产生针孔，或引起金属膜的剥离，因此在金属膜中光进行镜面反射的比例会降低。在透射型电子显微镜中所用的闪烁器的情况下，由于照射的电子束的电流量是毫微～微微安程度的低电流，因此树脂层几乎不会因电子束而燃烧。即，即使在闪烁器中残留树脂层，树脂层也不会因电子束而燃烧，不会在相邻的金属层产生针孔。因此，在本公开中，反而设为闪烁器1包含树脂层6的结构。本公开的闪烁器1所涉及的金属层3形成为没有针孔的连续的膜。通常，荧光层由于将多个荧光体的粒子粘合而形成，因此表面变得粗糙。另一方面，在本公开的闪烁器1中，由于用粒径小的荧光体来作成荧光层2，因此使荧光层2的表面的粗糙度得到降低。另外，通过将树脂层6层叠于荧光层2，与将金属层3直接层叠于荧光层2的情况不同，能在更平坦的表面层叠金属层3。即，本公开的闪烁器1形成与过去相比平坦性更优异的金属层3。另外，通过使树脂层6介于其间，能提升金属层3的粘接性。另外，在阴极射线管中所用的荧光本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种带电粒子束检测器，检测带电粒子，且具备：将包含荧光体粒子的荧光层和金属层层叠的层叠体，/n所述带电粒子束检测器的特征在于，/n具备设于所述金属层与所述荧光层之间的树脂层。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种带电粒子束检测器，检测带电粒子，且具备：将包含荧光体粒子的荧光层和金属层层叠的层叠体，
所述带电粒子束检测器的特征在于，
具备设于所述金属层与所述荧光层之间的树脂层。


2.根据权利要求1所述的带电粒子束检测器，其特征在于，
所述树脂层是火棉胶膜。


3.根据权利要求1所述的带电粒子束检测器，其特征在于，
所述树脂层的与所述荧光层相接的面的表面粗糙度即第一Ra比所述树脂层的与所述金属层相接的面的表面粗糙度即第二Ra大。


4.根据权利要求1所述的带电粒子束检测器，其特征在于，
所述金属层对光进行镜面反射的区域的面积是所述金属层和所述树脂层相接的面积的10％以上。


5.根据权利要求1所述的带电粒子束检测器，其特...

【专利技术属性】
技术研发人员：小松正明，今村伸，田村圭司，锻示和利，冈田聪，
申请(专利权)人：株式会社日立高新技术，
类型：发明
国别省市：日本;JP